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半導體設備超潔凈流
控
系統及其受制約流
控
零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發,攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術 一、項目分類 關鍵核心技術突破 二、技術分析 如何通過超潔凈流控技術降低流控污染,減少曝光缺陷,提升曝光良率,是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰,直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外,作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件,超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷,使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統,自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持,聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發,攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術,完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試,為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據,同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化,突破了國外技術的封鎖,為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
鄭元世教授團隊在多智能體網絡化系統的魯
棒
性和可擴展性上取得新進展
西安電子科技大學機電工程學院多智能體研究中心鄭元世教授團隊通過引入了智能體及鄰居的歷史狀態,提出了一種基于記憶信息的一致性協議并建立了該協議下顯式的一致域。
西安電子科技大學
2025-02-26
一種棕櫚藤
材
藤皮藤芯的區分方法
項目成果/簡介:本發明公開了一種棕櫚藤材藤皮藤芯的區分方法,該方法采用生物解剖方法,每隔一固定距離對藤莖徑向的藤材纖維比量,維管束密度,導管比量和薄壁組織比量進行系統測試,計算,分析和研究,根據藤材上述解剖構造特征的......
安徽農業大學
2021-04-10
水下機器人智能焊接與增
材
制造技術
該項目通過產學研用的創新合作,已研制出水下機器人焊接與增材制造系統,可應用于核乏燃料池、核構件池、核島等強輻射環境水下焊接與增材修復,也可以應用于海洋資源開發裝備以及海洋維權裝備的遠程遙操作水下自動焊接與增材修復。自動化程度高,水下電弧穩定性,在水深壓力作用下仍具備非常優異的蓋面搭橋能力,獲得的焊縫成形美觀,接頭力學性能好。該套技術裝備已于2016年通過中廣核研究員組織的現場驗收。該技術成果被科技日報以35項“卡脖子技術”專題進行了深度報道(第28項),入選劉亞東主編的《是什么卡住了我們的脖子》一書。
華南理工大學
2021-04-10
一種棕櫚藤
材
藤皮藤芯的區分方法
本發明公開了一種棕櫚藤材藤皮藤芯的區分方法,該方法采用生物解剖方法,每隔一固定距離對藤莖徑向的藤材纖維比量,維管束密度,導管比量和薄壁組織比量進行系統測試,計算,分析和研究,根據藤材上述解剖構造特征的......
安徽農業大學
2021-04-29
金屬-耐
材
高溫復合結構熱-機械行為研究及應用
針對煉鐵高爐、煉鋼轉爐、連鑄中間包、鋼水包、魚雷罐車等高溫冶金容器及加熱爐、高溫管道等熱力系統設備的共同結構和負荷特點,綜合利用計算機仿真和現代電測及激光測試分析技術,開展其在生產過程中的熱行為、變形行為、及強度行為的內部機理和外在表現的基礎理論研究,形成了金屬-耐材高溫復合結構熱-機械耦合行為的分析方法和設計理論,并成功地應用于300噸鋼包裂紋生成分析及改制設計,轉爐延壽技術及工藝確定、高爐下降煤氣下降管的塌落事故評估和治理以及轉爐等高溫結構的設計和行為控制等方面。其中300噸鋼包裂紋生成分析及改制研究工作明確了原有進口大型鋼包裂紋的生成機理及防治方法,并首次將圓弧底和整體小耳軸應用于大型鋼包,使新鋼包的各處應力分布較為均勻,應力水平低,最大應力較原有鋼包下降約40%。各種最大應力均避開了焊縫位置。焊縫和水口附近的應力水平下降了60%-70%。其結果使鋼包的機械強度指標較原有鋼包有了很大改進,特別是焊縫和水口附近改善明顯。在提高鋼包使用壽命、降低包重、減少維修費用等方面取得了令人滿意的效果,并徹底替代了原有進口鋼包,取得了巨大的經濟和社會效益。該項成果現已在寶鋼全面推廣。
北京科技大學
2021-04-13
一種用于增
材
制造的變胞成形裝置
