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本發(fā)明公開了一種用于芯片倒裝的多自由度鍵合頭，包括安裝立板、對準機構(gòu)和調(diào)平機構(gòu)，其中對準機構(gòu)包括縱向設置在安裝立板上部的 Z 向模組和橫向設置在 Z 向模組上的支架，并在 Z 向電機和旋轉(zhuǎn)電機的配合驅(qū)動下實現(xiàn)鍵合頭相對于 Z 軸方向的對準運動；調(diào)平機構(gòu)包括固定設置在支架下側(cè)的上平臺、帶有吸嘴的下平臺和設置在上下平臺之間的三個支鏈結(jié)構(gòu)，其中調(diào)平中心鏈的兩端分別通過轉(zhuǎn)動副與上下平臺相連，分布在中心鏈兩側(cè)的兩個調(diào)平側(cè)鏈各自配備有作為調(diào)節(jié)動力輸入的移動副，且其上下端分布通過多個轉(zhuǎn)動副與上下平臺相連。通過本發(fā)

本發(fā)明屬于芯片貼裝工藝相關領域，并公開了一種適用于芯片 轉(zhuǎn)移的倒裝鍵合控制方法，主要包括：基于大轉(zhuǎn)盤仰視相機和晶元盤 斜視相機的觀測和配合，對芯片從晶元盤至大轉(zhuǎn)盤單元的吸附轉(zhuǎn)移執(zhí) 行角度及位置控制；基于大轉(zhuǎn)盤俯視相機和小轉(zhuǎn)盤側(cè)視相機的觀測和 配合，對芯片從大轉(zhuǎn)盤單元至小轉(zhuǎn)盤單元的拾取轉(zhuǎn)移執(zhí)行角度及位置·108·控制；以及基于小轉(zhuǎn)盤仰視相機和小轉(zhuǎn)盤俯視相機的觀測和配合，對 芯片至基板的貼合過程執(zhí)行相應控制。通過本發(fā)明，不僅能夠?qū)崿F(xiàn)芯 片高效倒裝鍵合整個過程中芯片在位置及角度

