微型濕度傳感器
自主設(shè)計研發(fā),采用獨創(chuàng)的器件結(jié)構(gòu)和特有的感濕介質(zhì)及其制備技術(shù)。
與同類產(chǎn)品相比的優(yōu)勢:濕滯小;芯片面積小(~3mmx3mm);響應(yīng)速度快(對30%-70%RH濕度階躍變化的響應(yīng)時間為~1.0s);100℃以上高溫耐受性好;長期穩(wěn)定性好(常溫環(huán)境中放置1年特性無明顯變化)。
采用常規(guī)微電子工藝制作,易于大批量生產(chǎn)。
掌握全套制備工藝和關(guān)鍵工藝技術(shù),達到量產(chǎn)水平。
已獲發(fā)明專利,具有完全知識產(chǎn)權(quán)。
蘭州大學(xué)
2021-05-11