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高穩定金屬膜電阻器用磁控濺射中高阻靶材及制備技術
成果與項目的背景及主要用途：
Cr-Si 中高阻膜電阻器具有精度高、噪聲低、溫度系數小、耐熱性和穩定性好等優點，在精密電子設備和混合集成電路中大量采用。對于濺射制備電阻膜來說，靶材是至關重要的，它制約著金屬膜電阻器的電阻率、精度、可靠性、電阻溫度系數（Temperature Coefficient of Resistance, TCR）等性能。電阻溫度系數(TCR)是金屬膜電阻器的一個重要性能技術指標之一，較大的 TCR 在溫度變化時會造成電阻值漂移，從而影響電阻器的精度和穩定性。目前國內外生產的金屬膜電阻器用高阻靶材，其性能不能滿足低 TCR（≤25ppm/℃）要求。
技術原理與工藝流程簡介： 靶材煉制工藝如下圖所示所制備的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在濺射成電阻器薄膜后, 電阻溫度系數小(≤25 ×10-6 / ℃), 電阻值高(要求不刻槽數量級為千歐, 刻槽后數量級為兆歐)且穩定(隨時間變化小), 因此, 在本靶材研究中, 將選擇 Cr 、Si 作為高阻靶材的主體材料。由于 C r 、Si 熔點高, 原子移動性低, 因此由其所組成的薄膜穩定性高。通過在金屬 C r 中引入半導體材料 Si 來提高電阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收氣體的金屬元素, 在電阻器薄膜濺射過程中, 可通過通入微量的氧來提高薄膜的電阻率, 同時調節電阻溫度系數。技術指標如下：溫度沖擊實驗后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 過載實驗后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 壽命實驗后ΔR/R ≤±1 .0 %,電阻溫度系數 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。
應用領域：
集成電路、電子元器件
合作方式及條件：具體面議
天津大學
2021-04-11
《自然·通訊》報道西安電子科技大學郝躍院士團隊研制出國際最高功率優值13.2 GW/cm2氧化鎵二極管并首次在氧化鎵中實現空穴超注入效應
近期，西安電子科技大學郝躍院士團隊張進成教授、周弘教授等在超寬禁帶半導體氧化鎵功率器件研究方面取得重要進展，研制出一種新型的空穴超注入p-NiO/n-Ga2O3半導體異質結二極管。
西安電子科技大學
2022-08-30
硅烷偶聯劑修飾二氧化鈦納米管陣列材料及其制備方法和應用
本發明公開了一種硅烷偶聯劑修飾二氧化鈦納米管陣列材料及其制備方法和應用。該硅烷偶聯劑修飾二氧化鈦納米管陣列材料主要由二氧化鈦納米管陣列、硅烷偶聯劑、有機溶劑和冰醋酸混合后反應得到，可應用于處理含有機污染物和/或重金屬污染物的廢水中。本發明的硅烷偶聯劑修飾二氧化鈦納米管陣列材料氧化還原能力強，可同時去除有機污染物和重金屬污染物，且去除效果好，可反復使用。
湖南大學
2021-04-10
一種四氧化三鈷納米線陣列、其制備方法以及作為鋰離子電池負極的用途
本發明涉及一種四氧化三鈷納米線陣列、其制備方法以及作為鋰離子電池負極的用途。該四氧化三鈷納米線陣列，其形貌為菱形結構，菱形的邊長為100nm~500nm，菱形內角的銳角為30°~60°，陣列長度為5μm~20μm。本發明還提供了制備該四氧化三鈷納米線陣列的方法，以一定摩爾比的鈷鹽、化學結合劑、堿性反應物和水在常溫下進行混合攪拌，將混合均勻的溶液移入反應釜中，并將干凈的襯底置于溶液中進行水熱反應后取出沖洗，再在惰性氣氛中熱處理，得到四氧化三鈷納米線陣列。本發明的四氧化三鈷納米線陣列可直接作為鋰離子電池負極，能明顯提高電池的比容量和循環性能，放電容量高達1000mAh/g以上，是一種理想的鋰離子電池電極材料。
浙江大學
2021-04-11
