一種雙軸解耦結構的平面電機
本發(fā)明公開了一種雙軸解耦結構的平面電機,包括基座和位于其上方的工作平臺,所述基座上設有第一驅(qū)動線圈、第二驅(qū)動線圈、氣動懸浮體、間隙傳感器和位置傳感器,第一和第二驅(qū)動線圈在同一平面相垂直擺放;所述工作平臺上設有同一平面相垂直擺放的第一永磁體和第二永磁體,其中第一永磁體與第一驅(qū)動線圈相垂直,第二永磁體與第二驅(qū)動線圈相垂直,另有控制器分別連接兩驅(qū)動線圈、兩傳感器和氣動懸浮體。本發(fā)明雙軸共面解耦結構實現(xiàn)同一平面上雙軸驅(qū)動的二維運動,簡化了結構,增大了系統(tǒng)可靠性。
華中科技大學
2021-01-12