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半導體設備超潔凈流控系統及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
一種雙加工點共軌運動控制方法、加工方法及其裝置
本發明公開了一種雙加工點共軌運動控制方法、加工方法及其裝置，用于在數控機床加工輪廓軌跡時實現主加工點和副加工點同時位于該輪廓軌跡上，包括 S1 根據主加工點的坐標、行進方向以及與副加工點的距離，計算副加工點在輪廓軌跡上的位置以及弦線的方向；S2 計算弦線在下一時刻的方向；S3 計算該弦線旋轉的角度；S4 計算弦線旋轉需要加工點在工件坐標系下分別在 X 軸和 Y 軸方向的補償量；S5 結合工件坐標系和機床坐標系的換算關系，獲得主加工點和副加工點的絕對坐標，實現雙加工點共軌控制。本發明方法填補了實際加工
華中科技大學
2021-04-14
農產品貯藏與加工食品非熱加工技術與裝備
一、成果簡介 非熱加工具有殺菌溫度低、保持食品原有品質好、對環境污染小、加工能耗與排放少等優點，在食品加工產業的商業化應用已成為國際食品加工業中新的增長點和新興產業。近年來，發達國家非常重視食品非熱加工技術的發展，紛紛投入大量的人力、物力和財力開展有 關的科學基礎研究和產業應用研究，目前，超高壓技術已經分別在美國、加拿大、法國、德國、西班牙、日
中國農業大學
2021-04-14
保健養生梨膏加工技術
成果描述：梨被譽為“白果之宗”，是水果中的佳品。梨的營養豐富，果肉香脆，甘甜清香，渾身是寶。水分是梨果實中含量最大的部分，除了大量水分之外，還有很多營養成分。人體需要的六大營養物質在梨中都有保健養生梨膏是一款具有清咽潤肺功效的保健養生食品，其以梨為主要原料，輔以百合、茯苓、杏仁等多味具有相同功效的藥食兩用資源，通過蒸制工藝，制作出的一款全新的半固態梨制品。該梨膏不同于市面上所售的秋梨膏或梨膏糖，它是一個比較新的概念。該梨膏既不是類似蜂蜜狀的秋梨膏，也不是類似硬糖質感的梨膏糖，而是類似固元膏的一種以梨為主要原料加工而成的膏狀產品，該產品具有潤肺止咳，清咽潤燥的功效，并且色澤和質感適宜，酸甜可口，老少皆宜。目前，國內尚未有類似的產品銷售，因此，梨膏有較好的開發前景。市場前景分析：中試成果, 該技術目前已經成功轉讓一家企業。食品、保健食品市場。與同類成果相比的優勢分析：所用原料符合食品的原料要求，產品的衛生指標、理化指標、功效成分指標和安全性等均符合食品飲料的相關要求。
四川大學
2021-04-10
菌糠飼料加工技術
中國是食用菌生產大國，據2009年的統計數據表明，2008年全國食用菌產量約為1730萬噸，占全世界總產量的70%以上。絕大多數菌糠仍然是廢棄或進行就地燃燒，這樣既浪費了資源又污染了環境。銅山縣是食用菌生產大縣，縣域內的三堡鎮徐村被評為“中國金針菇之鄉”，菌糠資源豐富。江蘇東寶糧油集團有限公司和江蘇省藥用植物生物技術重點實驗室聯合開發利用菌糠替代部分糧食原料生產生物飼料項目。菌糠的合理利用延長了食用菌種植的生物循環鏈條，菌糠的再利用不僅能綜合利用資源，而且可以消除環境污染，節省開支，提高經濟效益、社會效益和生態效益。合作單位：江蘇省藥用植物生物技術重點實驗室、東寶糧油有限公司
江蘇師范大學
2021-04-11
魚骨泥香腸加工技術
魚骨是淡水魚加工中的主要廢棄物。本技術利用魚骨加工成魚骨泥，采用現代食品技術大幅度增加魚骨泥在香腸配料中的添加量，制備出高鈣、高蛋白的營養、健康的新型魚骨泥香腸 創新要點 本技術主要包括魚骨泥的加工技術和骨泥香腸的制備技術。本產品的骨泥添加量可達到 80%，在保證口感良好的條件下充分提高鈣含量。
江南大學
2021-04-11
大口徑光學加工平臺
已有樣品/n該項目采用自主設計裝置和編寫的軟件，實現嵌入式控制，能夠對超短脈沖的脈沖寬度和相位做出精確的測量：波長范圍：400nm-2000nm，脈沖寬度15fs-20000fs，重復頻率：同步測量-100MHz。目前國內相應的相應設備均需盡快美國和德國產品，單機價格在15萬元左右，且計算程序運行電腦需要另配。該儀器與其他產品在性能相比接近的同時，實現直接的控制與顯示。
華中科技大學
2021-01-12
五軸聯動高速加工中心
五軸聯動高速加工中心主要用于高速高效加工各種復雜曲面，廣泛應用于航空、航天、軍事、科研、精密器械、高精醫療設備等行業具有復雜曲面零部件的加工，是解決葉輪、葉片、汽車摩托車零部件、船用螺旋槳、重型發電機轉子、汽輪機轉子、大型柴油機曲軸等加工的關鍵裝備。
西安交通大學
2021-04-11
數控加工設備智能監控技術
智能加工技術可以提高傳統機械加工設備的適用壽命、加工效率和產品質量。為此，本項目為了保 證機械加工零件的加工精度和零件機械性能，利用壓電驅動技術和柔性鉸鏈技術設計三自由度的智能柔 度可控精密工作臺，通過主動在線監測切削 / 磨削力調整工作臺三個自由度方向的柔度，補償加工工藝系統因彈性變形導致的加工誤差；利用多傳感器信息融合對加工過程進行智能監控，快速判別加工異常 狀態，保證加工過程平穩運行和提高機床使用壽命；利用阻尼減振技術提高切削加工系統抗振性能，降 低動態切削力以保證零件加工表面質量；建立數字化加工車間質量及加工設備運行狀態網絡智能監控系 統，實現設備狀態和產品質量信息的有效融合，保證設備使用率和產品質量。
北京工業大學
2021-04-13
數控加工設備智能監控系統
北京工業大學
2021-04-14