|
搜索
搜 索
高等教育領域數(shù)字化綜合服務平臺
半導體設備超潔凈流控系統(tǒng)及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎研究、技術攻關和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產(chǎn)高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關乎整機產(chǎn)品的產(chǎn)線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統(tǒng)國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎研究、技術攻關和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎理論與方法依據(jù)，同時自主研發(fā)的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
西安交大全球健康研究院與合作者最新研究顯示：我國成人糖尿病患病率仍在上升 亟需加大防控力度
如果未來可防可控的危險因素不能得到有效控制，超重肥胖率上升不能放緩，糖尿病疾病負擔仍將加重，將影響“健康中國2030行動目標”的實現(xiàn)。
西安交通大學
2021-12-30
大學（北京）.jpg){kind=logo}
泡沫炭表面原位合成Si3N4涂層材料
本發(fā)明涉及一種在泡沫炭材料表面原位合成Si3N4涂層的方法，屬于新材料技術領域。其主要特點在于利用泡沫炭多孔結構及Si3N4納米纖維復合體對自來水中顆粒及污染物的過濾和吸附功能實現(xiàn)軟凈水一體化功能。
中國地質(zhì)大學（北京）
2021-02-01
新型 N-P-S 膨脹型磷系阻燃劑
膨脹型阻燃劑(IFR)一般是以 P、N、C 為主要核心成分的復合 阻燃劑(或單體阻燃劑)，可用于多種易燃聚合物的阻燃。膨脹型阻 燃劑作為一類高效低毒的環(huán)保型阻燃劑，被公認為是實現(xiàn)阻燃劑無 鹵化的有效途徑之一，因此在高分子材料阻燃領域中極具應用潛力。我們將 N、P、S 三種有效阻燃元素組裝于單一分子內(nèi)，設計出 一類新型分子內(nèi)協(xié)效膨脹型阻燃劑。該類阻燃劑在 PC+ABS 工程塑 料中少量添加即可以實現(xiàn)高效阻燃，具有環(huán)保低毒，阻燃效果好等 優(yōu)點。 項目特色： 利用有機合成的方法合成一系列適應市場需求的新型膨脹型 N- P-S 磷系阻燃劑，目前已經(jīng)研發(fā)成功的品種包括“六（4-甲氧基苯磺酸 鈉）環(huán)三磷腈”，“ 六（4-氨基苯磺酸鈉）環(huán)三磷腈”，“ 六（2-氨基乙 磺酸鈉）環(huán)三磷腈”等，生產(chǎn)工藝科學，環(huán)保高效，生產(chǎn)過程簡單，生 產(chǎn)成本低。
南開大學
2021-04-13
B/N 摻雜型 Al-Ti-C 系晶種合金
鋁合金結晶組織的微細化會顯著提高鋁材的強韌性、組織均勻性、致密性、 耐蝕性、加工工藝性和表面質(zhì)量等，并減少偏析和裂紋等諸多鑄造缺陷。目前， 國內(nèi)外通常采用 Al-Ti-B 或 Al-Ti-C 中間合金來細化晶粒，但 Al-Ti-B 中間合金 126 的形核襯底質(zhì)點 TiB2 本身的直徑大小在 0.5-3.0μm，而且往往以較大的聚集團 形式存在，如此大的顆粒團在加入到鋁合金中后會帶來一系列的副作用。而普 通 Al-Ti-C 中間合金細化效果不穩(wěn)定，易衰退，難以滿足鋁制品產(chǎn)品質(zhì)量的要 求。 Al-Ti-C 中間合金之所以細化效果不穩(wěn)定和容易衰退，是由于其中的 TiCx 晶體存在較多碳空位，從而使之失穩(wěn)，且隨 TiCx中碳空位數(shù)量的增加，Al 原子 在 TiCx 表面的偏聚及有序化受到抑制，由原來的完全共格逐漸轉變?yōu)椴煌耆?格。因此，減少 TiCx中的碳空位是提高其結構穩(wěn)定性和生核效率的關鍵。 研究表明，無空位的 TiC 是鋁的有效生核襯底，在接近凝固點的鋁熔體中， Al 原子能夠依附于其周圍形成一個完全共格的有序區(qū)，最終促進 α-Al 生核和鋁 晶粒細化。