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集成電路產(chǎn)業(yè)需要大量高端薄膜生長設(shè)備，上個世紀(jì)80年代，MBE作為一種尖端技術(shù)，國外就對中國進行了技術(shù)封鎖，禁運中國。甚至在今天，MBE仍然屬于美國對中國出口的管制類產(chǎn)品，每一臺都要經(jīng)過復(fù)雜的審批過程。

中試階段/n透明導(dǎo)電薄膜是平臺式材料，是光電產(chǎn)業(yè)上游重要產(chǎn)品。柔性透明導(dǎo)電薄膜可以用于大尺寸柔性觸控，柔性顯示與照明、薄膜太陽能電池，可穿戴設(shè)備等戰(zhàn)略性新興柔性光電子產(chǎn)業(yè)，解決陶瓷基透明電極面臨主要成分的資源短缺和固有的脆性等不利因素，在相關(guān)領(lǐng)域取代ITO薄膜及金屬網(wǎng)格。本項目開發(fā)從材料到薄膜加工工藝的全鏈條技術(shù)，開發(fā)一系列面向不同光電器件需求的產(chǎn)品。目前，團隊通過第三方機構(gòu)認證的樣品透過率導(dǎo)電性耐彎折特性處于國際先進水平。目前，正在進行小試階段的研發(fā)工作，高純原料和部分裝備可國產(chǎn)化。

研究團隊在薄膜研究方面，前期工作主要集中在:1)高性能透明導(dǎo)電薄膜 研發(fā)。所制備的液晶光學(xué)窗口元件實現(xiàn)可見區(qū)平均透過率大于 90%，明視覺反射 率分別為:8 度 0.24%，15 度 0.21%，30 度 0.27%;方塊電阻低于 13 歐姆，理論 電磁屏蔽能力優(yōu)于 24dB，經(jīng)用戶確認，性能指標(biāo)處于國內(nèi)領(lǐng)先，達到國際先進 水平。填補了高性能透明導(dǎo)電薄膜研發(fā)的空白，打破了西方國家在該領(lǐng)域的技術(shù) 壟斷。該研究工作為透明導(dǎo)電薄膜關(guān)鍵元件在國防軍工產(chǎn)品的裝備應(yīng)用提供理論 依據(jù)和技術(shù)支撐。2)1064 帶通

一種濕法刻蝕鎳酸鑭薄膜和鐵電薄膜/鎳酸鑭復(fù)合薄膜的腐蝕液，由雙氧水、硝酸、氫氟酸和純凈水配制而成，純凈水、雙氧水、硝酸、氫氟酸的體積比為：純凈水∶雙氧水∶硝酸∶氫氟酸＝1∶2～3∶0.5～1.0∶0.06～0.12。所述腐蝕液的制備方法，按上述配方在常溫、常壓下將計量好的純凈水與雙氧水混合均勻，然后加入計量好的硝酸并混合均勻，繼后加入計量好的氫氟酸并混合均勻。所述腐蝕液可干凈、徹底地一次性去除SiO2 和/或Pt表面的LNO薄膜或LNO復(fù)合薄膜，得到邊緣清晰、側(cè)蝕比小的刻蝕圖形。

"專門針對實驗室對小樣品的生長需求，設(shè)計小型緊湊的生長腔室、樣品臺，同時降低購買價格與運行成本。 ? 緊湊的生長腔室 （內(nèi)徑 ~ 300 mm）：內(nèi)表面積小，更容易實現(xiàn)超高真空，整體占地面積不到1㎡。 ? 電子束加熱的小樣品臺：定向加熱，降低了傳統(tǒng)燈絲熱輻射加熱的耗散，保證了較低的環(huán)境溫度，對真空有利。同時加熱速率很快。 ? 30多個標(biāo)準(zhǔn)法蘭接口：可擴展性好。 ? 小樣品托（18 *12 mm）：剛好適合10 mm左右樣品，同時兼容ARPES，STM等標(biāo)準(zhǔn)樣品托。"

