一種用于原子力顯微鏡的氣氛控制系統(tǒng)
一種用于原子力顯微鏡的氣氛控制系統(tǒng),其特征在于:氣體瓶一(1a)和氣體瓶二(1b)分別通過流量計(jì)一(3a)、流量計(jì)二(3b)與混合氣管(4)的進(jìn)氣口相連,混合氣管(4)的出氣口通過進(jìn)氣腔(6)與原子力顯微鏡上的氣氛腔(7)的進(jìn)氣口相連。該系統(tǒng)能為原子力顯微鏡提供不同氣體、各種比例組成的可控混合氣氛,從而使原子力顯微鏡能進(jìn)行各種比例的不同氣體組成的混合氣氛下微機(jī)電系統(tǒng)的磨損失效、防護(hù)機(jī)理的模擬試驗(yàn)與研究,從而為相應(yīng)混合氣氛工作中的微機(jī)電系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、制造與維護(hù)提供更準(zhǔn)確、可靠的試驗(yàn)依據(jù),以降低微機(jī)電系統(tǒng)的磨損,提高微機(jī)電系統(tǒng)的使用壽命。
西南交通大學(xué)
2016-10-25