硅基懸臂梁T型結間接加熱式未知頻率毫米波相位檢測器
本發明的硅基懸臂梁T型結間接加熱式未知頻率毫米波相位檢測器,實現結構主要由懸臂梁耦合結構、T型結和間接加熱式微波功率傳感器和開關構成。懸臂梁耦合結構包括兩組懸臂梁,每組懸臂梁由兩個對稱的懸臂梁構成兩個懸臂梁之間CPW傳輸線的電長度在所測信號頻率范圍內的中心頻率35GHz處為λ/4。為實現未知頻率毫米波相位的檢測,首先對待測信號的頻率進行檢測。頻率檢測通過測量兩路在所測信號頻率范圍內的中心頻率35GHz處相位差為90度的耦合信號的合成功率實現;相位檢測通過將兩路在中心頻率35GHz處相位差為90度的耦
東南大學
2021-04-14