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一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統(tǒng)

本發(fā)明公開了一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統(tǒng)，通過其獲得具有穩(wěn)定溫度的浸液，以用于浸沒式光刻工藝中，其特征在于，該溫控系統(tǒng)包括：用于浸液流動(dòng)的浸液管路，待溫控的浸液通過管路進(jìn)口進(jìn)入該浸液管路，溫控后的浸液通過該浸液管路出口輸出；用于對所述浸液進(jìn)行冷卻的工藝?yán)鋮s液回路，工藝?yán)鋮s液在該回路中循環(huán)流動(dòng)；以及熱交換器（6），所述浸液管路和工藝?yán)鋮s液回路同時(shí)流經(jīng)該熱交換（6），利用該熱交換器（6）完成工藝?yán)鋮s液和浸液的熱交換，獲得具有穩(wěn)定溫度的浸液，實(shí)現(xiàn)對浸液的溫度控制。本發(fā)明的裝置采用內(nèi)部回流結(jié)構(gòu)與熱交換器

華中科技大學(xué) 2021-04-14

一種光刻機(jī)自動(dòng)調(diào)焦方法及裝置

本發(fā)明公開了一種光刻機(jī)自動(dòng)調(diào)焦方法及裝置，其方法是將平行光束經(jīng)第一狹縫投射至硅片表面，再經(jīng)振動(dòng)反射鏡掃描后通過第二狹縫，由光電探測器接收光強(qiáng)信號(hào)，然后通過提取光強(qiáng)信號(hào)中二倍于掃描頻率的頻域成分得到硅片的粗調(diào)量，通過提取光強(qiáng)信號(hào)中一倍于掃描頻率的頻域成分得到硅片的精調(diào)量，最后由驅(qū)動(dòng)裝置調(diào)整硅片至焦點(diǎn)位置。調(diào)焦裝置主要由兩個(gè)狹縫、一個(gè)振動(dòng)反射鏡、光電傳感器、驅(qū)動(dòng)臺(tái)和若干光學(xué)鏡片組成，信號(hào)處理過程由計(jì)算機(jī)編程完成。該方法與裝置相較于以往對比光斑強(qiáng)度進(jìn)行調(diào)焦的方式，具有結(jié)構(gòu)簡單、響應(yīng)迅速、精度高(優(yōu)于 0.

華中科技大學(xué) 2021-04-14

耐高溫聚芳醚樹脂及功能膜制備技

二、成果介紹1、 成果簡介：（500字以內(nèi)） 本項(xiàng)目針對國內(nèi)外對特種高分子樹脂及膜材料的重大需求，在傳統(tǒng)聚芳醚酮和聚醚砜樹脂的基礎(chǔ)上，制備高附加值和高性能的功能型改性聚芳醚樹脂及功能膜材料。具體的研究內(nèi)容和完成情況包括：（1）功能型聚芳醚樹脂合成、化學(xué)改性及放大；（2）適合耐高溫樹脂的膜制備工藝；（3）針對功能膜材料在分離膜、質(zhì)子交換膜、功能涂層和生物醫(yī)用材料方面的應(yīng)用性開發(fā)。研制

吉林大學(xué) 2021-04-14

一種光刻機(jī)投影物鏡波像差的測量方法

本發(fā)明公開了一種用于投影式光刻機(jī)成像系統(tǒng)的波像差檢測方法，包括光刻機(jī)成像系統(tǒng)的快速正向模型建立，澤尼克系數(shù)靈敏度矩陣的解析求解，檢測用掩模圖形優(yōu)化求解，基于單次光強(qiáng)測量的波像差求解。本發(fā)明方法通過解析求解無像差時(shí)的空間像光強(qiáng)值和澤尼克系數(shù)靈敏度矩陣，實(shí)現(xiàn)了基于單次離焦空間像光強(qiáng)測量的波像差檢測。

華中科技大學(xué) 2021-04-14

精確控制浸沒式光刻機(jī)浸液溫度的裝置及其溫控方法

本發(fā)明公開了一種精確控制浸沒式光刻機(jī)浸液溫度的裝置，包括增壓泵；初級(jí)熱交換器，其浸液入口與增壓泵出口連通，浸液在其中進(jìn)行熱交換，實(shí)現(xiàn)浸液溫度的初級(jí)調(diào)控；次級(jí)熱交換器，其浸液入口與初級(jí)熱交換器浸液出口連通，浸液在其中進(jìn)行再次熱交換，實(shí)現(xiàn)浸液溫度的次級(jí)調(diào)控；流量伺服閥，其入口與初級(jí)熱交換器浸液出口連通，與次級(jí)熱交換器形成并聯(lián)，用于調(diào)節(jié)進(jìn)入次級(jí)熱交換器的浸液流量。通過協(xié)調(diào)控制進(jìn)入初級(jí)熱交換器和次級(jí)熱交換器的冷媒流量，并結(jié)合流量伺服閥對進(jìn)入次級(jí)熱交換器的浸液流量的調(diào)節(jié)，可實(shí)現(xiàn)對浸液溫度的兩級(jí)調(diào)控，從而獲得溫

