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薄膜
晶體管的器件研究
通過簡單封裝和熱退火,制備出穩定富含氫的IGZO 晶體管,其晶體管電學性能、穩定性都獲得大大提高。制備方法較簡單且重復性高,即用氮化硅薄膜封裝,再通過熱擴散將氮化硅內氫元素擴散至InGaZnO薄膜內。摻氫后的晶體管,其開態電流和開關比都獲得了數量級的提升(約40倍),而且閾值電壓沒有太大變化。而對應提取出的場效應遷移率則出現異常,大于300 cm2/(V·s),遠高于未經處理的對照樣品。然后結合二次離子質譜儀(SIMS)和X射線光電子能譜分析(XPS)表征,發現薄膜內不但氫濃度提升了約一個數量級,而且氧空位缺陷態也大大減少了,而自由電子濃度則相應顯著增加。?研究還指出,該工作模式在長溝道晶體管中效果尤為顯著,而在短溝道器件中則受到明顯局限。該工作揭示了氫在氧化物半導體中的穩定存在方式和對導電性能的關鍵作用,為提升長溝道晶體管的電流驅動能力提供了一種新的器件工作模式,并對高遷移率薄膜晶體管的驗證和分析提供了普適性的理論依據和實驗方法。
中山大學
2021-04-13
柔性
薄膜
組裝集成芯片傳感器
硅芯片是當代信息技術的核心,當前正向“深度摩爾”(More Moore)和“超越摩爾”(More than Moore)兩個方向發展。物聯網(IoT)應用是“超越摩爾”技術路線中相當重要的一環,需要數量巨大的集成電路芯片來分析處理來自外部傳感器件的海量信號。目前,大多數傳感信號采集器件和信號處理單元均為分離設計,將在整體上產生更大功耗并占據更大的空間。由此,復旦大學材料科學系教授梅永豐課題組提出了將信號檢測和分析功能集成于同一個芯片器件中的全新概念。作為演示,研究團隊將單晶硅薄膜柔性光電晶體管與智能薄膜材料相結合和組裝,構造了對不同環境變量進行檢測和分析的柔性硅芯片傳感器及其系統。這一思路不僅具有優異的可擴展性,還可與當前集成電路先進制造工藝相兼容。5月2日,相關研究結果以《面向智能數字灰塵的硅納米薄膜光電晶體管多功能集成傳感器研究》(“Silicon Nanomembrane Phototransistor Flipped with Multifunctional Sensors towards Smart Digital Dust”)為題發表在《科學進展》(Science Advances)上。研究團隊從器件的傳感機理入手,利用柔性薄膜組裝集成芯片傳感器,實現了多種環境參數探測功能的集成。圖1:(A) 器件主要功能層示意圖;(B) 貼附于曲面上的柔性傳感器件陣列;(C) 智能傳感器件功能區的光學顯微照片;(D)用于濕度傳感的集成系統構造圖;(E) 氫氣通入前后參比器件與檢測器件的電流變化,紅色為參比電流,藍色為檢測電流。智能材料在環境刺激中可以發生折射率、顏色、晶體結構等方面的光學性質變化,但一般需要光譜設備或比色卡才能進行比對。而翻轉的硅薄膜光電晶體管由于沒有柵極金屬阻擋功能區域的光信號吸收,可以更容易獲得高靈敏的傳感特性。利用這一點,研究團隊將多種智能薄膜材料貼合在器件功能區,智能材料內部物理性質變化引起了微小光學性能改變,從而表現在輸出的光電流上,因此可以在同一個芯片上實現對多種不同信號的同時檢測。圖1A展示了傳感器件典型的功能層結構,頂層的智能薄膜材料對環境刺激發生響應,進而改變下方硅單晶薄膜光電晶體管的輸出信號。具有2微米厚的熱氧化二氧化硅層則作為光電晶體管的封裝,對下方器件進行保護。硅薄膜光電晶體管完全由晶圓級先進集成電路工藝方法制備而成,結合了傳統硅基光電子器件的高性能和硅納米薄膜超薄厚度下的優良柔性。圖1B是貼附于半徑僅為2毫米直徑玻璃管上的柔性器件陣列,表現出良好的彎曲性能。圖1C是單個器件功能區域的特寫,在藍色虛框部分集成不同智能材料即可實現對不同環境信號的檢測。圖1D是具有完備傳感與數據處理功能的柔性系統合成圖,包括傳感與參比器件、邏輯與存儲單元、信號放大器和電源。研究團隊利用該系統實現了對環境中濕度的實時、快速檢測,演示的信號為依次減小的三個濕度脈沖。整個過程中直接對環境變化做出響應的信號,即參比器件與傳感器件輸出電流隨時間的變化如圖1E中所示。當環境發生變化(如圖所示通入氫氣),傳感器件的輸出電流大幅增加,而參比電流保持平穩,再利用差分電路處理,即可給出所檢測的環境參數的值。研究團隊開發了將智能材料與光電傳感結合的新穎傳感機制,并將傳感模塊與后續信號處理等模塊集成在一起,展示了其在氣體濃度、濕度、溫度等多種環境參數檢測方面的能力,已經初步具備了未來的“智能數字灰塵”的雛形。該策略也可以應用于其他的數字傳感系統,在后摩爾時代中將具有巨大的應用潛力。論文主要由李恭謹博士,博士研究生馬喆和尤淳瑜合作完成,并獲得韓國延世大學Taeyoon Lee教授和中科院微系統所狄增峰研究員的合作支持。該工作得到國家自然科學基金委、上海市科委、復旦大學和專用集成電路與系統國家重點實驗室等大力支持。
