一種用于廣義橢偏儀的光強自動調(diào)整裝置及其控制方法
本發(fā)明公開了一種廣義橢偏儀光強自動調(diào)整裝置及其控制方法。 裝置主要包括計算機、光譜儀、伺服電機控制器、直流伺服電機、增 量式編碼器和中性密度濾光片轉(zhuǎn)盤。在廣義橢偏儀硬件連接完成的情 況下,根據(jù)光譜儀采集的光譜曲線是否飽和以及是否絕大部分在光譜 儀線性響應(yīng)區(qū)間來決定是否要轉(zhuǎn)動直流伺服電機,從而帶動中性密度 濾波片轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動以切換中性密度濾波片來改變光源照射出來的光強大 小。本發(fā)明可以實現(xiàn)對雙旋轉(zhuǎn)補償器廣義橢偏儀光強自動調(diào)整,且響 應(yīng)快速,操作簡單。
華中科技大學
2021-04-11