長期從事巖體強度理論及地下結(jié)構(gòu)全壽命設計方法、地下空間防災安全和智慧地下基礎設施建設的研究，同濟大學土木工程學院朱合華教授是國際上較早開展數(shù)字地下空間與工程（DUSE）研究的學者之一。經(jīng)過近20年的努力，朱合華團隊成員齊心協(xié)力構(gòu)建起數(shù)字地下空間的理論體系、工程方法和數(shù)據(jù)庫，初步完成了數(shù)字化地下體系建設，構(gòu)建出“工程數(shù)字化”創(chuàng)新技術核心，已經(jīng)在城市軌道交通、高速公路等領域得到廣泛的應用。朱合華被國際同行認為是“城市基礎設施規(guī)劃、設計、施工和維護信息集成方法的國際開拓者之一。  2021年中國工程院新增院士中，同濟大學土木工程學院朱合華教授當選。 誤打誤撞與數(shù)字化結(jié)緣 　　1979年，朱合華進入重慶大學化學礦開采專業(yè)學習，開始接觸計算機編程語言。1983年9月成為重大碩士研究生后，他開始深入與計算機應用打交道，師從李通林教授，完成了“圍巖不連續(xù)面非線性效應對巷道穩(wěn)定性影響分析”的碩士論文。 　　1986年9月，朱合華考入同濟大學，師從孫鈞、楊林德2位恩師攻讀結(jié)構(gòu)工程專業(yè)（地下結(jié)構(gòu)方向）博士，論文題目為《隧道掘進面時空效應研究——邊界元法若干理論與工程應用》。 　　從此，在朱合華的學術世界中，計算機技術、土木工程就成了形影不離的“伙伴”，他開辟了數(shù)字化的研究方向。 　　1993年7月，朱合華到日本大阪土質(zhì)試驗所和京都大學從事軟土地下工程研究，進一步運用有限元數(shù)值方法進行軟土盾構(gòu)隧道管片襯砌分析、地下工程施工動態(tài)反演等。 　　上世紀90年代初，日本快速發(fā)展的地下基礎設施建設，為他的研究工作提供了大量的室內(nèi)和現(xiàn)場試驗的工程數(shù)據(jù)。 　　至今，朱合華還記得這樣的場景：工作單位長期聘請的幾位工作人員，持續(xù)將大阪灣的三維地質(zhì)數(shù)據(jù)輸入計算機中，形成了大阪灣的地質(zhì)、地震數(shù)據(jù)庫信息系統(tǒng)，該信息系統(tǒng)在日本國內(nèi)具有重要的影響。 　　大阪土質(zhì)試驗所所長巖崎先生告訴他：“巖土工程師一定要與地層交朋友！”這個叮囑也促成他歸國后迅即開展土木與信息學科交叉的研究。朱合華在日本期間創(chuàng)建的用于管片襯砌設計分析的梁-接頭（縫）不連續(xù)模型，后來也被納入了我國國家標準。 　　上世紀90年代末，朱合華在同濟附近的小書攤上發(fā)現(xiàn)了當時的暢銷書——《數(shù)字化生存》，“數(shù)字”二字縈繞在他腦海，后來他又在《文匯報》上讀到了與“數(shù)字地球”概念有關的文章。當《巖土工程界》期刊向他約稿時，朱合華撰寫了《從數(shù)字地球到數(shù)字地層——巖土工程發(fā)展新思維》一文，從此打開地下空間與工程數(shù)字化研究的大門。 推動數(shù)字化在工程中的應用 　　1999年，朱合華牽頭的“城市三維地層信息管理系統(tǒng)的開發(fā)與應用”獲批上海市教委曙光計劃，經(jīng)過3年的潛心研究，項目驗收得到了專家們的高度評價，成為團隊數(shù)字化研究工作布局的起點。朱合華團隊的工作成為了2004年上海先后啟動的29個重大科技專項之—，也是城市地下空間信息平臺建設和國土資源部與上海市聯(lián)合資助的三維地質(zhì)調(diào)查項目。 　　廈門翔安海底隧道是中國內(nèi)地第一條海底隧道，全長8.695千米，跨海部分全長6.05千米，最大深度達到70米，相當于18層樓高。隧道還要在四周一片漆黑無方向的地下施工，所經(jīng)之地地質(zhì)狀況極其復雜。朱合華團隊的介入，使得這一高難度項目成為了我國跨海隧道的一項示范工程。 　　近年來，朱合華團隊的研究領域遍布數(shù)字地下空間、數(shù)字化工程兩大園地，數(shù)字地下空間研究成果在上海世博地下空間、常州地下空間、延安新城地下基礎設施等得到應用，數(shù)字化工程的研究成果在廣州龍頭山雙洞八車道公路隧道、淮南望峰崗煤礦、上海長江隧道、世博500kV地下變電站和電力隧道、上海地鐵一號線結(jié)構(gòu)維護、上海中心深基坑等項目建設得到應用。 　　圍繞這些工程，團隊相繼研究開發(fā)出“復合纖維和預應力管片結(jié)構(gòu)技術”“盾構(gòu)地層適應性理論和試驗方法”“大斷面、高水壓、近間距下盾構(gòu)施工微擾動控制技術”等一系列方法與技術，解決了復雜環(huán)境下地下建筑結(jié)構(gòu)設計分析、施工安全與控制的一個又一個難題，主持的項目“軟土盾構(gòu)隧道設計理論與施工控制技術及應用”獲2008年國家科技進步獎二等獎。 　　朱合華又針對大規(guī)模、集群化的地下空間的建造難題，組織國內(nèi)相關單位聯(lián)合攻關。他主持的項目“城市高密集區(qū)大規(guī)模地下空間建造關鍵技術及其集成示范”，2016年獲國家科技進步獎二等獎。 　　數(shù)字化地下課題與工程的“比翼雙飛”，朱合華團隊實現(xiàn)了基礎理論和前沿交叉研究的良性循環(huán)。他們提出了地下空間工程全壽命數(shù)據(jù)采集—表達—分析—服務的數(shù)字化范式，開辟了數(shù)字地下空間工程新方向，攻克了“建造動態(tài)精細調(diào)控、運維快速精準評價”難題，創(chuàng)建了地下三維動態(tài)信息表達與分析的理論方法；攻克了安全建造的動態(tài)精細調(diào)控技術，突破了高效運維的快速精準評價技術。研究成果成功應用于上海長江通道、貴州高速公路網(wǎng)、上海地鐵網(wǎng)等重大工程。 　　2015年，朱合華因在數(shù)字地下空間與工程方面的成就獲得第44屆德國洪堡研究獎，他是中國土木工程界到目前為止的唯一獲獎者。 首創(chuàng)基礎設施智慧服務系統(tǒng) 　　朱合華團隊經(jīng)過長期思考和一年多的充分討論，創(chuàng)建了基礎設施智慧服務系統(tǒng)iS3 （infrastructure Smart Service System， 2013），即基礎設施全壽命數(shù)據(jù)采集、處理、表達、分析的一體化智慧決策服務系統(tǒng)。該系統(tǒng)從廣義工程應用場景出發(fā)，以信息流為主線，采用面向服務的組件式框架和微服務技術架構(gòu)的系統(tǒng)平臺，集先進性、開放性和實用性為一體，是國際上第一個開源的基礎設施智慧服務系統(tǒng)。 　　因為研究成績突出，朱合華的影響日漸擴大。日本、新加坡、英國、美國、韓國等國都留下了他的“中國好聲音”；2010年，他在上海創(chuàng)辦了信息巖土工程技術國際學術會議，該會議現(xiàn)已成為國際信息巖土工程領域的重要系列會議；2017年值同濟110周年校慶之時，成立了中國智慧基礎設施聯(lián)盟暨全球研究中心，已吸引世界170多家單位參與。 　　在數(shù)字化轉(zhuǎn)型和智能建造的大潮中，如何借助現(xiàn)代信息技術手段，在人跡罕至的高山峻嶺地區(qū)修建地下交通基礎設施？朱合華提出開展巖體隧道動態(tài)設計的遠程診斷分析，即將iS3平臺作為數(shù)字底座，實現(xiàn)了基于數(shù)字孿生技術的巖體隧道支護的三維動態(tài)設計技術。三維動態(tài)設計技術成功應用于四川峨漢大峽谷隧道（最大埋深1940米，世界最深的公路隧道）施工中，僅用10分鐘完成了現(xiàn)場三維遠程實時動態(tài)支護設計，這在國際上首次實現(xiàn)，是隧道動態(tài)設計的重大技術突破。 　　今天， “土木信息工程”已成為《中國大百科全書》第三版土木工程學科的分支之一，朱合華盼望著數(shù)字化轉(zhuǎn)型背景下的“土木信息工程”學科未來繼續(xù)能茁壯成長。

