一種測量微位移的裝置
本發(fā)明公開了一種測量微位移的裝置,包括導(dǎo)軌、固定安裝在導(dǎo)軌前端的固定板、固定安裝在導(dǎo)軌中部的主板以及活動安裝在導(dǎo)軌后端可沿導(dǎo)軌軸線滑動的鏡架,固定板上設(shè)有光檢測器,主板上設(shè)有激光器、分光鏡和第一反射鏡,鏡架上設(shè)有第二反射鏡,所述激光器、分光鏡、第一反射鏡、第二反射鏡和光檢測器構(gòu)成邁克爾遜干涉儀,被測物體的兩端分別固定在主板和鏡架上。本發(fā)明所提供的測量微位移的裝置,結(jié)構(gòu)簡單,更加小型化,便于攜帶;測量結(jié)果由光檢測器直接讀取,提高了檢測精度,且操作簡單,易于調(diào)節(jié)。
西南交通大學
2016-10-19