一種旋轉補償器型橢偏儀的系統(tǒng)誤差評估及消除方法
本發(fā)明公開了一種旋轉補償器型橢偏儀系統(tǒng)誤差評估及消除方法該方法,包括首先建立待優(yōu)化橢偏儀的系統(tǒng)模型,并求的待測樣品穆勒矩陣解析表達式;然后通過對泰勒展開,獲得 n 階旋轉補償器型橢偏儀橢儀系統(tǒng)誤差與元件誤差之間的關系。最后改變旋轉補償器型橢偏儀起檢器與檢偏器方位角,經過四次測量,并求得四次測量結果的均值,這個均值就是已消除了橢偏儀系統(tǒng)誤差的待測樣品的穆勒矩陣。本發(fā)明方法可以獲得旋轉補償器型橢偏儀由元件誤差導致的系統(tǒng)誤差的解析表達式,計算過程明確,系統(tǒng)誤差的消除方法操作簡單可行,可以適用于現有不同結構
華中科技大學
2021-04-14