面向物聯網的硅基固支梁可重構SIW帶通濾波器
本發明公開了一種面向物聯網的硅基固支梁可重構SIW帶通濾波器,包括SIW帶通濾波器、轉接結構(3)和MEMS固支梁結構。SIW帶通濾波器包括相互級聯的SIW諧振腔(9),相鄰的SIW諧振腔之間存在耦合窗口(14),MEMS固支梁結構設置于耦合窗口中。在一些特定的需要控制無源濾波器通帶中心頻率頻繁切換的電路中,本發明通過MEMS固支梁結構很好的避免了需要依靠增加濾波器數量去控制電路的問題,并且MEMS固支梁結構的閉合所需要的電壓較小也基本不會影響電路的正常工作,能夠有效地降低電路控制的功耗。MEMS固支梁(6)可以實現快速的DOWN態和UP態的轉換,可以有效地實現微波電路中對濾波器濾波范圍的控制。
東南大學
2021-04-11