衍射光學(xué)光束整形技術(shù)
1.痛點(diǎn)問(wèn)題
激光廣泛應(yīng)用在制造、傳感、醫(yī)療、科研、軍事等諸多領(lǐng)域。對(duì)不同應(yīng)用,除功率、波長(zhǎng)、模式等有不同要求外,對(duì)激光光斑形狀也逐漸提出整形要求,以適應(yīng)性能不斷提高的制造、傳感等需求。例如在激光焊接、激光退火、激光剝離等需要圓形、矩形(方形)、線(xiàn)形且平頂分布的光斑;在激光打孔、激光切割等需要軸向多焦點(diǎn)、長(zhǎng)焦深分布的光斑;在激光熱負(fù)荷模擬或激光熱處理中,需要特定形狀和光強(qiáng)分布的光斑以匹配復(fù)雜零件并模擬實(shí)際工況等。
衍射光學(xué)是實(shí)現(xiàn)光束整形的重要技術(shù)手段,但在國(guó)內(nèi)尚未廣泛應(yīng)用,例如在激光制造領(lǐng)域,大多系統(tǒng)直接利用激光聚焦光斑,少部分利用微透鏡陣列、微柱鏡陣列等折反射器件進(jìn)行光束整形,但這種方案所能實(shí)現(xiàn)的光束整形通常是產(chǎn)生圓形、方形或矩形光斑,不能實(shí)現(xiàn)任意形狀的光斑。此外,整形光斑邊緣較為平緩不夠陡峭,平頂性能不夠好,存在較大的光強(qiáng)起伏;受限于設(shè)計(jì)與制造,按照傳統(tǒng)方法設(shè)計(jì),衍射光學(xué)整形光斑尺寸受限,通常包含大量散斑,且存在明顯的中心零級(jí)等,或者減小線(xiàn)寬至數(shù)個(gè)波長(zhǎng)以產(chǎn)生大角度光束整形光斑,但數(shù)個(gè)波長(zhǎng)的線(xiàn)寬無(wú)法利用國(guó)產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行制造。
2.解決方案
本成果的衍射光學(xué)器件(DOE),是基于光的標(biāo)量衍射理論,利用計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)、并用大規(guī)模集成電路制作工藝,在基片上(或傳統(tǒng)光學(xué)器件表面)刻蝕產(chǎn)生兩個(gè)或多個(gè)臺(tái)階深度的浮雕結(jié)構(gòu),形成純位相、同軸再現(xiàn)、具有高衍射效率的一類(lèi)光學(xué)器件。利用衍射光學(xué)器件已實(shí)現(xiàn)了諸多功能,包括光束整形、點(diǎn)陣產(chǎn)生(包括大角度、超分辨等)、長(zhǎng)焦深(包括中空、軸上多焦點(diǎn))等,為激光制造、三維測(cè)量、超分辨顯微成像、流式細(xì)胞儀等系統(tǒng)提供新穎解決方案。創(chuàng)新性地采用球面波入射(或折衍混合)、特定振幅相位約束等方法,擴(kuò)大了有效衍射場(chǎng),對(duì)入射波前畸變、加工誤差不敏感;抑制了散斑,提高了光束整形性能,提升了數(shù)字全息顯示的分辨率;實(shí)現(xiàn)了大角度任意點(diǎn)陣、白光點(diǎn)陣等;實(shí)現(xiàn)了不同排列形狀的超分辨點(diǎn)陣;實(shí)現(xiàn)了多種長(zhǎng)焦深、中空長(zhǎng)焦深、軸上多焦點(diǎn)等軸向光場(chǎng)分布。
3.合作需求
以專(zhuān)利許可、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)入股等方式進(jìn)行合作,特別是具有國(guó)內(nèi)高端激光制造設(shè)備公司相關(guān)資源的優(yōu)先考慮,確定應(yīng)用場(chǎng)景,研制衍射光學(xué)光束整形器件、模組和系統(tǒng)。
清華大學(xué)
2023-01-06