一種光學元件支撐參數(shù)的蒙特卡洛分析方法及系統(tǒng)
本發(fā)明公開了一種光學元件支撐參數(shù)的確定方法,該方法具體為:確定保證面形精度的最少支撐點數(shù)為最優(yōu)支撐點數(shù),并計算支撐點的理想支撐力;依據(jù)理想支撐力定義多個不同支撐力波動水平,計算不同支撐力水平下隨機支撐力引起的鏡片面形變化;統(tǒng)計并檢驗鏡片面形畸變的隨機分布規(guī)律,建立不同支撐力水平與光學元件成像質量的映射關系;根據(jù)質量控制標準,確定支撐力的波動范圍。本發(fā)明基于蒙特卡洛方法,解析不均勻支撐力作用下鏡片面形畸變的隨機分布規(guī)律,分析不同隨機支撐力水平對光學元件成像質量的影響,從而確定合理的支撐力波動范圍,為光
華中科技大學
2021-04-14