首先，一種大頭基的表面活性劑(DEAB)可以與反電荷的多頭配體(TPE-BPA)得到一種納米尺寸的無規(guī)配位簇，而后金屬離子(Zn2+)的加入則可迅速使之交聯(lián)形成無定形的白色沉淀物。通過自發(fā)的結(jié)塊過程，沉淀中的分子可進一步發(fā)生重排運動，并使其由白色粉末狀的固體在短時間內(nèi)轉(zhuǎn)變形成透明且可自支撐的薄膜材料。

 電加熱膜是一種具有一定阻值的膜型半導(dǎo)體材料，該材料在通電情況下，能將電能轉(zhuǎn)換成熱能，從而起到加熱作用。由于加熱膜是直接制備于被加熱物體的外表面，它與被加熱物體的表面以分子鍵結(jié)合，因而當(dāng)通電熱時，熱量很快傳給被加熱物，并且由于這種加熱方式熱傳導(dǎo)性好，所以加熱材料本身溫度并不高，也沒有發(fā)紅、熾熱等現(xiàn)象產(chǎn)生，輻射損失小，使用安全。又由于加熱元件可以制成覆蓋被加熱物體全部表面，傳熱面積大，所以傳熱速度極快。因此用加熱膜制成的電熱器具熱效率相當(dāng)高，大于90%，比電熱絲、電熱管制成的電熱器具可節(jié)電30%以上。 在民用方面：可制成電熱水瓶、飲水機、電火鍋、取暖器、理療器、電加熱器。小型電加熱器具市場占有率及銷售額并不低，據(jù)90年輕工部統(tǒng)計，全國各類電熱器具年銷量1264.4萬件，銷售額12.69億元，可見小家電大市場，具有較好的應(yīng)用推廣前景。 在工業(yè)方面：可用于汽車等低電壓場合中的加熱裝置、化學(xué)反應(yīng)器加熱裝置、高寒地區(qū)輸氣、輸油線中管閥的加熱器等。電熱膜系列產(chǎn)品在工業(yè)中具有更為廣泛的前景。 在航空航天及交通業(yè)方面的應(yīng)用：航空航天機倉、太空倉及工作儀表的加熱保溫；冬季運行的公交車、火車廂、船倉、貯槽等的采暖或加溫等方面具有廣泛的應(yīng)用前景。俄羅期已研制出“THKO”型三種電熱涂料，應(yīng)用于導(dǎo)彈發(fā)射井、宇航飛船、環(huán)境加熱保溫，生產(chǎn)出電熱涂料電熱器、電熱板、電熱布等產(chǎn)成品。關(guān)鍵技術(shù)是在深入了解電熱膜電熱轉(zhuǎn)換機理基礎(chǔ)上，抓住電熱轉(zhuǎn)換的所在，從而進行相應(yīng)的配方研究，及相適應(yīng)的成型研究，包括直接連續(xù)相生長工藝，熱解噴涂等方法。● 應(yīng)用前景 電熱膜技術(shù)主要用于航空和汽車工業(yè)、家用電器、儀器儀表、各種管道與儲罐等領(lǐng)域，目前應(yīng)用還在不斷地拓展，市場前景十分光明。在工業(yè)應(yīng)用方面，確定將該項技術(shù)應(yīng)用在石油輸送管道的加熱保溫上，它不僅能給該行業(yè)帶來巨大的經(jīng)濟效益，而且符合國家的相關(guān)的產(chǎn)業(yè)政策， 本研究的開發(fā)將會使加熱薄膜技術(shù)以其產(chǎn)品商業(yè)附加值極高和產(chǎn)品成本極低為優(yōu)勢，在絕大部分電熱領(lǐng)域里替代傳統(tǒng)的電熱絲加熱方式，而具有較好的社會經(jīng)濟效益。

