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MEMS慣性測量單元
慣性測量單元（Inertial Measurement Unit，簡稱IMU）是測量物體三軸姿態(tài)角（或角速度）以及加速度的裝置。IMU屬于捷聯(lián)式慣導(dǎo)，該系統(tǒng)由兩個加速度傳感器與三個速度傳感器（陀螺）組成，加速度計測量物體在載體坐標(biāo)系統(tǒng)獨立三軸的加速度信號，而陀螺檢測載體相對于導(dǎo)航坐標(biāo)系的角速度信號，測量物體在三維空間中的角速度和加速度，并以此解算出物體的姿態(tài)。在導(dǎo)航中有著很重要的應(yīng)用價值。 技術(shù)指標(biāo) 技術(shù)指標(biāo) 單位 型號 UESTCME-1 UESTCME-2 UESTCME-3 軸數(shù) 個 3 3 3 加速度量程 ±10g ±35g ±35g 加速度精度 2.8 5.5 11 加速度靈敏度 mV/g 100±2 20±1 40±1 加速度零點穩(wěn)定性 mg/hr 15 60 40 加速度溫度漂移 % <2% <2% <2% 角速度量程 o/s ±150 ±300 ±300 角度精度 度 0.1 0.2 0.1 角度靈敏度 mV/o/s 6±1 6±1 25±1 角度零點漂移 o/hr 0.3 1.0 0.3 角度溫度漂移 % <2% <5% <2%
電子科技大學(xué)
2021-04-10
MEMS慣性測量單元
慣性測量單元（Inertial Measurement Unit，簡稱IMU）是測量物體三軸姿態(tài)角（或角速度）以及加速度的裝置。IMU屬于捷聯(lián)式慣導(dǎo)，該系統(tǒng)由兩個加速度傳感器與三個速度傳感器（陀螺）組成，加速度計測量物體在載體坐標(biāo)系統(tǒng)獨立三軸的加速度信號，而陀螺檢測載體相對于導(dǎo)航坐標(biāo)系的角速度信號，測量物體在三維空間中的角速度和加速度，并以此解算出物體的姿態(tài)。在導(dǎo)航中有著很重要的應(yīng)用價值。
電子科技大學(xué)
2021-04-10
MEMS慣性測量單元
成果簡介： 慣性測量單元（Inertial Measurement Unit，簡稱IMU）是測量物體三軸姿態(tài)角（或角速度）以及加速度的裝置。IMU屬于捷聯(lián)式慣導(dǎo)，該系統(tǒng)由兩個加速度傳感器與三個速度傳感器（陀螺）組成，加速度計測量物體在載體坐標(biāo)系統(tǒng)獨立三軸的加速度信號，而陀螺檢測載體相對于導(dǎo)航坐標(biāo)系的角速度信號，測量物體在三維空間中的角速度和加速度，并以此解算出物體的姿態(tài)。在導(dǎo)航中有著很重要的應(yīng)用價值。 技術(shù)指標(biāo) 技術(shù)指標(biāo) 單位 型號 UESTCME-1 UESTCME-2 UESTCME-3 軸數(shù) 個 3 3 3 加速度量程 ±10g ±35g ±35g 加速度精度 2.8 5.5 11 加速度靈敏度 mV/g 100±2 20±1 40±1 加速度零點穩(wěn)定性 mg/hr 15 60 40 加速度溫度漂移 % <2% <2% <2% 角速度量程 o/s ±150 ±300 ±300 角度精度 度 0.1 0.2 0.1 角度靈敏度 mV/o/s 6±1 6±1 25±1 角度零點漂移 o/hr 0.3 1.0 0.3 角度溫度漂移 % <2% <5% <2%
電子科技大學(xué)
2017-10-23
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MEMS氣象站
MEMS氣象站可實現(xiàn)溫度、濕度、壓力和風(fēng)速等信息的實時監(jiān)測。
東南大學(xué)
2021-04-13
MEMS壓力傳感器
自然頻率 55kHz-79 kHz 量程 Normal：9kPa-120kPa Extended：5kPa-160kPa 靈敏度 50-80Hz/kPa 一個大氣壓下（101.3kPa）的諧振頻率 63 kHz-75 kHz 受溫度的影響 15V 1.5V 驅(qū)動電壓 50-80Hz/kPa
電子科技大學(xué)
2021-04-10
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MEMS?壓力傳感器
