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光刻
機自動調焦方法及裝置
本發明公開了一種光刻機自動調焦方法及裝置,其方法是將平行光束經第一狹縫投射至硅片表面,再經振動反射鏡掃描后通過第二狹縫,由光電探測器接收光強信號,然后通過提取光強信號中二倍于掃描頻率的頻域成分得到硅片的粗調量,通過提取光強信號中一倍于掃描頻率的頻域成分得到硅片的精調量,最后由驅動裝置調整硅片至焦點位置。調焦裝置主要由兩個狹縫、一個振動反射鏡、光電傳感器、驅動臺和若干光學鏡片組成,信號處理過程由計算機編程完成。該方法與裝置相較于以往對比光斑強度進行調焦的方式,具有結構簡單、響應迅速、精度高(優于 0.
華中科技大學
2021-04-14
XM-D025錐體外
系
(皮質-腦橋-小腦
系
)電動
XM-D025錐體外系(皮質-腦橋-小腦系)電動模型 ? XM-D025錐體外系(皮質-腦橋-小腦系)電動模型演示皮質-腦橋-小腦-皮質環路。 ? 尺寸:44×20×64cm 材質:PVC材料+木框 ? 標準配置: ■ XM-D025錐體外系(皮質-腦橋-小腦系)電動模型:1臺 ■ 電源線:1根 ■ 說明書:1冊 ■ 保修卡合格證:1張
上海欣曼科教設備有限公司
2021-08-23
高壓導線
直
測交流電流
"在高壓導線上,每臺高壓互感器,都是高壓、高價設備。故高壓線上的測量,直接顯示測量值。也就解決了高壓設備的價高、精度、難買。 "
廈門大學
2021-04-10
公司股東
直
索責任邊界研究
審計質量是國家審計制度建設的核心問題.首先,任何經濟和社會活動都是數量和質量的統一,"沒有質量也就沒有數量",因而,質量是經濟和社會活動的核心內容之一,自然也是政府審計的核心內容之一.其次,審計是在經濟上受托監督政府的機構,而監督指監督責任者依據一定規則和程序,對被監督者活動的合法性,有效性進行監視和督察的活動,必須遵循"受人之托,忠人之事"原則.
南京審計大學
2021-04-28
54303太陽
系
教學軟件
寧波華茂文教股份有限公司
2021-08-23
新型
直
驅式波浪發電系統
該成果獲2018年度高等學校科學研究優秀成果獎(科學技術)技術發明類二等獎。本項目發明了直驅式波浪發電系統,即用直線電機與波浪能轉換器結合,直接將波浪動能轉化為電能,減少了中間環節,提高了波浪發電系統整體效率。1、圓筒直線電機新結構:項目組首先采用徑向疊片技術,阻斷電磁感應渦流回路,極大程度地降低了圓筒直線電機的損耗,突破了該電機的技術瓶頸。同時發明了該電機的等效迭壓系數表達式,將徑向疊片式圓筒直線電機的復雜結構化為二維問題,簡化了仿真計算方法。圓筒直線電機的新結構解決了該電機世界性的技術難題,為其應用推廣發揮了重大作用。2、直線電機優化理論:建立了直線電機的電磁場-電路-溫度場聯合模型,對直線電機的磁場、電機參數進行仿真及優化計算。突破了傳統的電機基波磁場耦合理論,創造性地提高了電機功率密度數倍,減小電機體積、降低了發電成本。然后發明了齒槽邊端定位力及電機波動的基本規律,有效地降低電機阻力,提高了波浪發電系統的發電量。3、直驅式波浪發電運行控制技術:建立流體動力學和直線發電機電磁耦合的數學模型,搭建了參數可調的波浪發電運行控制綜合系統。
東南大學
2021-04-10
小型
直
膨式太陽能熱力水泵
本發明公開一種小型直膨式太陽能熱力水泵,包括熱力蒸汽機,熱力蒸汽機包括殼體,殼體內設有左右放置且相連的配氣活塞和動力活塞,殼體外側敷設有加熱管道和冷卻管道;還包括太陽能集熱板、軸承以及工作水箱,所述太陽能集熱板的熱傳輸管道通過連接管道加熱管道連通;熱力蒸汽機動力活塞通過連桿連接軸承,工作水箱的工作活塞通過連桿連接軸承;工作水箱底部還安裝有排水管道和抽水管道;排水管道與冷卻管道連通,所述的加熱空間和冷卻空間內填充有有機工質異戊烷。本發明通過太陽內加熱有機工質膨脹帶動活塞運動輸出機械能從而抽取地下水的裝
安徽建筑大學
2021-01-12
直
驅轉臺薄壁制動套及制動方法
其他成果/n一種直驅轉臺薄壁制動套及制動方法,直驅轉臺薄壁制動套主體為環形筒,所述環形筒的橫截面為橢圓形環,沿環形筒的高度方向,橢圓形環外緣與殼體內壁間均設置外間隙d,橢圓形環內緣與電機轉子外壁間均設置內間隙c;外間隙d大于內間隙c,且外間隙d為液壓油充滿空間;當外間隙d內充滿液壓油產生徑向液壓力時,沿橢圓形環周向方向,環形筒的內壁面上至少一個作用點在液壓力作用下與電機轉子外壁緊貼而產生摩擦力。在保證薄壁制動套強度和耐磨性的前提下,使薄壁制動套更容易產生彈性變形,從而使直驅轉臺的制動更加容易、安全可
武漢輕工大學
2021-01-12
直
驅轉臺薄壁制動套及制動方法
其他成果/n一種直驅轉臺薄壁制動套及制動方法,直驅轉臺薄壁制動套主體為環形筒,所述環形筒的橫截面為橢圓形環,沿環形筒的高度方向,橢圓形環外緣與殼體內壁間均設置外間隙d,橢圓形環內緣與電機轉子外壁間均設置內間隙c;外間隙d大于內間隙c,且外間隙d為液壓油充滿空間;當外間隙d內充滿液壓油產生徑向液壓力時,沿橢圓形環周向方向,環形筒的內壁面上至少一個作用點在液壓力作用下與電機轉子外壁緊貼而產生摩擦力。在保證薄壁制動套強度和耐磨性的前提下,使薄壁制動套更容易產生彈性變形,從而使直驅轉臺的制動更加容易、安全可
武漢輕工大學
2021-01-12
【品牌活動預告】云上看展,一觸即達:高博會云逛展盛況
直
擊!
為進一步拓展高博會服務的深度與廣度,持續打造“線上”“線下”雙主場格局,本屆高博會隆重推出"云逛展—C位無限"線上直播活動。
中國高等教育博覽會
2024-07-16
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