聲表面波有毒氣體傳感器陣列
項目處于研發(fā)熟化階段。申請發(fā)明專利70余項,授權(quán)40余項(含美國專利2項),初步建立了一套自主知識產(chǎn)權(quán)體系。發(fā)明了多種用于檢測有毒氣體的聚合物氣敏材料及其低毒合成方法,其中PHFA的靈敏度是美國PNNL的BSP3的3倍;提出了雙端諧振型樂甫波傳感器,發(fā)明了聚合物波導薄膜和叉指電極的優(yōu)化制備工藝方法,與法國ENSEIRB的器件相比,將傳感功能結(jié)構(gòu)的靈敏度提高了12倍;發(fā)明了SAW氣體傳感器的溫濕度補償技術(shù)、快速解吸方法和電磁屏蔽方法。研制的手持式SAW氣體傳感器能對0.1mg/m3
電子科技大學
2021-04-14