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一種 MEMS 器件的封裝方法
本發明公開了一種 MEMS 器件的封裝方法，包括 S1 在框架基 板與封蓋的內表面上對稱附著圖形化的過渡金屬化層和釬料層；S2 在 框架基板的釬料層上附著圖形化的自蔓延多層膜；S3 將芯片鍵合固定 在框架基板上并實現信號互連；S4 將固定有芯片的框架基板與封蓋進 行除氣除濕處理后對準堆疊形成封裝結構；S5 對封裝結構施加壓力、 預熱后引燃自蔓延多層膜，自蔓延多層膜燃燒并熔化釬料層實現冶金 互連。本發明將封蓋直接與框架
華中科技大學
2021-04-14
新型諧振MEMS微慣性傳感器
針對我國在軍事、工業等領域對高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微慣性傳感器日益迫切的需求，上海交通大學自2001年起就開展基于MEMS技術的微慣性傳感器的研究，已成功研制十余款傳感器樣機，在研的半球諧振微陀螺、圓盤多環微陀螺等預期體積小于1cm3，成本低于50美元，功耗低于100mW，有望達到慣性級，在微小衛星、微航天器等場合極具應用潛力。與傳統的微陀螺相比，該陀螺無運動部件，抗沖擊性更好；同時該陀螺可以采用角速度檢測和角速度積分檢測兩種工作模式，極大的提升了其應用場合與范圍，特別適合在高G環境下進行空間位置測量、導航與姿態控制等。此外，其在消費電子市場以及汽車市場也擁有這巨大的應用空間，如手機、游戲機等手持電子設備的姿態控制系統，照相機、攝像機的穩定電子平臺，汽車的防翻車預警系統等。。相關研究內容作為重要組成部分曾獲省部級及以上獎勵多次，授權發明專利幾十余項，微陀螺方面的專利國內第一，國際第二，發表SCI/EI等論文幾十篇。
上海交通大學
2021-04-13
基于MEMS的胰島素泵系統
已有樣品/n該研究得到科技部“863計劃”資助（編號：2005AA404220），旨在研制與無損血糖監測耦聯的閉環式人工胰島微系統，將檢測和治療系統集成。減小系統體積、減輕重量，提高可靠性，方便使用；集成血糖儀、微泵、硅針、微流通道與控制系統于一體，實現無痛化注射。成果的先進性或獨特性：該研究研制與無損血糖監測耦聯的閉環式人工胰島微系統，將檢測和治療系統集成。減小系統體積、減輕重量，提高可靠性，方便使用；集成血糖儀、微泵、硅針、微流通道與控制系統于一體，實現無痛化注射。目
武漢大學
2021-01-12
MEMS 耐高溫壓力傳感器及技術
該項目應用先進的MEMS技術，研制完成了耐高溫壓力傳感器設計、制造關鍵技術及系列產品開發。解決了一直困擾航空航天、石油化工、軍工、能源電力等領域因高溫、高頻響、高過載、微型化、瞬時高溫沖擊等惡劣環境下的壓力、力、加速度測量難題。該成果獲得2006年度國家技術發明二等獎、2005年度教育部技術發明一等獎、2004年度陜西省科技進步一等獎和2004年度西安市科技進步一等獎四項獎勵。相關技術已獲得國家授權發明專利20余項。
西安交通大學
2021-04-11
全數字MEMS地震檢波器技術研究
項目主要針對瑞雷波物探方法使用的動圈式檢波器的缺點，開展全數字MEMS檢波器研制，以此提高公路路基物探精度。主要研究內容如下：（1）全數字MEMS檢波器電路系統及硬件裝置的研制；（2）針對所研制的檢波器檢測軟件系統研制；（3）針對所研制的檢波器對瑞雷波信號的振動模型研究；