1. 項目概述南京工業(yè)大學(xué)化工設(shè)備設(shè)計研究所多年從事薄膜蒸發(fā)/短程蒸餾技術(shù)研制工作,在設(shè)備性能研究、生產(chǎn)制造及生產(chǎn)使用三方面均積累了豐富的經(jīng)驗。已經(jīng)完成了1～20m2薄膜蒸發(fā)器開發(fā)應(yīng)用工作，其中20m2薄膜蒸發(fā)器技術(shù)水平在國內(nèi)處領(lǐng)先地位。薄膜蒸發(fā)器適用于蒸餾、分離、濃縮、萃取、除臭、脫氣、反應(yīng)等工藝中物質(zhì)的分離；具有很高的傳熱系數(shù)，對水和有機溶劑等溶液的蒸發(fā)強度值可達到150~300Kg/h﹒m2；具有很短的加熱區(qū)停留時間，只有數(shù)秒至數(shù)十秒，適用于處理熱敏性物料；寬廣的粘度加工范圍；產(chǎn)量調(diào)節(jié)幅度大，產(chǎn)品最終濃縮比高；反混量為最小；由于良好的攪拌，設(shè)備具有最小的表面結(jié)垢；操作穩(wěn)定、方便，易于實行自控。2. 技術(shù)優(yōu)勢（1）開發(fā)多種結(jié)構(gòu)型式薄膜蒸發(fā)器。轉(zhuǎn)子型式有用固定間隙式、可調(diào)間隙轉(zhuǎn)子式；加熱方式有高溫型、普通型；物料有高粘度、普通粘度型。（2）已開發(fā)一套“薄膜蒸發(fā)器遠程CAD系統(tǒng)”，該系統(tǒng)可實時、實地實現(xiàn)薄膜蒸發(fā)器的設(shè)備選型、工藝計算、結(jié)構(gòu)強度計算、二維/三維設(shè)備圖形的生成及設(shè)備報價。（3）研制了配套設(shè)備-短程蒸餾器。

自1987年美國柯達公司的鄧青云C．W．Tang等人報導(dǎo)了有機電致發(fā)光以來，在全世界范圍興起了一場有機薄膜發(fā)光二極管研究熱潮。有機薄膜發(fā)光二極管具有主動發(fā)光、響應(yīng)快、全固體化、容易實現(xiàn)彩色化和驅(qū)動電壓低等獨特的優(yōu)越性，是很有潛力的平板顯示器，它將取代現(xiàn)在統(tǒng)治市場的液晶顯示器。然而高亮度、長壽命和高效率的有機電致發(fā)光器件是人們一直夢寐以求的。 有機電致發(fā)光器件雖然發(fā)展非常迅速，發(fā)展規(guī)模也是空前的。但是為了得到高亮度、高效率和長壽命的有機電致發(fā)光器件，人們對有機電致發(fā)光中的一些問題并沒有很好的解決，如由于目前空穴和電子傳輸層材料和制備工藝的限制，用普通有機電致發(fā)光器件的結(jié)構(gòu)：ITO/空穴傳輸層/有機發(fā)光層/背電極，有如下一些問題：發(fā)光層與電極之間的互擴散，沒有足夠高的空穴和電子遷移率，以及注入的空穴與電子不夠平衡等。這些問題限制了有機電致發(fā)光器的進一步改善，成為有機電致發(fā)光器件發(fā)展的重要瓶頸，無法制備性能優(yōu)異的有機發(fā)光器件。 技術(shù)特點： 對有機薄膜電致發(fā)光器件的結(jié)構(gòu)和電子傳輸層材料進行改進，從而有效提高有機薄膜電致發(fā)光器件的亮度、效率和壽命。 技術(shù)特點：是在透明電極上，依次制備空穴傳輸層、有機發(fā)光層、電子傳輸層、電子電勢補償層和背電極所組成薄膜結(jié)構(gòu)有機電致發(fā)光器件，其特征在于：在有機發(fā)光層與電子電勢補償層之間加入電子傳輸層，電子傳輸層采用寬禁帶無機材料。 該器件在有機發(fā)光層與電子電勢補償層之間加入無機電子傳輸層這種結(jié)構(gòu)可以大大改善有機電致發(fā)光器件的發(fā)光層與電極之間的擴散，注入的空穴與電子的不夠平衡等，使有機電致發(fā)光器件的發(fā)光亮度，效率和奉命得到提高。