一種透射式全穆勒矩陣光譜橢偏儀及其測量方法
本發(fā)明公開了一種透射式全穆勒矩陣光譜橢偏儀及其測量方法,方法是將起偏臂產(chǎn)生的調(diào)制光線投射到待測樣件表面,檢偏臂將待測樣件反射(或透射)的光線解調(diào)并接收,通過對測量光譜進行諧波分析,計算獲得待測樣件的全穆勒矩陣信息,并通過非線性回歸,庫匹配等算法擬合提取待測樣件的光學(xué)常數(shù),特征形貌尺寸等信息。橢偏儀包括起偏臂(包括光源,透鏡組,起偏器和伺服電機驅(qū)動的補償器),待測樣件和檢偏臂(包括伺服電機驅(qū)動的補償器,檢偏器,透鏡組和光譜儀)。本發(fā)明可實現(xiàn)各種信息光電子功能材料和器件,以及納米制造中各種納米結(jié)構(gòu)的在線
華中科技大學(xué)
2021-04-14