硅基微機(jī)械懸臂梁耦合間接加熱在線式毫米波相位檢測器
本發(fā)明的硅基微機(jī)械懸臂梁耦合間接加熱在線式毫米波相位檢測器,實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)包括懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)、功率合成/分配器和間接加熱式微波功率傳感器。懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)中,兩個(gè)結(jié)構(gòu)相同的懸臂梁在CPW中央信號(hào)線上方,用于耦合部分待測信號(hào),通過錨區(qū)與功率合成器相連,耦合信號(hào)的功率相等,兩個(gè)懸臂梁之間CPW傳輸線的電長度為λ/8。懸臂梁下方的CPW中央信號(hào)線上覆蓋了一層Si3N4介電層,用于防止電學(xué)短路。參考信號(hào)通過功率分配器分成兩路信號(hào),分別與兩路懸臂梁耦合的信號(hào)通過功率合成器合成,功率合成器的輸出端連接到間接加熱式微波功
東南大學(xué)
2021-04-14