微型濕度傳感器
項(xiàng)目成果/簡介:自主設(shè)計(jì)研發(fā),采用獨(dú)創(chuàng)的器件結(jié)構(gòu)和特有的感濕介質(zhì)及其制備技術(shù)。與同類產(chǎn)品相比的優(yōu)勢:濕滯小;芯片面積小(~3mmx3mm);響應(yīng)速度快(對30%-70%RH濕度階躍變化的響應(yīng)時(shí)間為~1.0s);100℃以上高溫耐受性好;長期穩(wěn)定性好(常溫環(huán)境中放置1年特性無明顯變化)。采用常規(guī)微電子工藝制作,易于大批量生產(chǎn)。掌握全套制備工藝和關(guān)鍵工藝技術(shù),達(dá)到量產(chǎn)水平。已獲發(fā)明專利,具有完全知識產(chǎn)權(quán)。應(yīng)用范圍:便于與其它部件集成,適合于便攜式、移動式濕度檢測或惡劣環(huán)境的濕度檢測,可用于農(nóng)業(yè)、氣象、高溫/有毒環(huán)境、狹小/密閉環(huán)境的濕度檢測。可利用互聯(lián)網(wǎng)、物聯(lián)網(wǎng)等應(yīng)用技術(shù)平臺組成檢測網(wǎng)絡(luò),應(yīng)用潛力巨大。項(xiàng)目階段:已用于新能源汽車電池模組的濕度檢測(因電池壽命受濕度的影響大)。知識產(chǎn)權(quán)類型:發(fā)明專利知識產(chǎn)權(quán)編號:ZL201010535361.8、ZL201010272929.1技術(shù)成熟度:可以量產(chǎn)技術(shù)先進(jìn)程度:達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先水平成果獲得方式:獨(dú)立研究獲得政府支持情況:無
蘭州大學(xué)
2021-04-10