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一種部件軸向?qū)π臋z測裝置的成像系統(tǒng)，屬于機(jī)器視覺成像系統(tǒng)，解決現(xiàn)有成像系統(tǒng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜、操作繁瑣、精度不佳、影響對心操作問題。本發(fā)明中，支撐臂位于底座上并能夠相對于底座上下調(diào)節(jié)，旋合連接的電子攝像機(jī)和光學(xué)鏡頭固定于支撐臂一端，固定于支座的平面鏡和光源，連接于支撐臂另一端；光學(xué)鏡頭、平面鏡和光源幾何中心處于同一平面，平面鏡與電子攝像機(jī)的成像平面呈 45°角；光源出射光線與電子攝像機(jī)的成像平面平行。本發(fā)明操作簡單、無需過多調(diào)節(jié)、變換，可同時呈現(xiàn)物體兩垂直方向的圖像，不影響對心物體的空間結(jié)構(gòu)及其操作過程，提高

復(fù)旦大學(xué)光子晶體課題組長期聚焦光子晶體等微納光子材料的光場調(diào)控研究和針對微納材料和器件的先進(jìn)光學(xué)量檢測技術(shù)的開發(fā)和應(yīng)用，與上海復(fù)享光學(xué)股份有限公司合作在基礎(chǔ)創(chuàng)新、技術(shù)突破和產(chǎn)學(xué)研轉(zhuǎn)化方面取得了一系列成果。 一、項目分類 顯著效益成果轉(zhuǎn)化 二、成果簡介 當(dāng)今，光，作為幾乎所有遠(yuǎn)程探測的手段和信息傳播的媒介，對光的多維度測量分析和自由調(diào)控，既直接關(guān)系到未來信息收集、處理和傳輸?shù)撵`敏度和速率，也與先進(jìn)微納制造的精度、效率和能耗等諸多國家核心技術(shù)的競爭力息息相關(guān)。 復(fù)旦大學(xué)光子晶體課題組長期聚焦光子晶體等微納光子材料的光場調(diào)控研究和針對微納材料和器件的先進(jìn)光學(xué)量檢測技術(shù)的開發(fā)和應(yīng)用，與上海復(fù)享光學(xué)股份有限公司合作在基礎(chǔ)創(chuàng)新、技術(shù)突破和產(chǎn)學(xué)研轉(zhuǎn)化方面取得了一系列成果。 在基礎(chǔ)創(chuàng)新方面： ①動量空間光學(xué)測量思想：光與微納結(jié)構(gòu)的相互作用遵循頻率-動量色散關(guān)系，也被稱為光子能帶。在原理上，類似于半導(dǎo)體利用其電子能帶操控電子，光子晶體等微納光子材料也可以通過光子能帶操控光。而光子能帶的本質(zhì)存在于動量空間。相比于已經(jīng)商業(yè)化的可探測固體材料動量空間中復(fù)雜電子能帶的多維度角分辨光電子能譜設(shè)備，針對光子晶體等光子材料動量空間中光子能帶的多維度光譜測量技術(shù)和設(shè)備在全世界尚屬空白，亟需發(fā)展。團(tuán)隊突破了傳統(tǒng)光譜測量思路，提出了從動量空間視角量檢測微納光子器件光學(xué)性能的思想。 ②適合微納尺寸器件的動量空間成像技術(shù)：微納尺寸的測量依賴顯微鏡。但顯微技術(shù)在追求實空間分辨率的同時喪失了動量空間的分辨能力。此成果將傅里葉光學(xué)技術(shù)與顯微技術(shù)相融合，解決了動量空間成像的像差和色差問題，實現(xiàn)了實空間和動量空間的雙高分辨率。 ③多維度光學(xué)信息提取：相位和偏振態(tài)是可供光子器件信息調(diào)制的新自由度。