一種三維微型模具的制造方法
本發(fā)明提供了一種三維微型模具的制造方法,在各硅片上分別刻蝕出與待制造零件各層結(jié)構(gòu)相應(yīng)的圖形,將質(zhì)量百分比 98%的H2SO4 與質(zhì)量百分比 30%的 H2O2 按照體積比 2~4∶1 混合,采用此混合溶液對(duì)各硅片進(jìn)行清洗,然后活化,再將活化后的硅片干燥,按層次迅速對(duì)準(zhǔn)貼合,最后進(jìn)行退火處理得到三維微型模具型腔。本發(fā)明能夠制造出微米尺度的三維微型模具,具有精度高,成本低,柔性大的優(yōu)點(diǎn),適用于微齒輪軸、微階梯軸、高深寬比三維微型結(jié)構(gòu)等微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件模具的加工制造。
華中科技大學(xué)
2021-04-14