一種 SnS2/SnS 異質(zhì)結(jié)薄膜太陽能電池的一次性制備方法
本發(fā)明公開了一種 SnS2/SnS 異質(zhì)結(jié)薄膜太陽能電池的一次性制 備方法,該方法包括以下步驟:基片預處理,混合原料備用,真空獲 得與基片加熱,氬氣等離子體清洗腔體和基片,等離子體增強化學氣 相沉積法沉積異質(zhì)結(jié),真空退火冷卻,制備 SnS2/SnS 異質(zhì)結(jié)薄膜太陽 能電池,本方法中通過設置混合原料的比例,并設定反應源加熱溫度 數(shù)值 T 與反應沉積時間數(shù)值 t 的關系,就能在一次實驗過程中先后沉 積出質(zhì)量比較優(yōu)異 SnS2 和 SnS 薄膜,從而直接一次性制備出太陽能電 池的核心部件 p-n 結(jié),大大
華中科技大學
2021-04-14