混合導通機制鰭型柵場效應晶體管器件
本發明提供了一種混合導通機制鰭型柵場效應晶體管器件,包括鰭型柵場效應晶體管、第二源區與第二漏區;鰭型柵場效應晶體管包括襯底、鰭型溝道區、第一源區及第一漏區;第二源區的高度不低于第一源區與第一漏區之間的襯底的高度;第一源區與第一漏區中摻雜有第一離子;第二源區形成于襯底與第一源區之間,第二漏區形成于襯底與第一漏區之間,第二漏區與第二源區中分別摻雜有第一離子與第二離子。該方案解決了鰭型柵場效應晶體管的底部電流泄漏的問題,且通過增設第二源區和第二漏區,相當于在鰭型柵場效應晶體管的底部并聯隧穿場效應晶體管器件結構,可以實現鰭型溝道擴散漂移電流和底部溝道帶帶隧穿電流混合導通,從而獲得更優的超陡開關特性。
復旦大學
2021-01-12