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本發明公開了一種多路高精度溫度控制器，由接口板和溫度控制板組成，用于倒裝鍵合熱壓固化。溫度控制板包括采集模塊、驅動模塊、存儲器模塊、控制模塊、通訊模塊和電源模塊。工控機設定熱壓頭工作溫度，通過接口板和通訊模塊將設定值輸出到控制模塊。采集模塊將鉑熱電阻采集的熱壓頭溫度值輸出到控制模塊，同時對傳感器的溫度特性進行線性化處理。控制模塊將溫度設定信號與采集的溫度信號相比較，其差分信號經過 PID 運算產生控制信號輸出到驅動模塊。驅動模塊采用 PWM 方式控制場效應管驅動熱壓頭的發熱元件。本發明可在 0～30

紅外吸收光譜技術基于捕獲物質的紅外“指紋”來獲得物質成分和含量信息，其核心是紅外光譜器件和高效緊湊紅外光學系統,主要的應用之一是針對氣體的傳感檢測,如有毒有害氣體、溫室效應氣體以及呼吸氣體成分和濃度的檢測等。相比傳統的單氣體成分的檢測,同時檢測多種氣體是降低檢測成本的有效途徑;相比針對未知氣體采用實驗室傅里葉紅外光譜儀的檢測，可以現場檢測的微小型化紅外光譜儀具有更實用且成本更低的優勢。另外, 越來越多的場景需要探測精度達到ppb 或亞ppm 精度的高精度氣體檢測,如有毒有害痕量氣體、呼吸氣體肺癌早期診斷、果蔬存儲中具有催熟劑作用的微量乙烯氣體釋放的檢測等。 現有紅外氣體傳感技術中，基于激光光源的氣體傳感器雖然易于達到ppb級的高精度檢測，但是激光傳感器成本昂貴，而低成本的基于熱光源的紅外氣體傳感器雖然成本較低，但是卻存在精度低的問題。 為了解決上述的精度和成本痛點問題，本成果掌握了高功率熱紅外光源、可級聯長光程氣體吸收池、多通道紅外探測器和可調諧紅外探測器以及多通道微弱信號數字鎖相放大檢測等技術，開發一系列探測精度到100ppb 以下的多通道紅外氣體傳感器和演示模組，以及基于可調濾波器的小型化紅外光譜儀，展示了集成多組分氣體檢測和現場未知氣體成分的光譜儀檢測能力，具有高精度和低成本優勢，以及小體積和低功耗特點。 （１）高功率熱紅外光源：MEMS 熱光源芯片陣列與微光學準直陣列集成，實現低發散角的高功率紅外源。為實現高精度探測所需要的長光程氣體吸收池提供足夠的紅外光能量。 （２）可級聯長光程氣體吸收池：高精度氣體檢測需要米級長光程池。現有長光程氣體池主要有懷特池、Herriott 型、Chernin 型以及環形吸收池，配合低發散角的激光光源。但是這些吸收池結構復雜，裝配難度高，成本高。自主提出的可級聯氣體池結構簡單，光學效率高，且中心對稱，加工和裝配成本低。 （３）多通道紅外探測器：不同敏感波長的紅外探測單元集成在同一襯底上，構成多通道器件，可共用一個氣體池和光源，節省器件，降低了成本，同時節省了體積和功耗。 （４）可調諧濾波器：采用電調FP 腔和單探測器可以動態選擇透射波長進行探測。具有在一定波段內連續掃描實現紅外光譜儀的功能，也可以隨機定位某個特定波長探測，靈活性強。除了用于已知氣體成分的濃度檢測，還可用于對含有未知氣體種類的應用場景進行氣體檢測。另外，大口徑的壓電驅動可調濾波器可用于電力開關柜SF6氣體泄露、天然氣管道氣體泄露以及農作物長勢和病蟲害監測等場合的紅外光譜成像檢測。 （５）微小型紅外光譜儀：紅外光譜儀是在一個較寬的紅外波段進行掃描以獲取物質的光譜信息，借此探知物質的未知成分。傳統的紅外光譜儀體積大，主要在實驗室使用。本技術采用FP 腔可調濾波器具有體積小結構穩定的特點，易于實現現場檢測。 圖1 四通道濾波聚焦單元、光學/探測器集成結構以及紅外光譜探測器 圖2  長光程氣體池（平均光程>1米） 圖3 可調光譜探測器-PZT壓電陶瓷驅動FP腔可調濾波器及可調光譜 圖4 紅外氣體傳感器模組 【技術優勢】 （1）基于表面微納結構的窄帶濾光片/微透鏡陣列技術：實現覆蓋中波和長波紅外的寬波段濾光/聚焦結構，具有低成本制造優勢。 （2）多通道紅外探測器集成芯片技術：多通道濾波/聚焦陣列結構與紅外探測單元陣列集成，實現多波長光譜探測芯片，具有低成本和小體積優勢。 （3）可級聯長光程池技術：適合熱光源的米級光程氣體吸收，實現低成本ppb 級紅外氣體探測。相比高精度的激光氣體傳感器，具有成本優勢。

