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一種深硅刻蝕方法
本發(fā)明公開了一種深硅刻蝕方法，包括如下步驟：（1）在硅片表面制備圖形化的光刻膠掩膜；（2）對硅片進行深感應(yīng)耦合等離子體干法刻蝕，包括多個刻蝕階段，每個刻蝕階段均在感應(yīng)耦合等離子體機內(nèi)，通過鈍化、轟擊和刻蝕三個步驟交替循環(huán)加工完成，隨著刻蝕深度的增加，各刻蝕階段中轟擊步驟的轟擊強度逐漸增強。本發(fā)明有效解決了現(xiàn)有技術(shù)中側(cè)壁垂直度及粗糙度難以控制以及大刻蝕深度難以實現(xiàn)的問題，在提高刻蝕效率的同時，提高了對光刻膠的選擇比，刻蝕槽側(cè)壁垂直度高，粗糙度小，刻蝕深度大。
華中科技大學
2021-04-14
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消振式振動深松機
本實用新型涉及耕整底土用機械，尤其是一種消振式振動深松機。包括機架和入土鏟，其中，還包括隨機浮動機構(gòu)、動力逆轉(zhuǎn)機構(gòu)和角度調(diào)整機構(gòu)，隨機浮動機構(gòu)、動力逆轉(zhuǎn)機構(gòu)和角度調(diào)整機構(gòu)均設(shè)置在機架上，入土鏟與隨機浮動機構(gòu)連接；所述機架包括水平設(shè)置的上橫梁和下橫梁，上橫梁位于下橫梁的正上方，所述角度調(diào)整機構(gòu)包括調(diào)整軸和調(diào)整盤，調(diào)整軸的兩端分別與機架鉸接，調(diào)整軸沿平行于下橫梁設(shè)置，調(diào)整盤固定在機架的一側(cè)，調(diào)整盤呈弧形，調(diào)整盤上間隔設(shè)置數(shù)個調(diào)整孔，調(diào)整軸靠近調(diào)整盤的一端固定有調(diào)整板，調(diào)整板與調(diào)整孔之間通過螺栓固定連接。其結(jié)構(gòu)簡單，機械性能穩(wěn)定，可調(diào)整入土角度，并且保證了入土角度一致性，松土效果好。
青島農(nóng)業(yè)大學
2021-04-13
深、淺感覺傳導(dǎo)XM-654A
XM-654A深、淺感覺傳導(dǎo)
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XM-654A深、淺感覺傳導(dǎo)顯示深、淺管感覺及傳導(dǎo)。
尺寸：放大，30×30×48cm
材質(zhì)：塑料
上海欣曼科教設(shè)備有限公司
2021-08-23
XM-654A深、淺感覺傳導(dǎo)
XM-654A深、淺感覺傳導(dǎo)
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XM-654A深、淺感覺傳導(dǎo)顯示深、淺管感覺及傳導(dǎo)。
尺寸：放大，30×30×48cm
材質(zhì)：塑料
上海欣曼科教設(shè)備有限公司
2021-08-23
無公害快速碳氮共滲
本研究成果從熱力學分析入手，了解多種材料在高溫下分解情況，對多種滲劑的共滲活性進行試驗比較，確定了一種新的滲劑及有關(guān)工藝參數(shù)。本新工藝滲速快（在相同條件下比煤油加氨氣快1/3）；組織狀態(tài)好（基本上不產(chǎn)生黑色組織）產(chǎn)品變形小、無公害、操作簡便，適用于井式爐、轉(zhuǎn)爐、多用爐等常規(guī)設(shè)備；滲劑成本低與煤油氨氣法相當。
西安交通大學
2021-01-12
高壓共軌噴油技術(shù)（技術(shù)）
成果簡介：北京理工大學在高壓共軌噴油技術(shù)方面注重創(chuàng)新，立足研制具有獨立自主知識產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品，其中噴油器就有五項發(fā)明專利，高壓油泵有1項發(fā)明專利，3項實用新型專利。與蘭州信德液壓氣動公司聯(lián)合開發(fā)成功了三種高壓油泵，與北京嘉順磨具公司聯(lián)合開發(fā)成功了電液比例控制進油節(jié)流調(diào)壓閥。已開發(fā)成功三種高壓油泵其中一種的技術(shù)參數(shù)：最高工作壓力：160MPa;理論排量：1.1mL/r;容積效率：87%>>78%的BOSCH的同類泵(CP3.3）；已經(jīng)過1000小時的壽命考核試驗；已在北京公交車上替代BOSC
