多焦點光束產(chǎn)生裝置及多焦點共焦掃描顯微鏡
本發(fā)明揭示了一種多焦點光束產(chǎn)生裝置及多焦點共焦掃描顯微鏡,多焦點光束產(chǎn)生裝置包括光源,偏振器和偏振濾波光路;偏振濾波光路在光源出射光束經(jīng)過偏振器后的光路上設(shè)置有第一偏振分光鏡,光束經(jīng)過第一偏振分光鏡后一部分發(fā)生反射,一部分發(fā)生透射;在反射光路上依次設(shè)置有第一反射鏡,第一濾波片和第二偏振分光鏡;在透射光路上依次設(shè)置有第二濾波片,第二反射鏡和第二偏振分光鏡,反射光束和透射光束在第二偏振分光鏡處匯合成一束光束.通過多焦點光束產(chǎn)生裝置產(chǎn)生的光束經(jīng)聚焦后得到的焦點均勻性高,尺寸小和形狀呈圓對稱分布.本發(fā)明掃描顯微鏡可保證高分辨率的前提下成像速度快,或者在同樣的成像速度下具有更高分辨率
上海理工大學(xué)
2021-05-04