裝備制造業是一個國家的脊梁”；五軸數控機床作為高端裝備的代表，是加工復雜空間曲面的唯一手段，起著不可替代的作用，成為衡量國家裝備制造水平的重要標志。我國是機床制造和消費大國，但不是強國，高檔數控機床主要依賴進口。2018年我國機床進口總額165億美元(占機床消費總額近57%），由于禁運，制約我國裝備制造水平提升。 國家中長期科技發展規劃設立了“高檔數控機床與基礎制造裝備”國家科技重大專項。本項目面向這一國家重大需求，研制了激光高精度多誤差參數的快速綜合測量儀，通過誤差補償，顯著提高數控機床的制造與加工精度。

成果簡介：本腦電采集系統利用專用的集成化生物電勢測量芯片實現前端模擬信號的調理，具有低噪聲、多采樣率和高精度的特點，其內置高共模抑制 比且增益可調的放大電路，降低了設備的尺寸和硬件成本。同時，開放式的 CPCI總線提高了系統的可拓展性和靈活性，支持單個或多個板卡同時采集。 每個板卡最多可采集 16 導聯的腦電信號，設備支持 4 個板卡共 64 導聯腦電 信號同時采集，也可根據需要進一步升級為 

產品詳細介紹 電子羅盤HMR3000 電子羅盤HMR3000簡介：隨著電子信息技術的發展，GPS在導航、定位、測速、定向、測量等方面給人們帶來了極大的方便。但在某些地理環境下GPS 無法準確定位（如：被高樓、高山、峽谷、樹冠等物體所遮擋時），且在靜止情況下也無法得到方向信息。使用Honeywell公司的HMR3000電子羅盤可對此進行有效的補償，保證導航信息100%有效。即使是在GPS信號失鎖后也能正確工作，真正是"丟星不丟向"。此外，HMR3000電子羅盤還可用來測量物體的姿態，按照NMEA0183的格式，通過RS232或485接口，實時準確地輸出被測物體的俯仰、橫滾和航向角度，且航向精度高，誤差在±0.5°。可廣泛應用于航海、通信雷達、微波定向、海上平臺控制、天線安裝、無人機、機器人、運動定向、自動控制等方面。HMR3000體積小，功耗低，精度高，價格便宜是姿態測量用戶的理想選擇。 電子羅盤HMR3000性能參數

綜合利用GNSS、UWB、INS、LiDAR、相機等傳感器，通過對顧及GNSS系統偏差的GNSS RTK/INS緊組合定位方法、GNSS/UWB/INS高精度室內外一體化定位方法、GNSS/INS/LiDAR同步定位與構圖方法、基于單目視覺SLAM/INS組合定位方法等一系列核心算法的研究，搭建完成基于多傳感器數據融合的室內外一體化高精度定位平臺。該平臺由硬件平臺和數據處理軟件兩部分組成，硬件平臺實現各類傳感器的固定、時空基準統一以及原始觀測數據采集與解析等功能，數據處理軟件實現多傳感器數據融合、組合定位定姿、三維構圖等功能。大量的實驗結果表明，該平臺在室外復雜環境、室內外交互區域以及室內環境下的定位精度可達20cm以內。

本項目基于投射光柵相位測量技術、雙目視覺測量技術和近場攝影測量技術，提出一種新穎的大視場三維形貌高精度測量方法，并對多方位正弦光柵編碼技術，高精度立體匹配機理，傳感器有效測量區域確定及路徑生成方法，基于靶標的多方位局部圖象高精度拼接技術等進行重點研究，為解決國內外長期存在的大型復雜形貌視覺檢測中局部及全局標定精度低、難以測量曲率變化大和無明顯特征表面的測量問題提供了一種行之有效的解決方法。對實現大型構件生產中的在線檢測，保證產品質量具有重要意義。 應用領域為飛機蒙皮拉制及汽車白車身鍛壓過程的在線測量和質量控制；大型板材的缺陷三維檢測；應力/應變測量；逆向工程；藝術品復制；人體骨骼變形等。

激光掃描測量儀是高精度三維物體表面形狀測量設備，該設備基于線結構光和三角測量原理，采用四軸運動系統。其主要特點是系統結構簡單、測量速度快、且具有實時處理能力。在計算機控制下，可以實現三維復雜物體的快速、高效的數字化，為三維曲面重構，快速成型制造，立體數控加工等后續處理提供完善可靠的數據。該設備在2001年通過有關部門的鑒定，其綜合技術指標達到國際先進水平，2003年獲陜西省科技進步一等獎，并獲發明專利3項。

高速、高精度數控切紙機關鍵技術及系列產品。自主開發了MT系列切紙機數控系統，在印刷企業中得到了推廣和應用。在此基礎上，“高速、高精度數控切紙機關鍵技術及系列產品開發”獲得2006年度教育部科學技術進步一等獎。

已有樣品/n在相關需求和學科發展的驅動下， 2004年開展了基于光纖干涉測量技術原理的大氣光纖湍流測量技術研究， 次年完成了可行性方案論證工作， 2006年建成了原理樣機系統， 該成果被國際光學權威刊物Applied Optics發表， 2011年完成實驗樣機系統的研制， 2015年完成了便攜式光纖湍流測量系統的研制。 此后與相關大學和公司合作， 攻克了包括調制解調技術、 噪聲抑制、 信號衰退等問題在內的多項關鍵技術， 并且在模塊