一種用于光學(xué)散射測量的基于擬合誤差插值的庫匹配方法
本發(fā)明公開了一種用于光學(xué)散射測量的基于擬合誤差插值的庫匹配方法,包括:確定樣品待測結(jié)構(gòu)參數(shù)的變化范圍并對其執(zhí)行離散化處理,將所獲得的離散網(wǎng)格點及其對應(yīng)理論光譜值儲存到光譜庫中;獲得待測樣品的測量光譜并計算出離散網(wǎng)格點對應(yīng)的測量光譜值與理論光譜值之間的擬合誤差,然后將其同樣儲存到光譜庫中;為擬合誤差設(shè)定閾值并執(zhí)行粗搜索,利用搜索出的擬合誤差所對應(yīng)的離散網(wǎng)格點來構(gòu)建候選參數(shù)集,并對擬合誤差執(zhí)行多維插值處理獲得相應(yīng)的擬合誤差插值函數(shù);基于擬合誤差插值函數(shù)細(xì)搜索找出全局最優(yōu)點,其所對應(yīng)的參數(shù)值即為最終確定的
華中科技大學(xué)
2021-04-14