團(tuán)隊將時域外差干涉技術(shù)延拓到具有顯微分辨能力的動量空間外插干涉技術(shù)，單次成像實現(xiàn)了在光波長尺寸內(nèi)40毫弧度的相位測量精度。同時，建立了適合于動量空間成像測量技術(shù)的耦合模理論，實現(xiàn)了在非相干的白光照明下任意橢圓偏振態(tài)的測量。 ④光學(xué)量測中國解決方案：處于芯片產(chǎn)業(yè)上游的微納制程光學(xué)量測環(huán)節(jié)，是芯片良品率控制的關(guān)鍵。在此關(guān)鍵領(lǐng)域，我國遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于國際先進(jìn)水平。動量空間成像光譜技術(shù)所采集的多維度光譜信息富含微納結(jié)構(gòu)的三維形貌信息。團(tuán)隊提出并實現(xiàn)了基于動量空間成像光譜技術(shù)的全新光學(xué)微納制程量測新原理和新技術(shù)。該原理利用深度神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)構(gòu)筑了微納米尺度結(jié)構(gòu)與動量空間色散的構(gòu)效關(guān)系和映射。同時，由于在所測量的色散關(guān)系中包含了冗余的結(jié)構(gòu)信息，因此在實際技術(shù)應(yīng)用中極大優(yōu)化了量測逆問題中測量噪音帶來的病態(tài)問題。 ⑤相關(guān)成果：團(tuán)隊以通訊作者發(fā)表1篇Nat.Photon.，1篇Nat.Commun.，3篇PRL，4篇Light：Sci.&Appl.，1篇Sci.Bull.，1篇Light:Advanced Manufacturing等國內(nèi)外高水平期刊論文。動量空間成像光譜技術(shù)使動量空間得以被直接實驗觀測，并成為發(fā)現(xiàn)新光場調(diào)控機(jī)制的眼睛。團(tuán)隊利用此技術(shù)首次實驗揭示了動量空間中存在具有拓?fù)淦纥c的偏振場，提出了動量空間中光場調(diào)控的新思路，開辟了光子晶體在全偏振態(tài)、渦旋光束生成和光束位移操控方面的新應(yīng)用。由于周期性光子晶體無幾何中心，因此不需光學(xué)對準(zhǔn)，具有應(yīng)用價值，成果被評為2020年度中國光學(xué)十大進(jìn)展，入選ISI高被引論文。日本NTT首席科學(xué)家Notomi在Nat.Photon.上以"動量空間中的拓?fù)涑烧?為題對團(tuán)隊工作進(jìn)行專題報道，給予高度評價。 在技術(shù)突破方面： ①在國際上首次實現(xiàn)了廣譜符合阿貝正弦關(guān)系的動量空間成像光譜設(shè)備。其中動量分辨率小于1.7毫弧度，實空間分辨率小于600納米，相位分辨率小于40毫弧度，最大偏振度誤差小于1%，波長分辨率小于0.1納米。 ②結(jié)合產(chǎn)業(yè)需求和動量空間成像光譜技術(shù)的優(yōu)勢，提供了一系列產(chǎn)業(yè)問題的分析解決方案，包括利用動量空間偏振依賴的輻射分布量測發(fā)光分子三維取向分布和利用動量空間光子色散關(guān)系逆向量測微納結(jié)構(gòu)納米精度的三維形貌等。實測結(jié)果達(dá)到亞納米分辨穩(wěn)定性和98%以上的置信度，測量膜厚與計量認(rèn)證厚度差異小于5埃。 ③相關(guān)成果授權(quán)發(fā)明專利9項，在申請PCT國際專利2項。

