高靈敏度有機污染檢測用聲表面波傳感器
團隊長期從事納米材料及納米結(jié)構(gòu)研究,在長期納米結(jié)構(gòu)的制備及性能研究基礎(chǔ)上,與我國XX工程結(jié)合,開展高功率固體激光裝置運行環(huán)境污染檢測方法研究,基于各種納米結(jié)構(gòu)制作的聲表面波傳感器檢測靈敏度高達pg/mm2(10 12g/mm2)量級,實現(xiàn)了高精密測試,并且針對裝置運行環(huán)境中不同有機污染物的復雜情況,實現(xiàn)了高選擇性、高靈敏度測量,達到了國際領(lǐng)先水平。已通過在線測試并在XX工程中應(yīng)用,實現(xiàn)訂貨。 同時在高靈敏度聲表面波傳感器的研究基礎(chǔ)上,團隊在聲表面波傳感器的敏感芯片區(qū)建立了不同的敏感薄膜,如氧化硅薄膜、氧化鋅薄膜、SiO2/ZnO復合薄膜,實現(xiàn)了對環(huán)境污染氣體的高靈敏度響應(yīng),特別是在聲表面波傳感器芯片上建立了三維納米結(jié)構(gòu)敏感材料,同時對其化學修飾,以實現(xiàn)化學、生物毒劑的高靈敏度監(jiān)測,目前正在和中電集團進行相關(guān)的聯(lián)合工作。 該傳感器可用于定量檢測/監(jiān)測各種真空、實驗室、大氣環(huán)境中的微量有機污染物、化學毒劑和生物毒劑。
電子科技大學
2021-04-10