一種旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器型橢偏儀的系統(tǒng)誤差評(píng)估及消除方法
本發(fā)明公開(kāi)了一種旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器型橢偏儀系統(tǒng)誤差評(píng)估及消除方法該方法,包括首先建立待優(yōu)化橢偏儀的系統(tǒng)模型,并求的待測(cè)樣品穆勒矩陣解析表達(dá)式;然后通過(guò)對(duì)泰勒展開(kāi),獲得 n 階旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器型橢偏儀橢儀系統(tǒng)誤差與元件誤差之間的關(guān)系。最后改變旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器型橢偏儀起檢器與檢偏器方位角,經(jīng)過(guò)四次測(cè)量,并求得四次測(cè)量結(jié)果的均值,這個(gè)均值就是已消除了橢偏儀系統(tǒng)誤差的待測(cè)樣品的穆勒矩陣。本發(fā)明方法可以獲得旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器型橢偏儀由元件誤差導(dǎo)致的系統(tǒng)誤差的解析表達(dá)式,計(jì)算過(guò)程明確,系統(tǒng)誤差的消除方法操作簡(jiǎn)單可行,可以適用于現(xiàn)有不同結(jié)構(gòu)
華中科技大學(xué)
2021-04-14