本發明公開了一種用于増材制造的變胞成形裝置,包括第一連桿機構、第二連桿機構、中間上下移動機構、中間旋轉機構、電機支座、絲桿支撐架、連接板,第一連桿機構設置于絲桿支撐架的左側,第二連桿機構設置于絲桿支撐架的右側,中間上下移動機構設置于絲桿支撐架的中下部,中間旋轉機構設置于絲桿支撐架的中上部,第一連桿機構包括第一驅動電機、第一滾珠絲桿、第一驅動連桿、第一傳遞連桿、第一擠壓執行部件、導軌、第一連接塊、第一滑塊,第二連桿機構包括第二驅動電機、第二滾珠絲桿、第二驅動連桿、第二傳遞連桿、第二擠壓執行部件、第二連
華中科技大學
2021-04-14
山東索力得焊
材
股份有限公司
山東索力得焊材股份有限公司始建于1996年,位于山東省肥城市,注冊資本8000多萬元,是從事焊絲科研開發和生產銷售的企業,中國焊接協會副理事長單位,主導產品“索力得”牌焊絲現有產能近40萬噸。焊絲產品已形成氣保焊絲、埋弧焊絲、氬弧焊絲、耐候鋼焊絲、藥芯焊絲、不銹鋼焊絲六大系列幾百個品種。焊絲產品易于實現連續焊接,尤其適用于機器人自動化、集約化生產,具有成本低、效率高、焊接性能穩定等優點,廣泛應用于高速機車、船舶、工程機械、壓力容器、煤礦機械、橋梁建筑、電力設備等制造行業的多個領域,形成了以華東地區為核心,輻射全國各大中城市的市場營銷網絡,并出口德國、英國、澳大利亞、俄羅斯、巴西、埃及等50多個國家和地區。 公司先后通過了ISO9001 國際質量體系認證、ISO14001環境管理體系認證、ISO45001職業健康安全管理體系認證,歐盟CE、DB、TUV認證;中國(CCS)、美國(ABS)、日本(NK)、德國(GL)、英國(LR)、法國 (BV),加拿大焊接局(CWB)等國船級社認證。“索力得”商標榮獲中國機械工業優質品牌,榮獲2015年度中國品牌價值評價信息榜機械制造類25強,榮獲山東省安全生產標準化二級企業、第五、六、七、八、九屆 “山東省消費者滿意單位”、AAA級標準化良好行為企業、省級文明單位、山東省明星企業、創新型企業、守合同重信用企業、職業衛生基礎建設示范企業、中國焊接協會AAA級信用企業等榮譽稱號。 2007年公司被認定為“山東省高新技術企業”,2008年成立企業技術研發中心,先后投入2000多萬元加大先進設備配置,購置試驗、化驗、檢驗儀器裝備,引進高端技術人才, 2012年被認定為“省級企業技術中心”和“一企一技術”研發中心。以索力得公司為依托的戰略聯盟被省科技廳認定為山東省焊材產業科技創新戰略示范聯盟,被山東省人民政府認定為第四批省級企業實訓基地。公司擁有五項專利,其中三項發明專利,兩項實用新型專利。參與國家標準GB/T-19869.2《鋁及鋁合金的焊弧工藝評定試驗》制訂、GB/T3429《焊接用鋼盤條》等多項標準的修訂。公司實施的高性能合金焊絲產業化項目被列入國家科技成果轉化專項。近幾年技術中心研究開發、技術改造項目成果較多,《儲罐用低溫鋼SLD-60焊接材料》、《礦山機械用SLD-90高強度焊絲》、《環保無鍍銅技術》等8項科技成果通過了山東省科技廳科技成果鑒定,《礦山機械用SLD-70高強度焊絲》、《重型機械用700MPa級低合金高強度焊絲》等12項新產品通過了山東省經信委新產品鑒定。其中獲得市級以上科技進步獎項,專利獎3項,部分科技創新項目和科技創新成果獲得了國家、省市財政專項扶持資金。 索力得公司近幾年不斷加強質量管理,使經營管理和經濟效益得到有效提升,可持續發展能力進一步增強,2013年度獲得泰安市市長質量獎提名獎,2015年5月公司在新三板成功掛牌(832398)。公司始終堅持“以人為本,誠信經營,以質取勝,互利共贏,科學發展,做大做強”的宗旨,索力得全體員工拼搏進取,緊緊圍繞焊絲產業發展,不斷促進產品升級,增強綜合競爭力,打造中國焊材產業研發基地。
山東索力得焊材股份有限公司
2021-09-01
一種鈥鈷氧化物納米
棒
及其制備方法
(專利號:ZL 201410514805.8) 簡介:本發明公開了一種鈥鈷氧化物納米棒及其制備方法,屬于納米材料制備技術領域。本發明的鈥鈷氧化物納米棒由HoCoO3單相構成,長度約1μm,直徑約50nm。其制備方法的要點是:將鈷鹽、鈥鹽、表面活性劑按一定摩爾比溶入水和聚二醇混合溶劑,其中水與聚二醇體積比為100:10~20,然后加熱到80~100℃,攪拌時間至少1h;然后將水合肼和氫氧化物依次加入,其中水合肼和水溶性鈷鹽摩爾比為1~3:1
安徽工業大學
2021-01-12
一種雙極性觸發型多
棒
極真空觸發開關
本發明公開了一種觸發型多棒極真空觸發開關,包括密閉殼體; 密閉殼體由絕緣外殼及設置在絕緣外殼兩端的陰極法蘭和陽極法蘭構 成;密閉殼體的兩端分別設有陰極和陽極,陰極和陽極結構相同,均 包括電極底柱、電極平臺和設置于電極平臺上的多個棒狀電極,陰極 的棒狀電極與陽極的棒狀電極相向延伸且相互交錯排列,相鄰棒狀電 極的間隙寬度相等,且該間隙寬度與棒狀電極頂端到相對的電極平臺 的間隙寬度相等;陰極和陽極中分別設有陰極觸發結構和陽極觸發結 構。該開關可以保證無論主間隙的電壓為何種極性,都能夠穩定觸發, 能滿足電力
華中科技大學
2021-04-14
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