本成果利用光學(xué)斬波器改變樣品光空間分布來抑制OCT圖像中的制散斑噪聲。優(yōu)勢如下：光學(xué)斬波器改變樣品光空間分布所帶來不同散斑噪聲模式的潛在數(shù)量非常多，足夠滿足任何實際應(yīng)用中的要求。 一、項目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 OCT作為一種利用相干光的干涉來實現(xiàn)對生物組織或工業(yè)產(chǎn)品成像的技術(shù)，不可避免地會出現(xiàn)散斑噪聲現(xiàn)象。散斑作為一種噪聲存在于OCT圖像中，具體表現(xiàn)為強(qiáng)度較高的隨機(jī)信號，這類散斑會降低圖像的分辨率和對比度，嚴(yán)重影響到了成像的質(zhì)量和后期對圖像進(jìn)行定量分析的準(zhǔn)確性。散斑噪聲會降低圖像信噪比，掩蓋圖像細(xì)節(jié)，使得OCT圖像中原本連續(xù)清晰的組織結(jié)構(gòu)變得具有較強(qiáng)顆粒感，導(dǎo)致難以分辨，對后續(xù)的圖像處理、識別等操作帶來不良影響。同時，它也限制了OCT系統(tǒng)對疾病診斷或工業(yè)檢測的能力。因此抑制OCT系統(tǒng)中的散斑噪聲對提高OCT成像質(zhì)量、臨床診斷準(zhǔn)確率和工業(yè)質(zhì)檢具有重要意義。 針對傳統(tǒng)OCT所存在的問題，本成果獨辟蹊徑，利用光學(xué)斬波器改變樣品光空間分布來抑制OCT圖像中的制散斑噪聲。優(yōu)勢如下：光學(xué)斬波器改變樣品光空間分布所帶來不同散斑噪聲模式的潛在數(shù)量非常多，足夠滿足任何實際應(yīng)用中的要求。此外，光學(xué)斬波器的結(jié)構(gòu)簡單、成本很低，便于實用化。而且，散斑噪聲抑制效果對光學(xué)斬波器所處位置以及轉(zhuǎn)速的波動極不敏感，將其加入到樣品光路中任意位置均可。因此其對系統(tǒng)穩(wěn)定性要求也低，使用靈活，可適應(yīng)于長時間、非穩(wěn)定的工作條件。

本項目通過多年研究，發(fā)現(xiàn)了物質(zhì)/結(jié)構(gòu)在太赫茲波段產(chǎn)生的共振、吸收、折射、濾波、偏振等多種新現(xiàn)象和新效應(yīng)。發(fā)展了太赫茲波物質(zhì)探測、低損傳輸、高速控制和光譜成像的新手段和新方法。在太赫茲波譜應(yīng)用和功能器件研究方面取得了重要進(jìn)展，研制出多種實用化的太赫茲功能器件。近5 年來在Appl. Phys. Lett., Optics Letter, Optics Express, J. Opt. Soc. Am.等國際主流期刊上總共發(fā)表SCI 論文57 篇。申請國家發(fā)明專利22 項，已授權(quán)專利7 項。本項目多項研

一種三維量子阱結(jié)構(gòu)光電裸芯片，屬于一種量子阱結(jié)構(gòu)光電裸芯片，解決現(xiàn)有三維量子阱結(jié)構(gòu)光電裸芯片工作面積有限、工藝復(fù)雜、成本高的問題。本實用新型自下而上包括：襯底層、緩沖層、n 型層、量子阱層、p 型層，所述襯底層、緩沖層、n 型層、量子阱層和 p 型層表面形狀走向一致，均為均勻分布的凸臺陣列或者均勻分布的凹槽陣列，或者均勻分布的相間的凸臺和凹槽所構(gòu)成的陣列。本實用新型增大了襯底層工作面積，在其上直接生長一層緩沖層來進(jìn)行應(yīng)力與晶格匹配，克服了工作面積與襯底面積之比較低所帶來的量子轉(zhuǎn)換效率低的問題；本實用

本實用新型公開了一種 LED 倒裝芯片的圓片級封裝結(jié)構(gòu)，包括LED 倒裝芯片、硅基板、透鏡、印刷電路板和熱沉；硅基板正面加工有放置芯片的凹腔，凹腔底部的長度與芯片的長度相同；硅基板的反面加工有兩組通孔，兩通孔與凹腔相連通；在凹腔和兩通孔的表面沉積有絕緣層；凹腔表面的絕緣層上沉積有散熱金屬層和反光金屬層；兩通孔內(nèi)填充有金屬體，通孔內(nèi)的金屬體與凹腔表面的散熱金屬層相接；凹腔內(nèi)底部的兩金屬層存在一開口，用于將該金屬層隔離為兩部分；硅基板的反面沉積有絕緣層，該絕緣層表面布線用于電極連接的金屬層；凹腔內(nèi)涂覆有