經(jīng)過長期的研究和探索發(fā)現(xiàn)，TiCx 中的碳空位可以被原子半徑較小 的 B、N 等原子填充，最終形成摻雜型的 TiCxB1-x和 TiCxN1-x等粒子，從而降低 空位濃度并提高異質(zhì)生核能力。 B 摻雜型 Al-Ti-C 晶種合金中含有大量直徑在 1μm 以下（亞微米）的 TiCxB1-x 晶核襯底粒子，且彌散分布，當將該中間合金以微量（0.15%左右）加 入到待細化的鋁及其合金熔體中后，立即釋放出大量的亞微米級的摻雜型 TiC 晶核，從而使待細化鋁合金的晶粒組織得到顯著細化甚至超細化（指晶粒直徑 在微米級）。因此，采用摻雜型 Al-Ti-C 晶種合金對鋁熔體進行晶粒細化處理 將是鋁加工行業(yè)又一次重要的技術進步。
山東大學
2021-04-13
A10VSO45DR/52R-PC12N00
產(chǎn)品詳細介紹聯(lián)系人：何琴 電話：027-50732532/ 13971401600 在線聯(lián)系方式： QQ:1375774402 MSN:[email protected]
力士樂柱塞泵
A10VSO18DFR1/31R-PPB12NOO
A10VSO18DR/31R-PPA12N00
A10VSO28DR/31R-PPA12N00
A10VO28DR/31R-PSC12N00
A10VSO28DRF1/31R-PSA12N00
E-A10VSO28DFR1/31R-PPA12N00
A10VSO28DFR/31R-PSA12N00
A10VSO28DR/32R-PPA121V00
A10VO28DFR1/31L-PSC62N00
A10VO28DFR1/31R-PSC62N00
A10VSO45DR/31R-PPA12N00
A10VSO45DFR1/31R-PPA12N00
E-A10VSO45DFR1/31R-PPA12N00
A10VSO45DR/31R-PPA12N00
A10VSO45DR/52R-PC12N00
A10VO45DFR1/31R-PSC62K02
A10VSO45DFR1/32R-PPB12N00
A10VSO71DFR1/31R-PPA12N00
A10VSO71DFR1/31R-PPA12KB5
A10VSO71DFR/31R-PSC62K07
E-A1OVSO71DFR1/31R-PPA12N00
A10VSO71DFR1/32R-VPB22U99
A10VSO100DR/31R-PPA12N00
A10VSO100DR/31R-VPA12N00
A10VSO100DFR1/31R-PPA12N00
A10VSO100DFR1/32R-VPB12N00
A10VSO140DR/31R-PPB12N00
E-A10VSO140DFR1/31R-PPA12N00
A10VSO140DFR1S/31R-PPB12N00
A10VSO140DFR1/31R-PPB12N00
A10VS0140DFLR/31R-PPB12N00
A10VSO140DR/31R-PPB12NOO
A10VSO140DRS/32R-VPB12N00
A10VSO140DRS/32R-VPB22U99
A10VSO140DFR1/31R-PPB12N00
A10VSO140DR/32R-PPA12N00
A4VSO40LR2G/10R-PPB13N00
A4VSO71DFR/10X-PPB13N00
A4VSO71DR/10X-PPB13N00
A4VSO71DRG/10X-PPB13N00
A4VSO71LR2/10R-PPB13N00
A4VSO71LR2D/10R-PPB13N00
A4VSO125DFR/22R-PPB13N00
A4VSO125DR/22R-PPB13N00
A4VSO125DR/22R-VPB13N00
A4VSO125LR2/22R-PPB13N00
A4VSO125LR2G/22R-PPB13N00
A4VSO125LR2N/22R-PPB13N00
A4VSO180LR2N/22R-PPB13N00
A4VSO250DFR/30R-PPB13N00
A4VSO250DR/30R-PPB13N00
A4VSO250DRG/30R-PPB13N00
A4VSO250LR2/30R-PPB13N00
A4VSO250LR2G/30R-PPB13N00
