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MEMS壓力傳感器
電子科技大學(xué)
2017-10-23
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非硅MEMS 技術(shù)及其應(yīng)用
上海交通大學(xué)
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光學(xué)防抖MEMS驅(qū)動(dòng)器
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全數(shù)字MEMS地震檢波器技術(shù)研究
重慶大學(xué)
2021-04-14