本發(fā)明公開了一種油畫的三維太赫茲成像方法。將發(fā)射信號分 成兩路，得到第一發(fā)射信號和第二發(fā)射信號；將第一發(fā)射信號聚焦到 待測油畫上，得到經(jīng)待測油畫的不同畫層反射后的多路反射信號；將 第二發(fā)射信號和多路反射信號通過混頻器混頻，得到與多路反射信號 一一對應(yīng)的多路差頻信號；對不同油畫畫層對應(yīng)的差頻信號進(jìn)行采樣， 對每一路差頻信號，采樣得到兩個離散的數(shù)據(jù)序列，對每一路差頻信 號的兩個離散的數(shù)據(jù)序列分別進(jìn)行離散傅里葉變換，得到與

本發(fā)明屬于芯片貼裝設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域，并公開了一種面向芯片的 倒裝鍵合貼裝設(shè)備，包括晶元移動單元、頂針單元、大轉(zhuǎn)盤單元、小 轉(zhuǎn)盤單元、基板進(jìn)給單元)、貼裝運(yùn)動單元，以及作為以上各單元安裝 基礎(chǔ)的支架等，其中晶元移動單元可對晶元盤實現(xiàn)三自由度運(yùn)動并實 現(xiàn)晶元的供給;大轉(zhuǎn)盤單元將脫離晶元盤的芯片精度轉(zhuǎn)移至吸嘴上， 然后由小轉(zhuǎn)盤單元對芯片逐一拾取;基板進(jìn)給單元實現(xiàn)貼裝基板的進(jìn) 給運(yùn)動，貼裝運(yùn)動單元則將拾取完芯片的小轉(zhuǎn)盤運(yùn)動至基板貼裝位置， 最終實現(xiàn)芯片的貼裝。通過本發(fā)明，各個模塊單元之間相互聯(lián)系，共 同協(xié)作，顯

