一種基于紫外光激發(fā)的白光發(fā)射器件及其制備方法
本發(fā)明涉及一種半導體發(fā)光與顯示器件的制備方法,具體地說,是涉及一種基于紫外光激發(fā)的白光發(fā)射器件及其制備方法,屬光電集成技術(shù)領(lǐng)域。該制備方法包括如下步驟:清洗硅片、在清洗后的硅片上制備多孔硅、在多孔硅上沉積氮化鋁薄膜、用紫外光照射氮化鋁薄膜,得到在可見光區(qū)發(fā)光的白光發(fā)射器件。 技術(shù)推廣意向:半導體發(fā)光與顯示領(lǐng)域技術(shù)創(chuàng)新:本發(fā)明具有如下的有益效果:器件結(jié)構(gòu)簡單,無污染,制備成本低;不需要熒光粉,發(fā)光效率高;發(fā)光性能穩(wěn)定,光譜波長范圍寬。
江蘇師范大學
2021-04-11