基于硅基懸臂梁T型結(jié)直接加熱在線(xiàn)式毫米波相位檢測(cè)器
本發(fā)明的基于硅基懸臂梁T型結(jié)直接加熱在線(xiàn)式毫米波相位檢測(cè)器,主要由懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)、T型結(jié)和直接加熱式微波功率傳感器構(gòu)成。懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)中,兩個(gè)懸臂梁在CPW中央信號(hào)線(xiàn)上方,結(jié)構(gòu)相同,用于耦合部分待測(cè)信號(hào),通過(guò)錨區(qū)與T型結(jié)相連,兩個(gè)懸臂梁之間CPW傳輸線(xiàn)的電長(zhǎng)度為λ/8。懸臂梁下方的CPW中央信號(hào)線(xiàn)上覆蓋了一層Si3N4介電層,用于防止電學(xué)短路。參考信號(hào)通過(guò)T型結(jié)分成兩路信號(hào),分別與兩路懸臂梁耦合的信號(hào)通過(guò)T型結(jié)合成,T型結(jié)的輸出端連接到直接加熱式微波功率傳感器進(jìn)行功率檢測(cè)。最后根據(jù)兩個(gè)直接加熱式微波
東南大學(xué)
2021-04-14