一種用于柔性膜轉(zhuǎn)移的多自由度機(jī)械手
本發(fā)明屬于柔性電子生產(chǎn)相關(guān)設(shè)備領(lǐng)域,并公開了一種用于柔 性膜轉(zhuǎn)移的多自由度機(jī)械手,包括拾取單元、α轉(zhuǎn)動(dòng)模塊、γ轉(zhuǎn)動(dòng)模 塊、XYZ 三軸平移模塊、氣路分配單元和視覺定位單元,其中拾取單 元具備繞 Y 軸轉(zhuǎn)動(dòng)的β轉(zhuǎn)動(dòng)自由度,并可在軸向和周向上對吸附區(qū)域 進(jìn)行調(diào)整;α、γ轉(zhuǎn)動(dòng)模塊和 XYZ 三軸平移模塊則分別用于實(shí)現(xiàn)機(jī)械 手繞 X 軸和 Z 軸轉(zhuǎn)動(dòng)的α和γ轉(zhuǎn)動(dòng)自由度以及 XYZ 三個(gè)方向的平動(dòng) 自由度;氣路分配單元執(zhí)行拾取單元內(nèi)部各個(gè)真空氣路的開關(guān)控制和 真空度檢測;視覺定位單元用于實(shí)現(xiàn)柔性膜在 XY 平
華中科技大學(xué)
2021-01-12