一種同質結型感存算集成器件及其制備方法
本發明公開一種同質結型感存算集成器件及其制備方法。該同質結型感存算集成器件包括:柔性襯底;底電極,其為有機導電聚合物,形成在所述柔性襯底上;第一功能層,其為經退火后的三元素n型氧化物半導體薄膜,具有光電響應的結晶相,形成在所述底電極上;第二功能層,其為未經退火的三元素n型氧化物半導體薄膜,與所述第一功能層的材料相同,共同構成同質結;多個彼此間隔分布的凹槽,貫穿所述第二功能層和所述第一功能層至底電極,其內填充有隔離層;頂電極,形成在所述第二功能層上,其中,第一功能層在光照下產生光生載流子,對光學信息進行感知,并以電流的形式反饋至器件,同時借助第二功能層的憶阻特性,以實現整體器件狀態的記憶存儲,通過對器件不斷地施加光電信號,實現器件電導的連續調制,從而實現神經形態計算中權重更迭。
復旦大學
2021-01-12