重慶大學
2021-04-14
基于石墨烯的 MEMS 壓力傳感器
基于石墨烯的 MEMS 壓力傳感器，屬于微機電系統（MEMS）的壓力檢測器件，解決現有 MEMS 壓力傳感器尺寸較大，靈敏度有限的問題。本實用新型包括基底、絕緣層，所述基底表面氧化形成絕緣層，絕緣層內刻蝕出空腔，絕緣層上表面覆蓋石墨烯薄膜，將所述空腔封閉，石墨烯薄膜為 1~5 層；所述石墨烯薄膜邊緣沉積兩個金屬電極，兩個金屬電極上分別焊接有導線。本實用新型采用石墨烯薄膜構成 MEMS 壓阻式壓力傳感器，制備方法簡單，可靠性好，壓力傳感器體積更小，從微米尺度變為納米尺度，靈敏度更高，在 1~5 層內增
華中科技大學
2021-04-14
基于體積圖形學的MEMS工藝仿真系統
項目的背景及目的 本軟件是MEMS器件的設計人員的輔助工具，通過該軟件設計人員可以在實際生產之前提前預覽到所設計器件的三維幾何形狀，如果不符合要求可以進行重新設計或者對原來設計進行修改。這樣可以大大的降低設計的成本和時間，為MEMS設計人員提供較為感性的認識。 技術原理與工藝流程 基于體積圖形學的MEMS工藝仿真系統需要結合體積圖形學和專家系統以及物理模型，最終實現MEMS典型工藝的真實模
南開大學
2021-04-14
最新的MEMS陀螺儀--HTG系列陀螺儀
產品詳細介紹 最新的MEMS陀螺儀--HTG系列陀螺儀 MEMS陀螺儀HTG系列簡介：最新的MEMS陀螺儀--HTG系列陀螺儀是用來測量角速率的固態傳感器, 采用MEMS芯片，制造采用BIMOS生產工藝和載流焊工藝技術。HTG系列MEMS陀螺儀具有高可靠性和高封裝堅固性;可用于慣性測量元件、高可靠性的汽車電子、導彈制導和控制、飛行器穩定控制、天線穩定、攝像、數碼攝影、機器人等系統。 MEMS陀螺儀HTG系列性能參數：
陜西航天長城科技有限公司
2021-08-23
基于MEMS技術的傳感器及數據記錄儀
在空氣動力學研究、飛行器及發動機試驗、風洞試驗、流體力學及水工試驗、水輪機及 水下兵器試驗、生物醫學應用，化爆或核爆沖擊波等許多研究中，出于對不改變被測流場的 考慮或受安放位置局限，必須原位測壓時，常常對傳感器的外形尺寸的微型化有較為苛刻的 要求，以期在不干擾流場狀態情況下，復現動態流場的變化規律。XJG4 微型壓力傳感器正 是為這些應用開發的，它采用了微型化設計的微機械加工工藝制成集成壓阻力敏元件，進行 精致巧妙的微型封裝，通常外徑在Φ8mm 到Φ15mm、長度不超過 25mm，并且可按照用戶要求 的形狀與尺寸定制。微型壓力傳感器系列以其小巧的外形、高輸出、高溫、優異的動態和靜 態特性以及極高的可靠性而顯示其特色。
西安交通大學
2021-04-10
一種基于 MEMS 的智能服裝及其制作方法
本發明公開了一種基于 MEMS 的智能服裝及其制備方法，可用于采集心電、心音等人體生理參數，該智能服裝的功能是通過將柔性傳感器陣列薄膜與紡織品整合的方式來實現的：首先，在晶圓上采用MEMS 技術分別制作出聲/電換能器及其電氣互聯結構。其次，在晶圓的反面刻蝕出硅島圖形，使得每個傳感器之間相互孤立。再次，在晶圓的正反面旋涂上聚合物，并對其進行光刻圖形化出傳感器窗口以及縫紉孔，即得到柔性傳感器陣列薄膜。聚合物起到對傳感器的保護作用，縫紉孔可用于讓導電纖維將傳感器傳感器陣列薄膜與紡織品縫合于一體，即得到有特
華中科技大學
2021-04-14