一種寬量程高精度集成雙膜電容式壓力傳感器及制作方法
本發(fā)明涉及壓力傳感器技術(shù)領(lǐng)域,特指一種寬量程高精度集成雙膜電容式壓力傳感器及制作方法,包括玻璃襯底,玻璃襯底上設(shè)有淺槽一與淺槽二,淺槽一與淺槽二通過細槽連通,淺槽二中心位置設(shè)有淺槽通孔,淺槽通孔從淺槽二底面延至玻璃襯底底面,淺槽一上設(shè)有可測量低壓差的電容C1,淺槽二上設(shè)有可測量高壓差的電容C2,可測量低壓差的電容C1包括底電極板與薄壓力敏感膜,可測量高壓差的電容C2包括厚壓力敏感膜與頂電極板,淺槽通孔通過細槽與可測量低壓差的電容C1對應(yīng)設(shè)置,淺槽通孔通過淺槽二與可測量高壓差的電容C2對應(yīng)設(shè)置。本發(fā)明通過可測量低壓差的電容C1與可測量高壓差的電容C2分別實現(xiàn)了壓力在低壓段與高壓段的高精度測量。
東南大學
2021-04-11