微弧離子鍍?cè)O(shè)備研制及鍍膜工藝開發(fā)
微弧離子鍍(Micro-arc Ion Plating,MAIP)技術(shù)有機(jī)融合了多弧離子鍍和磁控濺射離子鍍的優(yōu)點(diǎn),主要面向于精密制造領(lǐng)域的高端薄膜制備。微弧離子鍍工藝因具有離化率高、繞鍍性好、均勻性好、基片溫升低等特點(diǎn),是各種精密制品理想的表面改性工藝;以此技術(shù)開發(fā)的納米氮化物系列超高硬度鍍層、碳基非晶自潤(rùn)滑鍍層、硫化鉬基低摩擦系數(shù)鍍層等在機(jī)械行業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用。
南京工業(yè)大學(xué)
2021-04-13