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“雙一流”建設與教育學一流學科建設高端論壇召開
為加快推進“雙一流”建設，落實立德樹人根本任務，培養一流人才，服務國家戰略需求，4月9日，“‘雙一流’建設與教育學一流學科建設高端論壇”以線上線下相結合的方式在廈門召開。
中國高等教育學會
2022-04-11
半導體設備超潔凈流控系統及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
一種采用圖形噴嘴的有機氣相成膜裝置及其成膜方法
本發明公開了一種采用圖形噴嘴的有機氣相成膜裝置，包括蒸 發腔、與蒸發腔連通的噴印頭及與噴印頭相距一定間隙的基板載臺， 基板載臺受控制相對噴印頭分別沿噴印頭主軸方向、與噴印頭主軸垂 直平面內的水平方向以及平面內與水平方向垂直的第三方向直線移 動。噴印頭包括噴印頭基體、包覆噴印頭基體的加熱套、位于噴印頭 基體一端的圖形噴嘴、與圖形噴嘴連通的混合腔以及連通所述蒸發腔 與混合腔的氣體入口。圖形噴嘴的開口具有一定形狀，蒸發腔用于蒸 發固體有機材料得到氣相有機材料并通過噴印頭的氣體入口進入噴印 頭的混合腔，接著
華中科技大學
2021-04-14
高靜壓下液電脈沖激波發射器的預擊穿時延調控方法
本發明公開了一種高靜壓下液電脈沖激波發射器的預擊穿時延 調控方法，包括：根據液電脈沖激波發射器中的液體性質和發射器結 構尺寸獲得單位電壓作用下的激波間隙電場分布；根據工作液體中產 生超音速流注的臨界條件調控脈沖功率電源的工作電壓 Ub；當激波發 射器中的電極附近電場達到超音速流注的臨界條件時，使得激波發射 器工作在超音速流注擊穿模式下；當需調控電壓超過脈沖功率電源的 最高工作電壓仍無法達到超音速流注的臨界條件時，則通過調整激波 發射器的電極結構來提高間隙間的電場強度；重復步驟使得當工作電 壓低于脈沖
華中科技大學
2021-04-14
山東省人民政府關于加快構建一流科技創新生態的意見
為積極順應新一輪科技革命和產業變革新趨勢，努力爭當高水平科技自立自強排頭兵，現就加快建設科技強省，構建一流科技創新生態，提出如下意見。
山東省人民政府
2025-04-03
一種提高噴膜主液穩定性的噴膜防水材料
成果描述：本發明公開了一種提高噴膜主液穩定性的噴膜防水材料，按重量份包括以下組分：由主液和丙烯酸鹽組成,其重量組分為:主液+丙烯酸鈣液體+丙烯酸鋅固體,各組分的配比為:100份主液+5-20份30%丙烯酸鈣液體+0.8-2.0份丙烯酸鋅水溶液。本發明能夠有效解決噴膜主液自聚及團聚，以提高噴膜主液穩定性，確保噴膜施工的順利進行，穩定噴膜防水材料力學性能。市場前景分析：軌道交通基礎設施建設領域。與同類成果相比的優勢分析：技術先進，性價比較高。
西南交通大學
2021-04-10
一種提高噴膜主液穩定性的噴膜防水材料
本發明公開了一種提高噴膜主液穩定性的噴膜防水材料，按重量份包括以下組分：由主液和丙烯酸鹽組成,其重量組分為:主液+丙烯酸鈣液體+丙烯酸鋅固體,各組分的配比為:100份主液+5-20份30%丙烯酸鈣液體+0.8-2.0份丙烯酸鋅水溶液。本發明能夠有效解決噴膜主液自聚及團聚，以提高噴膜主液穩定性，確保噴膜施工的順利進行，穩定噴膜防水材料力學性能。
西南交通大學
2018-09-18
連續流微反應器技術
上海交通大學
2021-04-11
三分螺旋折流板換熱器
該項目應用領域：可替代現有各種管殼式換熱器方案，尤其對貴重材料應用的經濟性更好，如銅管干式蒸發器、鈦管閉式冷卻器等。
東南大學
2021-04-10
新型微流控注射器“濾頭”
開發了一種新型微流控注射器“濾頭”，通過簡單將樣品注入濾頭即可實現微粒的“片上濃縮”
東南大學
2021-04-11