鉬酸鹽功能薄膜及其制備方法
一種鉬酸鹽功能薄膜,以導(dǎo)電或不導(dǎo)電的、晶態(tài)或非晶態(tài)的材料為襯底,晶粒度范圍10~500NM,厚度100~3000NM。制備鉬酸鹽功能薄膜的工藝步驟為:(1)配制含MO離子絡(luò)合物的溶液,以鉬酸銨或/和鉬酸為溶質(zhì),以丙二醇或丙三醇或丙二醇、丙三醇與丙二醇甲醚、冰乙酸的混合液為溶劑;(2)配制含金屬離子絡(luò)合物的溶液,以堿金屬及堿土金屬的碳酸鹽或/和過渡金屬及稀有金屬的硝酸鹽為溶質(zhì),以丙二醇或丙三醇或丙二醇、丙三醇與丙二醇甲醚、冰乙酸的混合液為溶劑;(3)制備鉬酸鹽前驅(qū)物溶液,將上述含MO離子絡(luò)合物溶液和含金屬離子絡(luò)合物溶液充分攪拌混合,然后至少靜置40分鐘;(4)采用旋涂技術(shù)成膜和干燥。
四川大學(xué)
2021-04-11