一種微納深溝槽結(jié)構(gòu)側(cè)壁形貌快速測量方法及裝置
本發(fā)明公開了一種微納深溝槽結(jié)構(gòu)側(cè)壁形貌快速測量方法及裝置,能夠同時快速測量微納深溝槽結(jié)構(gòu)線寬、溝槽深度、側(cè)壁角、側(cè)壁粗糙度等側(cè)壁形貌參數(shù)。步驟為:將波長為從近紅外到中紅外的光束經(jīng)起偏后得到的橢圓偏振光投射到待測結(jié)構(gòu)表面;采集待測結(jié)構(gòu)表面零級衍射信號,計算得到微納深溝槽結(jié)構(gòu)測量紅外橢偏光譜;采用分波長建模方法分別計算在近紅外和中紅外波段理論橢偏光譜,采用分步光譜反演方法與實驗測量紅外橢偏光譜匹配,依次提取出溝槽結(jié)構(gòu)參數(shù)和粗糙度參數(shù)。裝置包括紅外光源、第一至第四離軸拋物鏡、邁克爾遜干涉儀、平面反射鏡、起
華中科技大學
2021-04-14