產(chǎn)品詳細介紹型號：HD-I5506E 背光類型：LED ，顯示尺寸：55”顯示比例：16：9可視角度：178°物理解析度：1920*1080pixel圖像制式/聲音制式：PAL/DK,I音視頻輸入/輸出：    輸入：1個RF、1個USB播放接口+1個USB紅外接口、3個HDMI端口、1路YPbPr/YCbCr/音頻、1個VGA輸入+1個立體聲音頻輸入、1路AV復合、1路RS232端口    輸出：1路AV輸出、1路立體聲音頻多媒體功能：    視頻格式：MPEG1、MPEG2、MPEG4、H264、RM、RMVB、MOV、MJPEG、VC1、Divx、FLV(支持1080P高清解碼）    圖片格式：JPEG、BMP、PNG    音頻格式:WMA、MP3、M4A、（AAC）功耗：標準功耗：<150W，待機功耗工作電壓：AC100-240V，50/60Hz觸摸面材質(zhì)：防眩光鋼化玻璃感應方式：紅外觸摸感應技術特性：HID免驅(qū)觸摸點數(shù)：多點觸控，多點書寫書寫方式：手指或書寫筆觸摸分辨率：32767*32767掃描速度：5ms光標速度：125點/s定位精度：0.1mm通訊接口：USB存儲溫度/濕度:-20℃~60℃,10%~90%工作溫度/濕度:0℃~50℃,10%~90%安裝方式:壁掛/支架整機尺寸:1297*779*67mm重量:約47KG 

多層電容器作為電子線路中不可缺少的元件，得到了越來越廣泛的應用。多層電容器在燒制過程中，為了確保電氣性能，必須在氧化鋯承燒板上進行燒制，由于氧化鋯承燒板屬于易耗品，且價格較貴，所以電容器生產(chǎn)廠家迫切需要一種質(zhì)量可靠，使用壽命長，價格低廉的承燒板。本項目提供一種質(zhì)量可靠，使用壽命長，價格低廉的復合氧化鋯承燒板以彌補現(xiàn)有技術之不足。 目前，高品質(zhì)復合氧化鋯電子承燒板多為日本進口產(chǎn)品，采用火焰噴涂技術在氧化鋁基材表面制備氧化鋯涂層。該技術存在的主要問題是設備投資較大，并且對氧化鋁基材要求較高，國產(chǎn)氧化鋁基材由于質(zhì)量相對較差，在噴涂過程中容易造成斷裂。而本項目采用液相制備技術，設備投資少，有效的解決了涂層附著力問題，對基材要求低，原料易得，具有良好得應用前景。