華中科技大學(xué) 2021-04-14

高分辨率電子電路光刻膠制備關(guān)鍵技術(shù)

高分辨率電子電路光刻膠是制造高密度、高精度電子電路的核心材料之一， 該類光刻膠在達(dá)到分辨率要求的同時(shí)，還需具備高感度、高硬度、優(yōu)異的耐焊性 和耐酸堿性等物理化學(xué)性能，以滿足電子電路復(fù)雜的制造工藝要求。長期以來， 由于我國高性能基礎(chǔ)光固化材料開發(fā)的滯后，導(dǎo)致國產(chǎn)電子電路光刻膠技術(shù)水平低下，相關(guān)產(chǎn)品占國內(nèi)市場份額不足 30%，其中高分辨率電子電路光刻膠更是被國際公司所壟斷。針對上述現(xiàn)狀，團(tuán)隊(duì)通過高性能光固化材料的開發(fā)突破了高分辨率電子電路光刻膠制備關(guān)鍵技術(shù)和產(chǎn)品創(chuàng)新技術(shù)，并制備了以高分辨率阻焊油墨和光致抗蝕劑為主的一系列具備優(yōu)異物理化學(xué)性能的高分辨率電子電路光刻膠產(chǎn)品。

江南大學(xué) 2021-04-13

十年科技創(chuàng)新口號(hào)微調(diào)背后的國家意志

“科技創(chuàng)新是提高社會(huì)生產(chǎn)力和綜合國力的戰(zhàn)略支撐，必須擺在國家發(fā)展全局的核心位置”，強(qiáng)調(diào)要堅(jiān)持走中國特色自主創(chuàng)新道路、實(shí)施創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展戰(zhàn)略。

中國青年報(bào) 2022-04-14

農(nóng)業(yè)廢棄物資源(作物秸稈、加工廢料)綜合利用技

一、成果簡介 利用畜禽糞便和農(nóng)作物秸稈栽培雙孢蘑菇等草腐型食用菌，利用木屑、枝杈和玉米芯栽培香菇等木腐型食用菌的循環(huán)經(jīng)濟(jì)發(fā)展項(xiàng)目具有經(jīng)濟(jì)效益高和不產(chǎn)生污染物等優(yōu)勢，采收食用菌后的菌渣還可以作為有機(jī)肥料促進(jìn)有機(jī)農(nóng)業(yè)的發(fā)展。農(nóng)戶栽培食用菌的投入產(chǎn)出比平均為1：2，即投入1000元錢的純利潤也達(dá)1000元。

中國農(nóng)業(yè)大學(xué) 2021-04-14

基于轉(zhuǎn)印激光刻蝕石墨烯的耐用可降解柔性應(yīng)變傳感器

成果介紹一種高性能石墨烯柔性電子皮膚，該電子皮膚結(jié)合了一種具備脫水性的商業(yè)化妝品膠體以及可編程的激光刻寫石墨烯，在無毒、環(huán)保、可大量印刷的制備加工工藝下，具有輕薄、貼合皮膚、可降解、高耐用性的特性，實(shí)現(xiàn)了高于500的應(yīng)變系數(shù)、大于75[[[%]]]的拉伸范圍以及穩(wěn)定的電阻變化能力。該柔性表皮壓阻式傳感器可應(yīng)用在生命體征監(jiān)測、人機(jī)交互等領(lǐng)域中，目前已經(jīng)將其初步應(yīng)用在手勢識(shí)別之中，并做出了一系列人機(jī)交互應(yīng)用。技術(shù)創(chuàng)新點(diǎn)及參數(shù)采用綠色環(huán)保的新工藝，解決了傳統(tǒng)激光刻寫石墨烯脆弱的問題，實(shí)現(xiàn)了可編程激光刻寫石墨烯的耐摩擦性、耐用性改善，且傳感器可降解回收利用。

東南大學(xué) 2021-04-13

系列果酒（黑加侖、水蜜桃、楊梅、洋蔥葡萄酒等）釀造技 術(shù)

黑加侖富含花青素、多酚等營養(yǎng)物質(zhì)，但酸度較高口感不佳，通過酵母篩選及工藝優(yōu)化，獲得了口感較佳的黑加侖果酒釀造技術(shù)。水蜜桃保藏時(shí)間極短，容易腐爛變質(zhì)，品相較差的果難以銷售，通過釀酒酵母及釀造工藝優(yōu)化，獲得了桃香味濃郁口感佳的水蜜桃果酒。楊梅富含花青素等營養(yǎng)物質(zhì)，但酸度較高，不適合釀酒，通過降酸酵母篩選及工藝優(yōu)化，獲得了顏色亮麗口感佳的楊梅果酒。洋蔥葡萄酒具有眾多保健功能且效果顯著，但洋蔥浸泡葡萄酒，口感較差，有洋蔥腐爛味和刺激味，通過對洋蔥發(fā)酵處理，得到洋蔥發(fā)酵液，與葡萄酒勾兌具有較好的協(xié)調(diào)性，口感好，無洋蔥味，其洋蔥槲皮素含量高于浸泡，保健功效更為顯著。 

江南大學(xué) 2021-04-11