基于干涉條紋形狀的二維小角度測量裝置
研發(fā)階段/n本發(fā)明公開了一種基于干涉條紋形狀的二維小角度測量裝置,屬于精密測量技術(shù)領(lǐng)域。該裝置包括激光器、分光鏡、目標(biāo)反射鏡、參考反射鏡和四象限接收器,目標(biāo)反射鏡固定在被測物體上。激光調(diào)制器對激光器發(fā)出的光束進行調(diào)制,被調(diào)制的光束經(jīng)分光鏡后分為兩束,這兩束光分別經(jīng)目標(biāo)反射鏡和參考反射鏡反射后再返回分光鏡,會聚產(chǎn)生動態(tài)干涉條紋,當(dāng)被測物體繞z軸有角度變化時,動態(tài)干涉條紋的寬度將發(fā)生變化,當(dāng)被測物體繞x軸有角度變化時,動態(tài)干涉條紋的寬度和方向同時改變。動態(tài)干涉條紋用四象限光電接收器接收后轉(zhuǎn)為電信號,該信
湖北工業(yè)大學(xué)
2021-01-12