現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展使得用戶對板帶鋼的板形質(zhì)量提出越來越苛刻的要求，板形控制技術已經(jīng)成為標志現(xiàn)代化板帶熱軋機、冷軋機和中厚板軋機的技術裝備和自動化水平的代表性技術。北京科技大學陳先霖教授領導的項目組從“六五”至今一直在板帶軋制工藝研究、板形控制技術的消化和自主創(chuàng)新領域進行了不懈的努力，取得了多項重要成果并投入實際應用。包括：  能夠提供變接觸VCL/VCR支持輥技術，自動消除輥間有害接觸區(qū)，顯著改善了軋機的板形控制性能，增加了彎輥調(diào)控效果，降低了軋輥消耗，延長了換輥周期。 能夠提供高效變凸度HVC/LVC工作輥技術，克服CVC工作輥技術在軋制窄帶鋼時表現(xiàn)板形調(diào)節(jié)能力不足的缺陷，實現(xiàn)板形調(diào)節(jié)與帶鋼寬度和竄輥量均成線性關系，顯著增加軋機的板形調(diào)節(jié)能力，解放彎輥力，為L1的板形實時控制預留空間。 能夠提供非對稱ASR/ATR工作輥技術，解決熱連軋機組中下游機架不能兼顧板形控制和工作輥磨損控制的難題，在獲取好的板形質(zhì)量的同時實現(xiàn)自由規(guī)程軋制。同時，該技術可實現(xiàn)對邊部板形要求較高的專用鋼的穩(wěn)定生產(chǎn)。 能夠提供均壓型PPT中間輥技術，消除了HC軋機輥間接觸壓力尖峰，解決了軋輥嚴重剝落損傷問題，提高了板形質(zhì)量和成材率。 能夠提供成套板形控制模型，包括過程控制級（L2）的板形設定控制模型和基礎自動化級（L1）的彎輥力前饋控制模型、凸度反饋控制模型、平坦度反饋控制模型、板形板厚解耦控制模型和軋后冷卻補償模型等，實現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)過程中高精度的板形自動控制。      以上研究成果在武鋼1700冷連軋、寶鋼2030冷連軋、武鋼1700熱連軋、鞍鋼1700熱連軋、鞍鋼2150熱連軋、濟鋼1700熱連軋、萊鋼1500熱連軋、日鋼1580熱連軋、武鋼2800中板等生產(chǎn)線取得了長期穩(wěn)定應用。 本項目適用于所有的新建和欲改造的板帶軋機包括熱軋機、冷軋機和中厚板軋機。同時，通過技術集成和轉(zhuǎn)移，可為軋鋼技術裝備國產(chǎn)化作出較大貢獻。 ◆經(jīng)濟效益及市場分析 經(jīng)濟效益主要體現(xiàn)在改善產(chǎn)品的板形質(zhì)量、提高軋機的生產(chǎn)率和成材率、降低生產(chǎn)成本等方面，同時，由于價格優(yōu)勢，可為企業(yè)降低投資成本，節(jié)省外匯。市場競爭的壓力對新建的和已有的板帶軋機的板形控制能力均提出了很高的要求，板形控制技術將成為這些軋機的必備技術。

該項目應用領域：可替代現(xiàn)有各種管殼式換熱器方案，尤其對貴重材料應用的經(jīng)濟性更好，如銅管干式蒸發(fā)器、鈦管閉式冷卻器等。

針對我國停車位缺口巨大、傳統(tǒng)立體車庫構(gòu)造復雜且維護不便等行業(yè)痛點，本項目團隊研發(fā)了全新的穿梭板智能機器人泊車系統(tǒng)。該系統(tǒng)由超薄全向，夾運一體的全自主智能泊車機器人及智能調(diào)度控制系統(tǒng)組成。無需任何軌道，導向機構(gòu)，運輸大車等裝置，只需配以平面地平，標準升降平臺，即可搭建智能立體車庫，并可衍生出超高密度立體車庫，平面智能泊車等解決方案。本項目對標并替代現(xiàn)有高端立體車庫產(chǎn)品，可盤活廢舊立庫或建筑，拓展新型應用市場。