已有樣品/n已完成針對低、中、高壓（10kPa-40MPa）MEMS 壓力芯片的原型器件開發(fā)；能 夠針對不同應(yīng)用領(lǐng)域的 MEMS 壓力芯片進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計，解決提高靈敏度和降低非線 性、芯片長期工作穩(wěn)定性的關(guān)鍵技術(shù)難題；原型芯片的研發(fā)技術(shù)符合工程量產(chǎn)化技 術(shù)要求，易于快速轉(zhuǎn)化和量產(chǎn)；與國外知名公司產(chǎn)品相比，技術(shù)指標(biāo)相當(dāng)，部分指 標(biāo)如靈敏度溫漂系數(shù)相比優(yōu)異。 MEMS壓力傳感器可應(yīng)用于工業(yè)類儀器儀表、油井勘探、工業(yè)自動化控制中壓力 監(jiān)測、可穿戴、智慧醫(yī)療領(lǐng)域壓力測量、汽車電子等領(lǐng)域。年需求量可達(dá)數(shù)千萬只。
中國科學(xué)院大學(xué)
2021-01-12
MEMS壓力傳感器
成果簡介： 自然頻率 55kHz-79 kHz 量程 Normal：9kPa-120kPa Extended：5kPa-160kPa 靈敏度 50-80Hz/kPa 一個大氣壓下（101.3kPa）的諧振頻率 63 kHz-75 kHz 受溫度的影響 15V±1.5V 驅(qū)動電壓 50-80Hz/kPa
電子科技大學(xué)
2017-10-23
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非硅MEMS 技術(shù)及其應(yīng)用
1988年國際上提出的MEMS(MicroElectroMechanical System)技術(shù)是將IC工藝和機(jī)電設(shè)計相結(jié)合制造微傳感器、微執(zhí)行器和微系統(tǒng)的新技術(shù)，也稱硅MEMS。作為對硅MEMS的補(bǔ)充和發(fā)展，非硅材料種類繁多、性能各異，能滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域的需求，我們在國家863 計劃等項目支持下于九十年代初首先提出并創(chuàng)立了非硅MEMS技術(shù)。 提出非硅MEMS新概念和總體思路；開發(fā)了以金屬基為主的多種材料兼容的非硅表面微加工、高深寬比三維微加工等成套非硅微加工技術(shù)，為非硅MEMS發(fā)展奠定了良好基礎(chǔ)；把經(jīng)典原理和非硅微加工結(jié)合，開發(fā)了一系列壓電、靜電、磁電、微流體、慣性等種類的微器件和微系統(tǒng)，形成若干具有完全知識產(chǎn)權(quán)的專利群；并將非硅MEMS應(yīng)用于生物芯片、微引信、信息、光器件、復(fù)合膜模具、國防武器、非硅MEMS生產(chǎn)線等眾多領(lǐng)域，取得了顯著的經(jīng)濟(jì)、社會效益，推動和引領(lǐng)了我國非硅MEMS技術(shù)的應(yīng)用和發(fā)展。 非硅MEMS技術(shù)及其應(yīng)用獲得國家技術(shù)發(fā)明二等獎2項（2008，2000），省部一等獎4項，獲2009年中國工業(yè)博覽會創(chuàng)新獎；授權(quán)發(fā)明專利200多項；出版MEMS專著6部。
上海交通大學(xué)
2021-04-13
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光學(xué)防抖MEMS驅(qū)動器
本發(fā)明公開了一種光學(xué)防抖MEMS驅(qū)動器.現(xiàn)有的光學(xué)防抖驅(qū)動器,最多僅具有五軸.本發(fā)明包括平面三軸驅(qū)動器和垂直三軸驅(qū)動器.所述的平面三軸驅(qū)動器包括第一框架,驅(qū)動臂和中間固定板.垂直三軸驅(qū)動器包括運動件和驅(qū)動件.運動件包括第二框架,第二懸臂,偏轉(zhuǎn)盤,彈簧條,中心盤和第三接觸點.多根第二懸臂的一端均與偏轉(zhuǎn)盤連接,另一端均與第二框架連接.驅(qū)動件包括底盤和扇環(huán)狀電極片組.扇環(huán)狀電極片組包括n片扇環(huán)狀電極片.n片扇環(huán)狀電極片均固定在底板上.扇環(huán)狀電極片組與偏轉(zhuǎn)盤對齊.本發(fā)明可實現(xiàn)使圖像傳感器在平面三軸及豎直三軸上運動,解決由于相機(jī)抖動帶來的圖像模糊問題.
杭州電子科技大學(xué)
2021-05-06
新型諧振MEMS微慣性傳感器
研發(fā)生產(chǎn)的半球諧振微陀螺、圓盤多環(huán)微陀螺等10多款高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微慣性傳感器，達(dá)到慣性級，在微小衛(wèi)星、微航天器等場合極具應(yīng)用潛力。與傳統(tǒng)的微陀螺相比，該陀螺無運動部件，抗沖擊性更好；同時該陀螺可以采用角速度檢測和角速度積分檢測兩種工作模式，極大的提升了其應(yīng)用場合與范圍。
上海交通大學(xué)
2021-04-10