硅基懸臂梁耦合直接加熱式毫米波信號(hào)檢測(cè)儀器
本發(fā)明的硅基懸臂梁耦合直接加熱式毫米波信號(hào)檢測(cè)儀器是由傳感器、模數(shù)轉(zhuǎn)換和液晶顯示三大模塊組成,傳感器模塊是由懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)、功率分配/合成器、直接加熱式微波功率傳感器和開(kāi)關(guān)構(gòu)成,襯底材料為高阻Si,功率通過(guò)輸入端口對(duì)應(yīng)的CPW信號(hào)線(xiàn)終端的直接加熱式微波功率傳感器進(jìn)行檢測(cè);頻率檢測(cè)通過(guò)利用直接加熱式微波功率傳感器測(cè)量?jī)陕吩谥行念l率處相位差為90度的耦合信號(hào)的合成功率實(shí)現(xiàn);相位檢測(cè)通過(guò)將兩路在中心頻率處相位差為90度的耦合信號(hào),分別同兩路等分后的參考信號(hào)合成,同樣利用直接加熱式微波功率傳感器檢測(cè)合成功率
東南大學(xué)
2021-04-14