北京理工大學
2021-04-14
共注成型過程數(shù)值模擬系統(tǒng)
研究內(nèi)容 ：本研究根據(jù)共注成型過程的特點，首次在綜合考慮粘性包 圍和界面不穩(wěn)定及其相互作用影響基礎(chǔ)上， 建立了多因素相互作用的全三 維非穩(wěn)態(tài)非等溫共注成型充模流動的理論模型及其相適應(yīng)的穩(wěn)定快速收 斂的數(shù)值算法。該算法采用罰函數(shù)法，以及速度場分析、溫度場分析和流 體體積分數(shù)分析相分離等方法來降低對計算機的 CPU 和存儲能力的需求。 而通過 SUPG 法、罰函數(shù)法等實現(xiàn)有限元數(shù)值分析的穩(wěn)定性。并基于罰函
南昌大學
2021-04-14
電控柴油共軌實訓(xùn)臺
產(chǎn)品詳細介紹組成結(jié)構(gòu)：電噴汽油發(fā)動機成、發(fā)動機控制單元、組合儀表、蓄電池、電源開關(guān)、燃油箱、手動油門裝置、診斷座、燃油壓力表、真空壓力表、智能化故障設(shè)置和考核系統(tǒng)、移動機架等。功能特點：1.真實可運行的電噴汽油發(fā)動機，充分展示電噴汽油發(fā)動機的組成結(jié)構(gòu)和工作過程。2.實訓(xùn)臺面板上繪有彩色噴繪電路圖，學員可直觀對照電路圖和發(fā)動機實物，認識和分析控制系統(tǒng)的工作原理。3.實訓(xùn)臺面板上安裝有檢測端子，可直接在面板上檢測各傳感器、執(zhí)行器、發(fā)動機控制單元管腳的電信號，如電阻、電壓、電流、頻率、波形信號等。4.實訓(xùn)臺面板上安裝有汽車儀表、燃油壓力表、真空壓力表，可實時顯示發(fā)動機轉(zhuǎn)速、噴油壓力、進氣歧管壓力等參數(shù)變化。5.實訓(xùn)臺安裝有診斷座，可連接專用或通用型汽車解碼器，對發(fā)動機電控系統(tǒng)進行讀取故障碼、清除故障碼、讀取數(shù)據(jù)流等發(fā)動機自診斷功能。6.配有智能化故障設(shè)置和考核系統(tǒng)。
濟南嘉潤教學設(shè)備有限公司
2021-08-23
高性能防腐耐磨非晶粉末與熱噴涂非晶涂層
非晶合金（又稱金屬玻璃）是一種結(jié)構(gòu)/功能一體化新型金屬材料，被譽為繼鋼鐵、塑料之后的第三次材料工業(yè)革命性材料。非晶合金因其特殊的原子結(jié)構(gòu)（長程無序）而擁有一系列獨特的性能，如非晶合金是地球上最強和最耐腐蝕的金屬材料；非晶合金具有高耐磨性能以及優(yōu)異催化降解性能等。非晶合金及其衍生產(chǎn)品（粉末、涂層、催化劑）在海洋工業(yè)、石油化工、3D打印、水處理等行業(yè)具有非常廣泛的應(yīng)用前景。利用所團隊研發(fā)的非晶合金粉末，可通過堆焊、激光、熱噴涂等技術(shù)制備不同高性能非晶涂層，能賦予零部件防腐蝕、耐磨損、抗疲勞、抗沖擊、防腐蝕等優(yōu)異性能，極大延長使用壽命。
華中科技大學
2021-04-10
納米石材微晶玉石
納米石材微晶玉石微晶玉石又稱微晶玻璃、晶化石、玉晶石。它是以傳統(tǒng)原材料為基礎(chǔ)，加入特殊化工原料，經(jīng)熔窯熔制、水淬、晶化窯燒結(jié)、磨拋切割，而形成的一種高檔人造納米級石材。微晶玉石是一種新型綠色環(huán)保材料。它具有板面平整潔凈、色調(diào)均勻一致、紋理清晰雅致、光澤柔和晶瑩、色彩絢麗璀璨、不吸水防污染、耐酸堿抗風化、綠色環(huán)保、無放射性毒害等優(yōu)良特質(zhì)。01 玉石型微晶玻璃02 花崗巖型微晶玻璃板03 大理石型微晶玻璃板04 玉石型微晶玻璃板05 玉石工藝屏風06 玉石棋盤07 防腐耐磨板08 泡沫微晶玻璃09 微晶玻璃閥門、管道10 家庭裝飾用玉石板材特點不含有對人體有害的有機物。原材料來源廣泛，成本低廉。可加工切削，用于裝飾材料、禮品定制、管路及構(gòu)件等應(yīng)用。具有廣闊的市場前景和巨大的經(jīng)濟效益和社會效益。
清華大學
2021-04-13