基于事件驅(qū)動方式的仿生視覺圖像傳感器，用于高速場景的拍攝 一、項目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破、顯著效益成果轉(zhuǎn)化 二、成果簡介 隨著虛擬現(xiàn)實（VR）、增強(qiáng)現(xiàn)實（AR）和混合虛擬增強(qiáng)現(xiàn)實（MR）技術(shù)、自動駕駛、物聯(lián)網(wǎng)以及機(jī)器視覺等領(lǐng)域的飛速發(fā)展，對圖像傳感器的采集速度提出了更高的要求。傳統(tǒng)基于“幀”掃描形式的CMOS 或 CCD 圖像傳感器較難滿足高速運(yùn)動物體的拍攝需求，若提高相機(jī)的圖像采集幀率，則需要采用高性能且結(jié)構(gòu)復(fù)雜的模數(shù)轉(zhuǎn)換器，大量的圖像會帶來較大的數(shù)據(jù)冗余，此外，也會面臨功耗高的問題。 相比于傳統(tǒng)的光電和圖像傳感器，生物視網(wǎng)膜具有許多不可比擬的優(yōu)勢。視網(wǎng)膜中的光感受器可根據(jù)外界光強(qiáng)的變化自適應(yīng)調(diào)節(jié)增益，能夠感知超過 180dB 的光強(qiáng)范圍。另外，視網(wǎng)膜基于事件驅(qū)動式的采集方式，僅輸出場景中光強(qiáng)發(fā)生變化的信息，因而，能夠濾除低頻信息帶來的冗余。在信號處理和傳輸上，采用異步通信的方式，通過神經(jīng)節(jié)細(xì)胞將光強(qiáng)信息轉(zhuǎn)換為時空脈沖信號，實現(xiàn)低功耗。 受到生物視網(wǎng)膜的啟發(fā)，研究人員提出了基于事件驅(qū)動方式的仿生視覺圖像傳感器，用于高速場景的拍攝。該類傳感器多采用對數(shù)像素電路作為光強(qiáng)探測單元，因其動態(tài)響應(yīng)范圍寬，可隨機(jī)讀取。然而，對數(shù)電路在弱光環(huán)境下靈敏度低，幾乎沒有光響應(yīng)，即仍然無法模仿視網(wǎng)膜弱光下的高靈敏度，除此之外，其輸出受到 (Fixed Pattern Noise，F(xiàn)PN)的影響，降低了圖像質(zhì)量。 我們提出了一種兼容 CMOS 工藝的光敏二極管體偏置場效應(yīng)晶體管器件(PD- body biased MOSFET，簡稱 PD-MOS)，其結(jié)構(gòu)圖和等效電路如圖 1所示。 利用 PD 的感光特性以及 MOSFET 的正向襯底偏置效應(yīng)實現(xiàn)集成光強(qiáng)探測及信號放大于一體的光電器件。該器件可解決對數(shù)電路在弱光下靈敏度低的問題，并且提出了一種明暗傳感器的方案以降低噪聲。設(shè)計成像測試方案并搭建靜態(tài)圖像采集測試系統(tǒng)，實現(xiàn)靜態(tài)顯示，通過 MTALAB 進(jìn)行圖像恢復(fù)從而實現(xiàn)動態(tài)圖像顯示功能。   圖 1 (a) PD-MOS 器件結(jié)構(gòu)及其 (b) 等效電路圖 經(jīng)過商用 180nm CMOS 工藝流程制備后的器件概貌如圖 2 所示，圖 (a) 為三種不同像素設(shè)計的芯片實物圖，從上至下分別為環(huán)形結(jié)構(gòu)、條形結(jié)構(gòu)及對數(shù)像素電路，將其中的環(huán)形結(jié)構(gòu)在顯微鏡下放大觀察可看到圖 (b) 所示的形貌，圖 (c) 為4個像素的顯微圖。   圖 2 (a) PD-MOS 成像陣列芯片的實物圖，(b) 環(huán)形結(jié)構(gòu)芯片在顯微鏡下的放大圖以及 (c) 環(huán)形結(jié)構(gòu)像素放大圖 上位機(jī)實時顯示效果如圖3所示，可以明顯看出兩根頭發(fā)相交。子圖 (a) 為暗態(tài)時的 100 幀平均灰度圖，子圖 (b) 為暗態(tài)時的曲面圖，子圖 (c) (e) (g) (i) 為光態(tài)下的圖，子圖 (d) (f) (h) (j) 為光態(tài)下的圖像數(shù)據(jù)減去暗態(tài)下圖像數(shù)據(jù)的降噪圖，可以發(fā)現(xiàn)在30nw/cm2 輻照度下已經(jīng)出現(xiàn)頭發(fā)的輪廓，當(dāng)輻照度繼續(xù)增加，頭發(fā)的輪廓越來越清晰，當(dāng)輻照度達(dá)到 3mw/cm2，仍然可以看到頭發(fā)的輪廓。   圖 3 陣列芯片采集的圖像 不同于傳統(tǒng)計算機(jī)視覺系統(tǒng)的圖像采集方式，生物視覺系統(tǒng)的成像由視野場景中發(fā)生的事件觸發(fā)，且生物視網(wǎng)膜具有寬動態(tài)響應(yīng)范圍、超低功耗以及異步傳輸?shù)忍攸c，這為仿生視覺系統(tǒng)的研究提供了全新的思路。隨著物聯(lián)網(wǎng)、自動駕駛以及安防等領(lǐng)域的快速發(fā)展，它們對高速動態(tài)圖像傳感器的需求也日益提升。近些年，針對這些需求，研究人員提出了一種用于采集高速動態(tài)信息的類視網(wǎng)膜相機(jī)，成為了一大熱點研究方向。類視網(wǎng)膜相機(jī)的工作原理模擬了生物視網(wǎng)膜事件驅(qū)動型的采集方式及異步型的傳輸模式，為動態(tài)視覺成像提供了硬件基礎(chǔ)。綜上，該類傳感器的研究具有十分重要的科研意義和深遠(yuǎn)的經(jīng)濟(jì)價值。

項目簡介： 發(fā)展自主知識產(chǎn)權(quán)的北斗衛(wèi)