管殼式換熱器在現(xiàn)代工業(yè)中占有十分重要的地位，特別是在動力、能源、化工、空調(diào)制冷、石油、冶金、核能等工業(yè)領域中應用極為廣泛，它是工藝流程中的一種主要設備。傳統(tǒng)的弓形折流板換熱器存在流動死區(qū)，易結(jié)垢，無法充分利用傳熱面積從而導致傳熱系數(shù)低，壓降大，管束易產(chǎn)生流體誘導振動等缺點。高效的管殼式換熱設備能從多方面節(jié)省能源的消耗：一方面可以節(jié)省驅(qū)使換熱器中冷熱兩種流體的運動所需的功耗，同時換熱面積的縮小可以減少生產(chǎn)換熱設備所需的能耗以及原材料，有效的結(jié)構(gòu)形式還可以減少換熱面結(jié)垢的可能性，延長運行周期。因此換熱設備的高效強化是實現(xiàn)我國過程工業(yè)節(jié)能的關鍵因素之一。據(jù)統(tǒng)計，管殼式換熱器大約占世界換熱器市場總份額的35–40%，且在石油、化工領域管殼式換熱器能占到高達70％的份額。因此對螺旋折流板管殼式換熱器進行推廣應用對于節(jié)能具有重要的意義，可以創(chuàng)造巨大的社會效益和經(jīng)濟效益。 上世紀末提出使用螺螺旋折流板支撐結(jié)構(gòu)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的弓形折流板支撐結(jié)構(gòu)可以顯著降低殼側(cè)壓降，也有利于強化換熱，具有良好的綜合性能，雖然近十余年中國內(nèi)外對于螺旋折流板管殼式換熱器開展了較多的研究，但現(xiàn)有的公開發(fā)表的資料中未見到有關螺旋折流板換熱器的完整的設計方法介紹。本技術基于本課題組大量的試驗與數(shù)值模擬研究并參考相關公開發(fā)表的文獻，開發(fā)一套完整的熱力設計方法和軟件。 該項目是在教育部重點課題和“973”項目的大力支持下，經(jīng)過多年的努力完成的。針對單殼程多管程單相介質(zhì)流動換熱的螺旋折流板管殼式換熱器所開發(fā)的熱力設計軟件，該軟件擁有完全的自主知識產(chǎn)權(quán)。本軟件采用VB6.0、EXCEL2003和FORTRAN混合編程。VB形成可視化操作界面，可視化數(shù)據(jù)輸入輸出，實現(xiàn)數(shù)據(jù)傳遞功能；調(diào)用FROTRAN語言編制的可執(zhí)行程序讀取所需數(shù)據(jù)完成核心計算；調(diào)用EXCEL軟件進行相關數(shù)據(jù)的保存和輸入輸出管理。

一、項目簡介立體傳質(zhì)塔板（CTST）技術已先后獲得多項國家專利（ZL93218445.6, ZL01221921.5, ZL01221920.7, ZL200410020375.0），具有通量大、分離效率高、操作彈性大、壓降低、抗堵塞以及適宜處理易發(fā)泡物料等諸多優(yōu)點。可廣泛應用于石化、化工、制藥等行業(yè)的挖潛改造、節(jié)能、環(huán)保等項目中。幾年來在國內(nèi)28個省市的大中型企業(yè)應用的塔設備已經(jīng)超過3000座，有效地解決了生產(chǎn)中的瓶頸難題，對企業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量的升級換代具有極大的推動作用。同時，在降低原材料消耗、降低能耗、減少環(huán)境污染等方面的社會效益也十分顯著。據(jù)不完全統(tǒng)計，為企業(yè)創(chuàng)造的經(jīng)濟效益超過30億元。經(jīng)鑒定其主要技術性能達到國際領先水平。先后獲得河北省科技進步一等獎（1999），天津市科技進步一等獎（2004），河北省科學技術突出貢獻獎（2006）。并被列入河北省科技成果重點推廣項目，天津重點科技成果推廣計劃，國家科技成果重點推廣計劃目，國家重大科技攻關計劃項目等。二、技術指標1、生產(chǎn)能力或處理能力比F1浮閥塔板大1.5-2倍以上；2、分離效率高：板效率比New VST提高10-40%；3、板壓降低：板壓降低于浮閥塔板，可用于減壓場合；4、操作彈性大：操作彈性可達5-7；5、設備投資低：該塔板效率高、通量大，在生產(chǎn)能力相同情況下，節(jié)省投資1/3以上；6、操作費用低：減小操作回流比、降低能耗。三、市場前景目前，國內(nèi)石化、化工、制藥及相關行業(yè)的很多企業(yè)的分離設備都處于二十世紀中后期的水平，設備老化、效率低下、急需更新。另外，一些新引進項目的擴產(chǎn)若采用此項技術，可大幅降低設備投資，縮短施工工期。應用前景十分廣闊。四、規(guī)模與投資使用此技術建塔，比傳統(tǒng)塔節(jié)省1/3費用；如果用此技術對原塔進行改造，比新建塔節(jié)省2/3費用。