一種光譜橢偏儀中氙燈光源的光強平滑處理裝置及方法
本發明公開了一種應用到光譜橢偏儀中的氙燈光線光強平滑處 理裝置及方法。該光強平滑處理裝置包括準直透鏡、匯聚透鏡和光闌, 準直透鏡為消色差透鏡,用于將待處理的氙燈光線準直為平行光束; 匯聚透鏡為單透鏡,用于將平行光束匯聚聚焦,匯聚后的光斑大小隨 波長的增加而增大;光闌設置在匯聚透鏡后并間隔一定波長焦距位置 處,通過設定該光闌的大小使紫外波段的光斑可透過該光闌而可見到 近紅外波段的光斑被阻擋,從而減小可見到近紅外波段的光束光強, 實現平滑。本發明還公開了一種氙燈光線光強平滑處理方法。本發明 沒有損失任何波段的光線,探測器或者光譜儀可以正常響應全光譜范 圍的光線,從而可以光譜橢偏儀從紫外到近紅外全光譜范圍內的高精 度測量。
華中科技大學
2021-04-11