A4VSO250LR2N/30R-PPB13N00
A4VSO180DFR/22R-PPB13N00
A4VSO180DR/22R-PPB13N00
A4VSO180DRG/22R-PPB13N00
A2FO10/61R-PAB06 9424894 A2FO10/61R-PBB06 9610682 A2FO12/61R-PAB06 9420472
A2FO12/61R-PBB06 9610683 A2FO16/61R-PAB06 9411113 A2FO16/61R-PBB06 9411121
A2FO23/61R-PAB05 9427223 A2FO23/61R-PBB05 9610684 A2FO28/61R-PAB05 9425164
A2FO28/61R-PBB05 9610685 A2FO32/61R-PAB05 9410193 A2FO32/61R-PBB05 9410198
A2FO45/61R-PZB05 9411585 A2FO56/61R-PAB05 9425190 A2FO56/61R-PBB05 9610686
A2FO63/61R-PAB05 9408527 A2FO63/61R-PBB05 9408552 A2FO80/61R-PAB05 9424687
A2FO80/61R-PBB05 9610687 A2FO90/61R-PAB05 9408467 A2FO90/61R-PBB05 9408472
A2FO107/61R-PAB05 9423259 A2FO107/61R-PBB05 9438282 A2FO125/61R-PAB05 9409641
A2FO125/61R-PBB05 9409642 A2FO160/61R-PAB05 9422192 A2FO160/61R-PBB05 9610688
A2FO180/61R-PAB05 9409371 A2FO180/61R-PBB05 9409358 A2FO200/63R-PAB05 2011993
A2FM定容量 液壓馬達
A2FM32/61W-VAB010 9410189 A2FM32/61W-VAB020 9410190 A2FM32/61W-VAB040 9410192
A2FM32/61W-VBB010 9410194 A2FM32/61W-VBB020 9410195 A2FM32/61W-VBB040 9410197
A2FM45/61W-VZB010 9411581 A2FM45/61W-VZB020 9411582 A2FM45/61W-VZB040 9411584
A2FM56/61W-VAB010 9424905 A2FM56/61W-VAB020 9422129 A2FM56/61W-VAB040 9429251
A2FM56/61W-VBB010 9610664 A2FM56/61W-VBB020 9610665 A2FM56/61W-VBB040 9605544
A2FM63/61W-VAB010 9408523 A2FM63/61W-VAB020 9408524 A2FM63/61W-VAB040 9408526
A2FM63/61W-VBB010 9408514 A2FM63/61W-VBB020 9408549 A2FM63/61W-VBB040 9408551
A2FM80/61W-VAB010 9422638 A2FM80/61W-VAB020 9422089 A2FM80/61W-VBB010 9610666
A2FM80/61W-VBB020 9610667 A2FM90/61W-VAB010 9408463 A2FM90/61W-VAB020 9408464
A2FM90/61W-VBB010 9408468 A2FM90/61W-VBB020 9408469 A2FM107/61W-VAB010 9424300
A2FM107/61W-VAB020 9424093 A2FM107/61W-VBB010 9610668 A2FM107/61W-VBB020 9610669
A2FM125/61W-VAB010 9409630 A2FM125/61W-VAB020 9409634 A2FM125/61W-VBB010 9409637
