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MEMS壓力傳感器
自然頻率 55kHz-79 kHz 量程 Normal：9kPa-120kPa Extended：5kPa-160kPa 靈敏度 50-80Hz/kPa 一個大氣壓下（101.3kPa）的諧振頻率 63 kHz-75 kHz 受溫度的影響 15V 1.5V 驅動電壓 50-80Hz/kPa
電子科技大學
2021-04-10
MEMS?壓力傳感器
已有樣品/n已完成針對低、中、高壓（10kPa-40MPa）MEMS 壓力芯片的原型器件開發；能 夠針對不同應用領域的 MEMS 壓力芯片進行優化設計，解決提高靈敏度和降低非線 性、芯片長期工作穩定性的關鍵技術難題；原型芯片的研發技術符合工程量產化技 術要求，易于快速轉化和量產；與國外知名公司產品相比，技術指標相當，部分指 標如靈敏度溫漂系數相比優異。 MEMS壓力傳感器可應用于工業類儀器儀表、油井勘探、工業自動化控制中壓力 監測、可穿戴、智慧醫療領域壓力測量、汽車電子等領域。年需求量可達數千萬只。
中國科學院大學
2021-01-12
MEMS壓力傳感器
成果簡介： 自然頻率 55kHz-79 kHz 量程 Normal：9kPa-120kPa Extended：5kPa-160kPa 靈敏度 50-80Hz/kPa 一個大氣壓下（101.3kPa）的諧振頻率 63 kHz-75 kHz 受溫度的影響 15V±1.5V 驅動電壓 50-80Hz/kPa
電子科技大學
2017-10-23
光學防抖MEMS驅動器
本發明公開了一種光學防抖MEMS驅動器.現有的光學防抖驅動器,最多僅具有五軸.本發明包括平面三軸驅動器和垂直三軸驅動器.所述的平面三軸驅動器包括第一框架,驅動臂和中間固定板.垂直三軸驅動器包括運動件和驅動件.運動件包括第二框架,第二懸臂,偏轉盤,彈簧條,中心盤和第三接觸點.多根第二懸臂的一端均與偏轉盤連接,另一端均與第二框架連接.驅動件包括底盤和扇環狀電極片組.扇環狀電極片組包括n片扇環狀電極片.n片扇環狀電極片均固定在底板上.扇環狀電極片組與偏轉盤對齊.本發明可實現使圖像傳感器在平面三軸及豎直三軸上運動,解決由于相機抖動帶來的圖像模糊問題.
杭州電子科技大學
2021-05-06
新型諧振MEMS微慣性傳感器
研發生產的半球諧振微陀螺、圓盤多環微陀螺等10多款高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微慣性傳感器，達到慣性級，在微小衛星、微航天器等場合極具應用潛力。與傳統的微陀螺相比，該陀螺無運動部件，抗沖擊性更好；同時該陀螺可以采用角速度檢測和角速度積分檢測兩種工作模式，極大的提升了其應用場合與范圍。
上海交通大學
2021-04-10
新型諧振MEMS微慣性傳感器
針對我國在軍事、工業等領域對高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微慣性傳感器日益迫切的需求，上海交通大學自2001年起就開展基于MEMS技術的微慣性傳感器的研究，已成功研制十余款傳感器樣機，在研的半球諧振微陀螺、圓盤多環微陀螺等預期體積小于1cm3，成本低于50美元，功耗低于100mW，有望達到慣性級，在微小衛星、微航天器等場合極具應用潛力。與傳統的微陀螺相比，該陀螺無運動部件，抗沖擊性更好；同時該陀螺可以采用角速度檢測和角速度積分檢測兩種工作模式，極大的提升了其應用場合與范圍，特別適合在高G環境下進行空間位置測量、導航與姿態控制等。此外，其在消費電子市場以及汽車市場也擁有這巨大的應用空間，如手機、游戲機等手持電子設備的姿態控制系統，照相機、攝像機的穩定電子平臺，汽車的防翻車預警系統等。。相關研究內容作為重要組成部分曾獲省部級及以上獎勵多次，授權發明專利幾十余項，微陀螺方面的專利國內第一，國際第二，發表SCI/EI等論文幾十篇。
上海交通大學
2021-04-13
MEMS 耐高溫壓力傳感器及技術
該項目應用先進的MEMS技術，研制完成了耐高溫壓力傳感器設計、制造關鍵技術及系列產品開發。解決了一直困擾航空航天、石油化工、軍工、能源電力等領域因高溫、高頻響、高過載、微型化、瞬時高溫沖擊等惡劣環境下的壓力、力、加速度測量難題。該成果獲得2006年度國家技術發明二等獎、2005年度教育部技術發明一等獎、2004年度陜西省科技進步一等獎和2004年度西安市科技進步一等獎四項獎勵。相關技術已獲得國家授權發明專利20余項。
西安交通大學
2021-04-11
全數字MEMS地震檢波器技術研究
項目主要針對瑞雷波物探方法使用的動圈式檢波器的缺點，開展全數字MEMS檢波器研制，以此提高公路路基物探精度。主要研究內容如下：（1）全數字MEMS檢波器電路系統及硬件裝置的研制；（2）針對所研制的檢波器檢測軟件系統研制；（3）針對所研制的檢波器對瑞雷波信號的振動模型研究；
重慶大學
2021-04-14
基于石墨烯的 MEMS 壓力傳感器
基于石墨烯的 MEMS 壓力傳感器，屬于微機電系統（MEMS）的壓力檢測器件，解決現有 MEMS 壓力傳感器尺寸較大，靈敏度有限的問題。本實用新型包括基底、絕緣層，所述基底表面氧化形成絕緣層，絕緣層內刻蝕出空腔，絕緣層上表面覆蓋石墨烯薄膜，將所述空腔封閉，石墨烯薄膜為 1~5 層；所述石墨烯薄膜邊緣沉積兩個金屬電極，兩個金屬電極上分別焊接有導線。本實用新型采用石墨烯薄膜構成 MEMS 壓阻式壓力傳感器，制備方法簡單，可靠性好，壓力傳感器體積更小，從微米尺度變為納米尺度，靈敏度更高，在 1~5 層內增
華中科技大學
2021-04-14
MEMS慣性測量單元
慣性測量單元（Inertial Measurement Unit，簡稱IMU）是測量物體三軸姿態角（或角速度）以及加速度的裝置。IMU屬于捷聯式慣導，該系統由兩個加速度傳感器與三個速度傳感器（陀螺）組成，加速度計測量物體在載體坐標系統獨立三軸的加速度信號，而陀螺檢測載體相對于導航坐標系的角速度信號，測量物體在三維空間中的角速度和加速度，并以此解算出物體的姿態。在導航中有著很重要的應用價值。 技術指標 技術指標 單位 型號 UESTCME-1 UESTCME-2 UESTCME-3 軸數 個 3 3 3 加速度量程 ±10g ±35g ±35g 加速度精度 2.8 5.5 11 加速度靈敏度 mV/g 100±2 20±1 40±1 加速度零點穩定性 mg/hr 15 60 40 加速度溫度漂移 % <2% <2% <2% 角速度量程 o/s ±150 ±300 ±300 角度精度 度 0.1 0.2 0.1 角度靈敏度 mV/o/s 6±1 6±1 25±1 角度零點漂移 o/hr 0.3 1.0 0.3 角度溫度漂移 % <2% <5% <2%
電子科技大學
2021-04-10