一種具有高傳輸效率可快速連續(xù)調節(jié)能量的降能器
本發(fā)明公開了一種具有高傳輸效率可快速連續(xù)調節(jié)能量的降能 器,包括碳化硼能量粗調單元、石墨能量精調單元、束流準直器組、 運動控制模塊、真空模塊;碳化硼能量粗調單元實現能量的初級步進 調節(jié),提高了束流傳輸效率;石墨能量精調單元可實現束流能量的連 續(xù)精準調節(jié);準直器組可對束流發(fā)射度進行有效抑制,通過改變孔徑 實現了發(fā)射度的選擇;運動控制模塊可分別對碳化硼和石墨能量調節(jié) 單元進行快速運動控制,保證了能量的快速調節(jié);真空模塊創(chuàng)造并維 持了真空環(huán)境。本發(fā)明的降能器可以實現束流能量的高傳輸效率、快 速、連續(xù)調節(jié),
華中科技大學
2021-04-14