超臨界二氧化碳燃煤循環流化床鍋爐及發電系統與發電方法
本發明公開了一種超臨界二氧化碳燃煤循環流化床鍋爐及發電系統與發電方法，鍋爐包括爐膛、分離器、尾部煙道和位于分離器回料段中的外置式換熱器，爐膛內設有冷卻壁和中溫過熱器，外置式換熱器內設有高溫再熱器和分別與冷卻壁和中溫過熱器連通的低溫過熱器，尾部煙道內設有低溫再熱器、高溫過熱器、上級省煤器、下級省煤器和空氣預熱器，其中，高溫過熱器與中溫過熱器連通，低溫再熱器與高溫再熱器連通；鍋爐的工質為超臨界二氧化碳。本發明鍋爐能有效控制冷卻壁壁溫，保證鍋爐安全可靠運行且熱效率高；發電機組趨于小型化，具有更快的負荷響應速度，深度調峰適應性強，充分發揮煤炭資源優勢，提高能源利用率，保障能源安全。
東南大學
2021-04-11
超臨界二氧化碳循環流化床燃煤鍋爐及其驅動的發電系統
本發明公開一種超臨界二氧化碳循環流化床燃煤鍋爐，采用超臨界二氧化碳代替現有循環流化床鍋爐內蒸汽作為吸熱做功的工質，工質吸熱過程包括一次分流和一次再熱。超臨界二氧化碳循環流化床鍋爐工質受熱面包括設置在爐膛內的二氧化碳冷壁屏式加熱器和高溫再熱器；分離器出口處至爐膛在回料器段并行布置以灰作為熱源的外置上級省煤器；尾部煙道內沿煙氣流動方向受熱面包括低溫再熱器和下級省煤器。本發明還公開了該超臨界二氧化碳循環流化床燃煤鍋爐驅動發電的發電系統。本發明的超臨界二氧化碳循環流化床燃煤鍋爐強化了再熱器高溫段的煙氣傳熱，同時也緩解了尾部煙道熱量需求壓力，能夠有效降低污染物的排放量、排煙溫度，增大鍋爐效率。
東南大學
2021-04-11
硅烷偶聯劑修飾二氧化鈦納米管陣列材料及其制備方法和應用
本發明公開了一種硅烷偶聯劑修飾二氧化鈦納米管陣列材料及其制備方法和應用。該硅烷偶聯劑修飾二氧化鈦納米管陣列材料主要由二氧化鈦納米管陣列、硅烷偶聯劑、有機溶劑和冰醋酸混合后反應得到，可應用于處理含有機污染物和/或重金屬污染物的廢水中。本發明的硅烷偶聯劑修飾二氧化鈦納米管陣列材料氧化還原能力強，可同時去除有機污染物和重金屬污染物，且去除效果好，可反復使用。
湖南大學
2021-02-01
一種厚度可控的納米二氧化硅修飾毛細管柱的制備方法
本發明公開一種用于毛細管色譜內壁修飾固定相及其制備方法，其采用納米SiO2顆粒作為修飾試劑，采用多層組裝法在毛細管內壁修飾納米SiO2修飾層，修飾好的納米SiO2修飾層的厚度可控、修飾層厚度可在160～600nm間調節，有效地解決了毛細管電色譜的固定相柱容過低的問題。本方法一次修飾可獲得6～7層納米顆粒修飾層，三次修飾即可達到22～23層，修飾效率高，修飾時間短，毛細管內徑選擇范圍廣，是一種制備毛細管開柱的理想方法。
安徽建筑大學
2021-01-12
一種用于呼吸內鏡下測量肺內呼氣末二氧化碳的裝置
本實用新型提供一種用于呼吸內鏡下測量肺內呼氣末二氧化碳的裝置，由三通管和測量導管組成，其中三通管的A端口為二氧化碳模塊螺旋接口、B端口為側口用于連接注射器、C端口固接金屬管，測量導管的尾端套在金屬管外，測量導管的頭端設至至少2個側孔E。測量導管選用軟質空心管。本實用新型實現了通過軟質或硬質支氣管鏡測量肺內各部位呼氣末二氧化碳的需求，操作簡單易行，不僅可以幫助進一步深入了解呼氣末二氧化碳在呼吸生理及病理生理中的作用，更可用于監測支氣管鏡下介入診療患者呼吸頻率和呼氣末二氧化碳濃度，早期發現呼吸抑制及二氧化碳潴留等情況，提高患者安全。
浙江大學
2021-04-13
一種基于回轉式固定床的二氧化碳高溫循環脫除方法
本發明公開了一種基于回轉式固定床的二氧化碳高溫循環脫除方法，填充鈣基吸收劑的固定床轉子旋轉至高溫煙氣側通道，煙氣中CO2被鈣基吸收劑填料脫除并形成CaCO3，脫除CO2后煙氣排出，CaO則通過碳酸化反應轉化為CaCO3；固定床轉子繼續攜帶已轉化為CaCO3的填料旋轉至燃料氣側通道，燃料氣與純氧通入該區域發生燃燒并放出熱量為CaCO3分解供熱，釋放出高濃度CO2，隨后CO2由該反應區排出并被封存或作他用，CaCO3分解再生為CaO；內部填料再生后的固定床轉子重新旋轉至煙氣側捕獲分離煙氣中CO2，利用轉
安徽建筑大學
2021-01-12