復旦大學
2021-04-11
柔性
薄膜
組裝集成芯片傳感器
( (A) 器件主要功能層示意圖;(B) 貼附于曲面上的柔性傳感器件陣列;(C) 智能傳感器件功能區的光學顯微照片;(D)用于濕度傳感的集成系統構造圖;(E) 氫氣通入前后參比器件與檢測器件的電流變化,紅色為參比電流,藍色為檢測電流 )
復旦大學
2021-01-12
一種
薄膜
制備裝置(未授權)
西南大學
2021-04-13
氮化鋁
薄膜
和高頻濾波器
高效率制備高品質氮化鋁薄膜,并研究應用于 4G、5G 通信(智能手機和基站)的高頻濾波器。制備薄膜質量高于現有工藝,制備效率提高十倍以上。作為制備濾波器的關鍵薄膜性能指標,薄膜的取向性良好(XRD搖擺曲線半高寬2度左右), 薄膜表面起伏小于 1 納米;薄膜制備效率比傳統工藝提高 10 倍以上
中國科學技術大學
2021-04-14
新型
薄膜
太陽能電池技術
CZTS薄膜太陽電池:雖然CIGS 是目前薄膜太陽能電池中光電轉換效率最高的太陽能電池,但是由于In和Ga元素是稀有金屬,在面向大規模生產時受到元素稀缺的制約。有機-無機雜化鈣鈦礦太陽電池:將無機材料電子遷移率高、機械性能良好、穩定性高和有機材料光吸收率較高、易加工的優點加以整合,發揮協同效應,提高光伏電池的整體性能,是未來太陽能電池最重要的研究方向。
常州大學
2021-04-14
氮化鎵陶瓷
薄膜
電路的激光直寫
LPKF ProtoLaser R4可針對敏感基材實現高精度加工
樂普科(天津)光電有限公司
2022-06-22
多
通道輸液接頭
本實用新型公開了一種多通道輸液接頭,涉及醫療用品領域,提供一種體積小,重量輕,便于固定在患者身體上的多通道輸液接頭。多通道輸液接頭包括輸液套主體、液體管、出口接頭和至少兩個入口接頭;輸液套主體由柔性材料制成且形狀為長條形,輸液套主體的兩面分別為內表面和外表面,輸液套主體長度方向一端在內表面上連接有粘貼結構,輸液套主體長度方向另一端在外表面上連接有粘貼結構;液體管由柔性材料制成,液體管沿輸液套主體長度方向設置并與外表面連接;出口接頭和入口接頭反向設置并與液體管連接。本實用新型體積小,重量輕;輸液套主體和輸液管能夠彎曲,輸液套主體彎曲成環形再通過粘貼結構粘連即可將套在患者手臂上。
四川大學
2016-10-11
風冷
多
聯機組
產品詳細介紹數碼變容量風冷多聯機組 型號:MDS030AR~MDS080AR 制冷量:8.5~22.5kW 制熱量:9~25kW 制冷劑:HCFC-22 產品特點: ■MDS 數碼變容量系統采用先進的制冷系統設計,經過嚴格的系統匹配和測試,制冷制熱強勁,無論在高 達48℃ 的高溫天氣制冷,還是在-15℃ 的嚴寒氣候制熱,MDS 數碼變容量系統均能保持正常的運行。 ■MDS 數碼變容量系統擁有優秀的季節能效比,機組僅需耗少量電便能制出更多的冷熱量,相比一般系統 每年可節省約40% 的電費。 ■MDS 數碼變容量室內機從0.8HP 到6HP 有多種容量可供選擇,滿足大大小小的空調房間的舒適要求; 同時室內機組的形式選擇多樣,可與現代家居裝飾完美結合。 ■MDS 數碼變容量系統在進行容量調節時只是精密部件的簡單位移,不會產生高頻諧波,更不會對高保真 音響、電腦等家電設備產生干擾,還可廣泛應用于對電源抗干擾要求很高的計算機房、電視廣播接收站 以及通訊機房等場所。 ■MDS 數碼變容量系統室外機組采用整體式設計,機組結構緊湊,占用空間小,搬運輕松。MDS 數碼變 容量系統由于控制裝置簡單,最大程度的降低了系統故障率,即便發生故障,必須檢查與維修的零部件 數量也很少,故維修方便。 ■產品通過3C 中國強制認證。
廣州市瀛豐機電工程有限公司
2021-08-23
多
屏互動軟件
產品詳細介紹 遠程操控 液晶一體機、電腦、平板、手機多屏互動,讓遠程遙控演示更輕松。 支持移動終端 大小屏互動,支持在移動終端操控PC。 Android IOS同樣支持 還全面支持Android IOS平臺的移動終端。 小屏傳大屏 運用高科技,小屏傳大屏,支持移動終端傳輸到大屏顯示。 免校正 免驅動 支持免校正功能,用戶可以直接使用。 演示好幫手 直接使用相關移動產品控制PPT演示及標注。
深圳市巨龍科教高技術股份有限公司
2021-08-23
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