A2FM125/61W-VBB020 9409638 A2FM160/61W-VAB010 9425163 A2FM160/61W-VAB020 9424094
A2FM160/61W-VBB010 9610670 A2FM160/61W-VBB020 9610671 A2FM180/61W-VAB010 9409189
A2FM180/61W-VAB020 9409190 A2FM180/61W-VBB010 9409372 A2FM180/61W-VBB020 9409373
A2FM200/63W-VAB010 2011528 A2FM250/60W-VZB010 915383 A2FM250/60W-VZB020 910653
A2FM355/60W-VZH010 920780 A2FM500/60W-VPH010 943251 A2FM500/60W-VZH010 968982
A2FLM710/60W-VPH010 969815 A2FLM710/60W-VZH010 965974 A2FM1000/60W-VPH010 949444
A2FM1000/60W-VZH010 944773
聯(lián)系人：何琴 電話：027-50732532/ 13971401600 在線聯(lián)系方式： QQ:1375774402 MSN:[email protected]
武漢晨豐機電設備有限公司
2021-08-23
新品上市 諾為 N31 激光筆 ppt翻頁筆
產(chǎn)品詳細介紹
上海諾為電子科技有限公司
2021-08-23
EM860N 選頻電磁輻射分析儀
適用環(huán)保/5G基站/廣電/通信/航空/船舶/鐵路等相關行業(yè)電磁輻射環(huán)境監(jiān)測分析。EM860N主機基于高性能頻譜信號分析平臺，在軟件功能和應用上，充分考慮到不同的用戶場景，EM860設置有兩種工作模式：即有適于工程師專業(yè)測試的《專業(yè)分析模式》，又有特別適宜基站測試現(xiàn)場的一鍵式《工程監(jiān)測模式》操作軟件，作業(yè)簡單，便捷，高效率!
主機9kHz~9GHz頻譜測試接收機；
頻譜掃速可以達到16GHz/s，可對信號進行100%捕獲；
支持3G UMTS、4G LTE、5G NR等多種移動通信系統(tǒng)解調(diào)分析功能；
支持多種場強天線，適用于中短波、電視、無線通信、環(huán)境監(jiān)測等多個應用場景；
配合PC機可實現(xiàn)工單系統(tǒng)下的一鍵測試、自動導出測試報告；
實時的“記錄或屏幕錄制和回放功能”，是有力的研發(fā)、交流、學習、培訓工具;
可直接高清電視投屏，便于培訓、研討會;
支持手機APP控制操作;
同時具備溫濕度測試、藍牙/WIFI通信、光纖通信、電子羅盤、GPS定位、多點觸摸屏、 USB通信等多種功能集成的一體化設計;
符合國標《BG8702-2014》，環(huán)保部《HJ1151- 2020》規(guī)定要 求，以及其他環(huán)境法規(guī)文件。
天津德力儀器設備有限公司
2022-06-06
頭頸部層次解剖模型附腦N、AXM-633
XM-633頭頸部層次解剖模型附腦N、A
?
XM-633頭頸部層次解剖模型附腦N、A模型顯示頭部、頸部深、淺層血管和神經(jīng)，在顯示頭部、頸部的肌肉基礎上顯示血管、神經(jīng)的分布和走向，頭部、頸部作正中矢狀切面顯示各種器官結構，左側半腦拆下可示腦神經(jīng)外形及腦神經(jīng)進出腦及腦顱底部位，腦可拆下示眼外肌。
尺寸：自然大，38.5×24×50cm
材質(zhì)：PVC材料
上海欣曼科教設備有限公司
2021-08-23
XM-N3高級女性宮內(nèi)避孕器訓練模型
XM-N3高級女性宮內(nèi)避孕訓練模型
?
一、功能特點：
■ XM-N3高級女性宮內(nèi)避孕器訓練模型采用高分子材料制成，仿真度高。
■ 模擬了一成年女性子宮，解剖結構包括子宮、卵巢、輸卵管和陰道。
■ 可學習女性子宮及附件的內(nèi)部結構。
■ 訓練宮內(nèi)避孕器的插入置放和取出。
■ 模型上有透明窗覆蓋，可清楚地觀察宮內(nèi)避孕器的插入和置放全過程。
■ 可反復進行練習。
?
二、標準配置：
■ 高級女性宮內(nèi)避孕器訓練模型：1個
■ 避孕器：1個
■ 說明書：1冊
■ 保修卡合格證：1張
上海欣曼科教設備有限公司
2021-08-23